研究人員突破單層二硫化鉬8英寸晶圓外延技術(shù)
2024-06-06 12:47:11朱漢斌
科學(xué)導(dǎo)報(bào) 2024年34期
朱漢斌
近日，由松山湖材料實(shí)驗(yàn)室、中國(guó)科學(xué)院物理研究所、北京大學(xué)、華南師范大學(xué)組成的聯(lián)合研究團(tuán)隊(duì)在松山湖材料實(shí)驗(yàn)室研究員張廣宇的指導(dǎo)下，創(chuàng)新性搭建了一臺(tái)8英寸垂直化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，并在單晶藍(lán)寶石襯底上外延生長(zhǎng)了8英寸高定向單層二硫化鉬晶圓。相關(guān)成果發(fā)表于《先進(jìn)材料》。
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