彭更　陳永軍

摘要：在生產(chǎn)過程中，大型真空濺射設(shè)備的靶材數(shù)量多，電源數(shù)量多，濺射電源和靶材之間的電纜多，并且電纜處于線盒中。然而更換靶材的周期短時間緊，工作人員難免會將濺射電源和陰極之間張冠李戴。一旦濺射電源和陰極張冠李戴就會存在一定的安全隱患，為了能提前發(fā)現(xiàn)此類錯誤而避免隱患就需要一種帶自動檢測功能的濺射電纜線。

關(guān)鍵詞：磁控濺射；濺射電源；靶材（陰極）；PLC；人機界面

中圖分類號：TP307 文獻標(biāo)識碼：A 文章編號：1009-2374（2014）04-0045-02

1 磁控濺射的原理

磁控濺射的工作原理是指電子在電場E的作用下，在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞，使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子；新電子飛向基片，Ar離子在電場作用下加速飛向陰極靶，并以高能量轟擊靶表面，使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中，中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜，而產(chǎn)生的二次電子會受到電場和磁場作用，產(chǎn)生E（電場）×B（磁場）所指的方向漂移，簡稱E×B漂移，其運動軌跡近似于一條擺線。若為環(huán)形磁場，則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運動，它們的運動路徑不僅很長，而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域內(nèi)，并且在該區(qū)域中電離出大量的Ar來轟擊靶材，從而實現(xiàn)了高的沉積速率。隨著碰撞次數(shù)的增加，二次電子的能量消耗殆盡，逐漸遠離靶表面，并在電場E的作用下最終沉積在基片上。由于該電子的能量很低，傳遞給基片的能量很小，致使基片溫升較低。

磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過程。入射粒子在靶中經(jīng)歷復(fù)雜的散射過程，和靶原子碰撞，把部分動量傳給靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成級聯(lián)過程。在這種級聯(lián)過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運動的足夠動量，離開靶被濺射出來。

2 制作電纜的必要性

根據(jù)磁控濺射原理，在濺射過程中必須存在電場，因此為濺射提供電場的電源必不可，由于工藝要求的不同，電源的種類有很多種。如直流電源，直流脈沖電源，還有交流電源。由于不同公司的電源也不相同，因此本文僅以某公司的一種直流電源作為例子。最大輸出電源功率30千瓦，開路電壓800V，輸出電纜的截面積50平方毫米。

在濺射過程中，首先將直流電源和陰極靶材之間用電纜線接好。由于靶材和設(shè)備之間是絕緣的，設(shè)備又已經(jīng)有可靠的接地，所以可以直接將直流電源的正極接在設(shè)備上，陰極接在靶材的接線端子上。在生產(chǎn)過程中由于設(shè)備不需要移動，因而陽極可以直接一次性固定牢固。由于靶材是一種消耗品需要更換，并且電源的輸出功率越高，更換靶材的時間久越短，因而電源的負極就無法一次性固定。

在生產(chǎn)過程中由于工藝要求，設(shè)備上會有多個靶材，并且是不止一種靶材。同時存在多臺多種類的電源，在此情況下單個電源和單個陰極之間就沒有必然的接線關(guān)系，僅僅是一種根據(jù)工藝要求和當(dāng)時的實際情況建立的臨時的接線關(guān)系。隨著工藝要求的不同，接線方式也會隨之不同。同時由于生產(chǎn)任務(wù)的要求，這種接線不可能浪費太多的時間，否則效率太低，因而在生產(chǎn)中應(yīng)用了大電流連接器。大電流連接器的應(yīng)用提高了接線效率，而且提高了電源的利用率，但是也增加了一定的隱患。

大電流連接器是一種電氣插頭，只需要公母接頭對接即可實現(xiàn)電纜的連接。因而只要在靶材的接線端和電源的負極端分別接好連接器的公母接頭即可隨時更換電源和靶材的對應(yīng)關(guān)系。由于電纜的數(shù)量多，即便標(biāo)記清楚，也難免會犯張冠李戴的錯誤。一旦犯張冠李戴的錯誤，最直接的是設(shè)備無法正常生產(chǎn)，其次還會存在安全隱患。如果是把濺射電源的輸出線接錯靶材，如果不及時發(fā)現(xiàn)靶材可能損壞。如果是濺射電源線沒有接入靶材，一旦把濺射電源開啟，此時負極接線插頭與設(shè)備之間存在800V電壓。為了避免此類錯誤，因而需要一種可以自檢測的濺射電纜。

3 自檢測的濺射電纜的制作方法

有兩點：接地可以防止濺射電纜的絕緣層被劃傷或老化引起的觸電。如果編織層的通電截面積足夠，還可以電源的陽極使用。用于交流中頻電源該層必不可少，而且安全可靠的接地；3.熱縮套管，既是一種絕緣層，又使濺射電纜變成一個整體，方便在陰極端區(qū)分；4.帶絕緣層的多芯導(dǎo)線，即編碼線。該多芯導(dǎo)線的芯數(shù)可以根據(jù)陰極的個數(shù)而定。2導(dǎo)線的芯數(shù)>=陰極個數(shù)+1。

編碼線的接線方式如下：在此以D型九針插頭（插頭的種類可以根據(jù)編碼電纜的線數(shù)決定，如D型15針腳或25針腳，等等）和IO輸入類型為高電平有效為例說明。以母插頭的1號腳為公共端，接入24V電源（如果IO輸入是低電平有效，1號針腳接GND）。將母插頭的2號至8號針腳接入已經(jīng)定義好的PLC輸入點。以公插頭的1號針腳為公共端，2號至8號針腳對應(yīng)于一個字節(jié)的低位到高位，將公插頭對應(yīng)的靶材編號轉(zhuǎn)換成二進制編碼，并將對應(yīng)二進制編碼中為1的針腳與1號針腳短接。通過讀取母插頭2號至8號針腳組成的編碼即可知道該濺射電纜對應(yīng)的陰極編號。

具體步驟如下：（1）根據(jù)濺射電源的功率要求完成濺射電源的供電線路；（2）將編碼電纜中公共端串聯(lián)在直流電源的交流接觸器的輔助觸點中，并將交流輔助觸點接入輸入點，只有直流電源上電后，電纜中才有24V電壓，并且可以知道濺射電源已經(jīng)供電。在此以供電線路中有交流接觸器為例。如果沒有交流接觸，只需要接入24V即可；（3）根據(jù)靶材的編號焊接對應(yīng)的公插頭，并將插頭固定在陰極上；（4）將母插頭中2號至8號針腳的導(dǎo)線接在PLC的輸入點。在IO定義時，為了計算方便最好將2號腳接在一個輸入字節(jié)的第零位。在此以西門子PLC為例說明，如I0.0或I10.0等等，這樣可以直接按字節(jié)讀??；（5）接好直流電源與陰極之間的

接線。

當(dāng)硬件接線完成后再次開機之時，PLC系統(tǒng)需要對需要開起的濺射電源逐一上電，并且檢測對應(yīng)的陰極編號。檢測結(jié)果會顯示在人機界面中，如果提前把工藝要求的濺射電源和陰極的對應(yīng)關(guān)系輸入人機界面，系統(tǒng)會一旦發(fā)現(xiàn)對應(yīng)關(guān)系錯誤就會報警提示，不需要等到濺射電源開起后才發(fā)現(xiàn)接線錯誤。例如：假設(shè)PLC為西門子300系列，陰極的編號為1。通過觸摸屏輸入的陰極編號保存在PLC的DB1.DBW0中（DB1.DBW0：西門子300系列PLC中的存儲地址，一個字的長度，具有掉電保持功能）。2號針腳至8號針腳對應(yīng)的IO點是I0.0至I0.7。通過編碼電纜讀到的陰極編號保存在PLC的DB1.DBW2中并在觸摸屏中顯示。濺射電源的交流接觸器吸合信號為I1.0。報警輸出點為Q0.0。監(jiān)控程序如下：在西門子STEP7中“//”表示注釋，在本文中用此方式簡要說明程序的作用。

總之，按照本文所述的方法自制濺射電纜以結(jié)構(gòu)簡單、使用方便和監(jiān)控軟件簡單的特點完成對濺射電源和陰極之間的自動監(jiān)控，避免了因為人為的失誤而存在的隱患。

參考文獻

[1] 百度文庫

[2] 李云奇.真空鍍膜[M].化學(xué)工業(yè)出版社，2012.

作者簡介：彭更（1983—），男，河南夏邑人，電氣工程師，研究方向：電氣自動化。

摘要：在生產(chǎn)過程中，大型真空濺射設(shè)備的靶材數(shù)量多，電源數(shù)量多，濺射電源和靶材之間的電纜多，并且電纜處于線盒中。然而更換靶材的周期短時間緊，工作人員難免會將濺射電源和陰極之間張冠李戴。一旦濺射電源和陰極張冠李戴就會存在一定的安全隱患，為了能提前發(fā)現(xiàn)此類錯誤而避免隱患就需要一種帶自動檢測功能的濺射電纜線。

關(guān)鍵詞：磁控濺射；濺射電源；靶材（陰極）；PLC；人機界面

中圖分類號：TP307 文獻標(biāo)識碼：A 文章編號：1009-2374（2014）04-0045-02

1 磁控濺射的原理

磁控濺射的工作原理是指電子在電場E的作用下，在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞，使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子；新電子飛向基片，Ar離子在電場作用下加速飛向陰極靶，并以高能量轟擊靶表面，使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中，中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜，而產(chǎn)生的二次電子會受到電場和磁場作用，產(chǎn)生E（電場）×B（磁場）所指的方向漂移，簡稱E×B漂移，其運動軌跡近似于一條擺線。若為環(huán)形磁場，則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運動，它們的運動路徑不僅很長，而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域內(nèi)，并且在該區(qū)域中電離出大量的Ar來轟擊靶材，從而實現(xiàn)了高的沉積速率。隨著碰撞次數(shù)的增加，二次電子的能量消耗殆盡，逐漸遠離靶表面，并在電場E的作用下最終沉積在基片上。由于該電子的能量很低，傳遞給基片的能量很小，致使基片溫升較低。

磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過程。入射粒子在靶中經(jīng)歷復(fù)雜的散射過程，和靶原子碰撞，把部分動量傳給靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成級聯(lián)過程。在這種級聯(lián)過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運動的足夠動量，離開靶被濺射出來。

2 制作電纜的必要性

根據(jù)磁控濺射原理，在濺射過程中必須存在電場，因此為濺射提供電場的電源必不可，由于工藝要求的不同，電源的種類有很多種。如直流電源，直流脈沖電源，還有交流電源。由于不同公司的電源也不相同，因此本文僅以某公司的一種直流電源作為例子。最大輸出電源功率30千瓦，開路電壓800V，輸出電纜的截面積50平方毫米。

在濺射過程中，首先將直流電源和陰極靶材之間用電纜線接好。由于靶材和設(shè)備之間是絕緣的，設(shè)備又已經(jīng)有可靠的接地，所以可以直接將直流電源的正極接在設(shè)備上，陰極接在靶材的接線端子上。在生產(chǎn)過程中由于設(shè)備不需要移動，因而陽極可以直接一次性固定牢固。由于靶材是一種消耗品需要更換，并且電源的輸出功率越高，更換靶材的時間久越短，因而電源的負極就無法一次性固定。

在生產(chǎn)過程中由于工藝要求，設(shè)備上會有多個靶材，并且是不止一種靶材。同時存在多臺多種類的電源，在此情況下單個電源和單個陰極之間就沒有必然的接線關(guān)系，僅僅是一種根據(jù)工藝要求和當(dāng)時的實際情況建立的臨時的接線關(guān)系。隨著工藝要求的不同，接線方式也會隨之不同。同時由于生產(chǎn)任務(wù)的要求，這種接線不可能浪費太多的時間，否則效率太低，因而在生產(chǎn)中應(yīng)用了大電流連接器。大電流連接器的應(yīng)用提高了接線效率，而且提高了電源的利用率，但是也增加了一定的隱患。

大電流連接器是一種電氣插頭，只需要公母接頭對接即可實現(xiàn)電纜的連接。因而只要在靶材的接線端和電源的負極端分別接好連接器的公母接頭即可隨時更換電源和靶材的對應(yīng)關(guān)系。由于電纜的數(shù)量多，即便標(biāo)記清楚，也難免會犯張冠李戴的錯誤。一旦犯張冠李戴的錯誤，最直接的是設(shè)備無法正常生產(chǎn)，其次還會存在安全隱患。如果是把濺射電源的輸出線接錯靶材，如果不及時發(fā)現(xiàn)靶材可能損壞。如果是濺射電源線沒有接入靶材，一旦把濺射電源開啟，此時負極接線插頭與設(shè)備之間存在800V電壓。為了避免此類錯誤，因而需要一種可以自檢測的濺射電纜。

3 自檢測的濺射電纜的制作方法

有兩點：接地可以防止濺射電纜的絕緣層被劃傷或老化引起的觸電。如果編織層的通電截面積足夠，還可以電源的陽極使用。用于交流中頻電源該層必不可少，而且安全可靠的接地；3.熱縮套管，既是一種絕緣層，又使濺射電纜變成一個整體，方便在陰極端區(qū)分；4.帶絕緣層的多芯導(dǎo)線，即編碼線。該多芯導(dǎo)線的芯數(shù)可以根據(jù)陰極的個數(shù)而定。2導(dǎo)線的芯數(shù)>=陰極個數(shù)+1。

編碼線的接線方式如下：在此以D型九針插頭（插頭的種類可以根據(jù)編碼電纜的線數(shù)決定，如D型15針腳或25針腳，等等）和IO輸入類型為高電平有效為例說明。以母插頭的1號腳為公共端，接入24V電源（如果IO輸入是低電平有效，1號針腳接GND）。將母插頭的2號至8號針腳接入已經(jīng)定義好的PLC輸入點。以公插頭的1號針腳為公共端，2號至8號針腳對應(yīng)于一個字節(jié)的低位到高位，將公插頭對應(yīng)的靶材編號轉(zhuǎn)換成二進制編碼，并將對應(yīng)二進制編碼中為1的針腳與1號針腳短接。通過讀取母插頭2號至8號針腳組成的編碼即可知道該濺射電纜對應(yīng)的陰極編號。

具體步驟如下：（1）根據(jù)濺射電源的功率要求完成濺射電源的供電線路；（2）將編碼電纜中公共端串聯(lián)在直流電源的交流接觸器的輔助觸點中，并將交流輔助觸點接入輸入點，只有直流電源上電后，電纜中才有24V電壓，并且可以知道濺射電源已經(jīng)供電。在此以供電線路中有交流接觸器為例。如果沒有交流接觸，只需要接入24V即可；（3）根據(jù)靶材的編號焊接對應(yīng)的公插頭，并將插頭固定在陰極上；（4）將母插頭中2號至8號針腳的導(dǎo)線接在PLC的輸入點。在IO定義時，為了計算方便最好將2號腳接在一個輸入字節(jié)的第零位。在此以西門子PLC為例說明，如I0.0或I10.0等等，這樣可以直接按字節(jié)讀?。唬?）接好直流電源與陰極之間的

接線。

當(dāng)硬件接線完成后再次開機之時，PLC系統(tǒng)需要對需要開起的濺射電源逐一上電，并且檢測對應(yīng)的陰極編號。檢測結(jié)果會顯示在人機界面中，如果提前把工藝要求的濺射電源和陰極的對應(yīng)關(guān)系輸入人機界面，系統(tǒng)會一旦發(fā)現(xiàn)對應(yīng)關(guān)系錯誤就會報警提示，不需要等到濺射電源開起后才發(fā)現(xiàn)接線錯誤。例如：假設(shè)PLC為西門子300系列，陰極的編號為1。通過觸摸屏輸入的陰極編號保存在PLC的DB1.DBW0中（DB1.DBW0：西門子300系列PLC中的存儲地址，一個字的長度，具有掉電保持功能）。2號針腳至8號針腳對應(yīng)的IO點是I0.0至I0.7。通過編碼電纜讀到的陰極編號保存在PLC的DB1.DBW2中并在觸摸屏中顯示。濺射電源的交流接觸器吸合信號為I1.0。報警輸出點為Q0.0。監(jiān)控程序如下：在西門子STEP7中“//”表示注釋，在本文中用此方式簡要說明程序的作用。

總之，按照本文所述的方法自制濺射電纜以結(jié)構(gòu)簡單、使用方便和監(jiān)控軟件簡單的特點完成對濺射電源和陰極之間的自動監(jiān)控，避免了因為人為的失誤而存在的隱患。

參考文獻

[1] 百度文庫

[2] 李云奇.真空鍍膜[M].化學(xué)工業(yè)出版社，2012.

作者簡介：彭更（1983—），男，河南夏邑人，電氣工程師，研究方向：電氣自動化。

摘要：在生產(chǎn)過程中，大型真空濺射設(shè)備的靶材數(shù)量多，電源數(shù)量多，濺射電源和靶材之間的電纜多，并且電纜處于線盒中。然而更換靶材的周期短時間緊，工作人員難免會將濺射電源和陰極之間張冠李戴。一旦濺射電源和陰極張冠李戴就會存在一定的安全隱患，為了能提前發(fā)現(xiàn)此類錯誤而避免隱患就需要一種帶自動檢測功能的濺射電纜線。

關(guān)鍵詞：磁控濺射；濺射電源；靶材（陰極）；PLC；人機界面

中圖分類號：TP307 文獻標(biāo)識碼：A 文章編號：1009-2374（2014）04-0045-02

1 磁控濺射的原理

磁控濺射的工作原理是指電子在電場E的作用下，在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞，使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子；新電子飛向基片，Ar離子在電場作用下加速飛向陰極靶，并以高能量轟擊靶表面，使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中，中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜，而產(chǎn)生的二次電子會受到電場和磁場作用，產(chǎn)生E（電場）×B（磁場）所指的方向漂移，簡稱E×B漂移，其運動軌跡近似于一條擺線。若為環(huán)形磁場，則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運動，它們的運動路徑不僅很長，而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域內(nèi)，并且在該區(qū)域中電離出大量的Ar來轟擊靶材，從而實現(xiàn)了高的沉積速率。隨著碰撞次數(shù)的增加，二次電子的能量消耗殆盡，逐漸遠離靶表面，并在電場E的作用下最終沉積在基片上。由于該電子的能量很低，傳遞給基片的能量很小，致使基片溫升較低。

磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過程。入射粒子在靶中經(jīng)歷復(fù)雜的散射過程，和靶原子碰撞，把部分動量傳給靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成級聯(lián)過程。在這種級聯(lián)過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運動的足夠動量，離開靶被濺射出來。

2 制作電纜的必要性

根據(jù)磁控濺射原理，在濺射過程中必須存在電場，因此為濺射提供電場的電源必不可，由于工藝要求的不同，電源的種類有很多種。如直流電源，直流脈沖電源，還有交流電源。由于不同公司的電源也不相同，因此本文僅以某公司的一種直流電源作為例子。最大輸出電源功率30千瓦，開路電壓800V，輸出電纜的截面積50平方毫米。

在濺射過程中，首先將直流電源和陰極靶材之間用電纜線接好。由于靶材和設(shè)備之間是絕緣的，設(shè)備又已經(jīng)有可靠的接地，所以可以直接將直流電源的正極接在設(shè)備上，陰極接在靶材的接線端子上。在生產(chǎn)過程中由于設(shè)備不需要移動，因而陽極可以直接一次性固定牢固。由于靶材是一種消耗品需要更換，并且電源的輸出功率越高，更換靶材的時間久越短，因而電源的負極就無法一次性固定。

在生產(chǎn)過程中由于工藝要求，設(shè)備上會有多個靶材，并且是不止一種靶材。同時存在多臺多種類的電源，在此情況下單個電源和單個陰極之間就沒有必然的接線關(guān)系，僅僅是一種根據(jù)工藝要求和當(dāng)時的實際情況建立的臨時的接線關(guān)系。隨著工藝要求的不同，接線方式也會隨之不同。同時由于生產(chǎn)任務(wù)的要求，這種接線不可能浪費太多的時間，否則效率太低，因而在生產(chǎn)中應(yīng)用了大電流連接器。大電流連接器的應(yīng)用提高了接線效率，而且提高了電源的利用率，但是也增加了一定的隱患。

大電流連接器是一種電氣插頭，只需要公母接頭對接即可實現(xiàn)電纜的連接。因而只要在靶材的接線端和電源的負極端分別接好連接器的公母接頭即可隨時更換電源和靶材的對應(yīng)關(guān)系。由于電纜的數(shù)量多，即便標(biāo)記清楚，也難免會犯張冠李戴的錯誤。一旦犯張冠李戴的錯誤，最直接的是設(shè)備無法正常生產(chǎn)，其次還會存在安全隱患。如果是把濺射電源的輸出線接錯靶材，如果不及時發(fā)現(xiàn)靶材可能損壞。如果是濺射電源線沒有接入靶材，一旦把濺射電源開啟，此時負極接線插頭與設(shè)備之間存在800V電壓。為了避免此類錯誤，因而需要一種可以自檢測的濺射電纜。

3 自檢測的濺射電纜的制作方法

有兩點：接地可以防止濺射電纜的絕緣層被劃傷或老化引起的觸電。如果編織層的通電截面積足夠，還可以電源的陽極使用。用于交流中頻電源該層必不可少，而且安全可靠的接地；3.熱縮套管，既是一種絕緣層，又使濺射電纜變成一個整體，方便在陰極端區(qū)分；4.帶絕緣層的多芯導(dǎo)線，即編碼線。該多芯導(dǎo)線的芯數(shù)可以根據(jù)陰極的個數(shù)而定。2導(dǎo)線的芯數(shù)>=陰極個數(shù)+1。

編碼線的接線方式如下：在此以D型九針插頭（插頭的種類可以根據(jù)編碼電纜的線數(shù)決定，如D型15針腳或25針腳，等等）和IO輸入類型為高電平有效為例說明。以母插頭的1號腳為公共端，接入24V電源（如果IO輸入是低電平有效，1號針腳接GND）。將母插頭的2號至8號針腳接入已經(jīng)定義好的PLC輸入點。以公插頭的1號針腳為公共端，2號至8號針腳對應(yīng)于一個字節(jié)的低位到高位，將公插頭對應(yīng)的靶材編號轉(zhuǎn)換成二進制編碼，并將對應(yīng)二進制編碼中為1的針腳與1號針腳短接。通過讀取母插頭2號至8號針腳組成的編碼即可知道該濺射電纜對應(yīng)的陰極編號。

具體步驟如下：（1）根據(jù)濺射電源的功率要求完成濺射電源的供電線路；（2）將編碼電纜中公共端串聯(lián)在直流電源的交流接觸器的輔助觸點中，并將交流輔助觸點接入輸入點，只有直流電源上電后，電纜中才有24V電壓，并且可以知道濺射電源已經(jīng)供電。在此以供電線路中有交流接觸器為例。如果沒有交流接觸，只需要接入24V即可；（3）根據(jù)靶材的編號焊接對應(yīng)的公插頭，并將插頭固定在陰極上；（4）將母插頭中2號至8號針腳的導(dǎo)線接在PLC的輸入點。在IO定義時，為了計算方便最好將2號腳接在一個輸入字節(jié)的第零位。在此以西門子PLC為例說明，如I0.0或I10.0等等，這樣可以直接按字節(jié)讀?。唬?）接好直流電源與陰極之間的

接線。

當(dāng)硬件接線完成后再次開機之時，PLC系統(tǒng)需要對需要開起的濺射電源逐一上電，并且檢測對應(yīng)的陰極編號。檢測結(jié)果會顯示在人機界面中，如果提前把工藝要求的濺射電源和陰極的對應(yīng)關(guān)系輸入人機界面，系統(tǒng)會一旦發(fā)現(xiàn)對應(yīng)關(guān)系錯誤就會報警提示，不需要等到濺射電源開起后才發(fā)現(xiàn)接線錯誤。例如：假設(shè)PLC為西門子300系列，陰極的編號為1。通過觸摸屏輸入的陰極編號保存在PLC的DB1.DBW0中（DB1.DBW0：西門子300系列PLC中的存儲地址，一個字的長度，具有掉電保持功能）。2號針腳至8號針腳對應(yīng)的IO點是I0.0至I0.7。通過編碼電纜讀到的陰極編號保存在PLC的DB1.DBW2中并在觸摸屏中顯示。濺射電源的交流接觸器吸合信號為I1.0。報警輸出點為Q0.0。監(jiān)控程序如下：在西門子STEP7中“//”表示注釋，在本文中用此方式簡要說明程序的作用。

總之，按照本文所述的方法自制濺射電纜以結(jié)構(gòu)簡單、使用方便和監(jiān)控軟件簡單的特點完成對濺射電源和陰極之間的自動監(jiān)控，避免了因為人為的失誤而存在的隱患。

參考文獻

[1] 百度文庫

[2] 李云奇.真空鍍膜[M].化學(xué)工業(yè)出版社，2012.

作者簡介：彭更（1983—），男，河南夏邑人，電氣工程師，研究方向：電氣自動化。