王 穎，張建輝，付 俊，嚴(yán)秋鋒

(1.泰州職業(yè)技術(shù)學(xué)院機(jī)電技術(shù)學(xué)院 泰州，225300)(2.廣州大學(xué)機(jī)械與電氣工程學(xué)院 廣州，510006)(3.南京航空航天大學(xué)機(jī)械結(jié)構(gòu)力學(xué)及控制國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 南京，210016)

閥參數(shù)對(duì)螺旋線形閥壓電泵輸出性能的影響*

王 穎1,3，張建輝2,3，付 俊3，嚴(yán)秋鋒3

(1.泰州職業(yè)技術(shù)學(xué)院機(jī)電技術(shù)學(xué)院 泰州，225300)(2.廣州大學(xué)機(jī)械與電氣工程學(xué)院 廣州，510006)(3.南京航空航天大學(xué)機(jī)械結(jié)構(gòu)力學(xué)及控制國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 南京，210016)

為了提高擬懸臂梁結(jié)構(gòu)的螺旋線形閥壓電泵輸出性能，探討了閥的幾何參數(shù)和閥的材料參數(shù)與泵輸出量之間的優(yōu)化關(guān)系。首先，推導(dǎo)了泵流量輸出與閥幾何參數(shù)關(guān)系式；然后，在該理論指導(dǎo)下，通過多組試驗(yàn)研究了閥的幾何參數(shù)對(duì)泵輸出的量的影響關(guān)系，得出選用適當(dāng)?shù)穆菪龢O角以及適當(dāng)降低閥的臂寬和厚度可以提高壓電泵的輸出；最后，對(duì)關(guān)鍵元器件螺旋線形閥材料參數(shù)的選用進(jìn)行了比較，得出選用較低切變模量的閥材料可以提高壓電泵輸出。試驗(yàn)結(jié)果表明：要獲得較高的泵流量，閥的極角取值為1.5π、閥厚度取值為0.1 mm時(shí)最佳，而流量受臂寬的影響呈單邊的趨勢(shì)性不明顯；相同條件下，由于鈹青銅的材料切變模量小于彈簧鋼的材料切變模量，鈹青銅閥壓電泵的輸出流量高于彈簧鋼閥壓電泵的輸出流量。

壓電； 泵； 壓電陶瓷； 螺旋線形閥

引 言

功能性材料除了具有一般的機(jī)械特性以外，還具有其他的功能特性，例如光電功能、磁功能、分離功能和形狀記憶功能等，在傳統(tǒng)機(jī)械和工程中的應(yīng)用越來越廣泛[1-5]。壓電泵是以壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng)源的機(jī)械換能器，可以驅(qū)動(dòng)液體和氣體，具有無磁驅(qū)動(dòng)、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小和重量輕等優(yōu)點(diǎn)，在航空航天、微機(jī)械和生物醫(yī)藥工程等領(lǐng)域日益受到青睞。從1978年被發(fā)明以來，壓電泵的發(fā)展與國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展需求密切相關(guān)，其結(jié)構(gòu)和形式多種多樣，層出不窮[6-12]。其中，有閥壓電泵通過單向閥控制壓電泵流體的輸入輸出方向。因?yàn)閱蜗蜷y截止性能好，泵的輸出流量較大，具有廣闊的應(yīng)用前景，且因結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制造容易等因素受到研究人員的關(guān)注。但是，由于簡(jiǎn)單懸臂梁閥的懸臂短、開啟度小、易屈服變形導(dǎo)致截止性降低等缺點(diǎn)，限制了簡(jiǎn)單懸臂梁閥壓電泵的應(yīng)用。

闞君武等[13]建立了液體內(nèi)懸臂梁閥片的動(dòng)力學(xué)模型，分析了閥片結(jié)構(gòu)參數(shù)、閥片與閥座間隙對(duì)液體內(nèi)閥片基頻的影響規(guī)律。程光明等[14]在迭片式結(jié)構(gòu)的微型壓電泵中使用了懸臂梁閥，研究發(fā)現(xiàn)適當(dāng)減小懸臂梁的厚度及增大懸臂長(zhǎng)度，有利于提高通過懸臂梁閥的流量。趙明麗等[15]建立了懸臂梁閥單腔壓電泵系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)模型，研究了出流形式對(duì)壓電泵輸出能力的影響。何麗紅等[16]采用理論分析與試驗(yàn)測(cè)試的方式，對(duì)采用傘形閥壓電泵的出流孔位置及進(jìn)出口位置進(jìn)行了研究。為了更好地適應(yīng)有閥壓電泵巨大應(yīng)用前景，王穎等[17]開發(fā)了具有螺旋線形閥擬懸臂梁結(jié)構(gòu)，臂長(zhǎng)是簡(jiǎn)單懸臂梁閥臂長(zhǎng)數(shù)倍的螺旋線形閥壓電泵。

筆者在文獻(xiàn)[17]的基礎(chǔ)上推導(dǎo)泵輸出與閥參數(shù)的關(guān)系公式，結(jié)合試驗(yàn)對(duì)螺旋線形閥的幾何參數(shù)和材料參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，制作壓電泵樣機(jī)對(duì)各組閥壓電泵輸出性能進(jìn)行試驗(yàn)比較，以進(jìn)一步提高螺旋線形閥壓電泵的性能，擴(kuò)展其用途。

1 螺旋線形閥壓電泵結(jié)構(gòu)

圖1為螺旋線形閥壓電泵結(jié)構(gòu)示意圖。壓電泵主要由壓電振子、泵蓋、泵體、螺旋線形閥、底座和進(jìn)/出水管組成。在泵體的進(jìn)水口和出水口處分別安裝有一對(duì)相互倒置的螺旋線形閥，安裝在泵體進(jìn)水口處的為吸入閥，安裝在泵體出水口處的為排出閥。壓電振子在交變電流作用下發(fā)生變形，當(dāng)振子由下向上變形至最高處泵腔處于舒張狀態(tài)時(shí)，泵腔的容積增大，腔內(nèi)出現(xiàn)負(fù)壓，此時(shí)排出閥關(guān)閉，吸入閥打開，流體流入泵腔，為泵的吸程；當(dāng)振子由上向下變形至最低處泵腔處于壓縮狀態(tài)時(shí)，泵腔容積減小，腔內(nèi)壓強(qiáng)增大，此時(shí)吸入閥關(guān)閉，排出閥打開，流體流出泵腔，為泵的排程。如此循環(huán)往復(fù)，壓電泵可實(shí)現(xiàn)流體的吸入和排出。

圖1 螺旋線形閥壓電泵結(jié)構(gòu)示意圖Fig.1 Schematic diagram of piezoelectric pump of spiral linear valve

圖2為擬懸臂梁結(jié)構(gòu)的螺旋線形彈性固支閥(簡(jiǎn)稱閥)，包含定位器、螺旋線形曲臂(簡(jiǎn)稱曲臂)和閥體。曲臂在水平面內(nèi)的投影為阿基米德螺旋線，其截面為矩形，設(shè)螺旋極角為θ，截面寬為a，高為b。閥曲臂臂長(zhǎng)為簡(jiǎn)單懸臂梁閥臂長(zhǎng)的數(shù)倍，工作時(shí)開啟度大，且因其螺旋線形彈性結(jié)構(gòu)，在開啟過程中，會(huì)逐漸增加開啟的反彈力，在關(guān)閉過程中，會(huì)瞬間釋放積聚的彈性力而使關(guān)閉快速完成。同時(shí)，閥體可以上下回位，左右也具有對(duì)中功能，不僅跟從性和截止性高，而且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制作成本低。

圖2 螺旋線形閥結(jié)構(gòu)示意圖Fig.2 Schematic diagram of spiral linear valve

2 理論分析

螺旋線形閥壓電泵流量公式[18]為

(1)

其中：ρl為流體密度；g為重力加速度；r為閥口半徑；θ為極角；d和δ分別為壓電振子的直徑和厚度；d31為壓電振子的壓電常數(shù)；f為壓電振子的驅(qū)動(dòng)頻率；U為壓電振子的驅(qū)動(dòng)電壓。

n為曲臂實(shí)際最大圈數(shù)，由圖2可知

(2)

Rf為閥的材料和尺寸系數(shù)[18]

(3)

表1 系數(shù)k1的值Tab.1 Value of coefficient k1

設(shè)計(jì)中曲臂采用的螺旋線參數(shù)方程為

(4)

其中：t∈[0,1]為參變量。

如圖2所示，選取不同極角θ的螺旋線可得到大端半徑R2不同的曲臂閥。為簡(jiǎn)單起見,大端半徑R2表示為

R2=F(θ)

(5)

(6)

將式(2)和式(6)代入式(1)，得到

(7)

從式(7)可以看出，當(dāng)K值一定時(shí)，壓電泵輸出流量與閥幾何參數(shù)a,b,θ,R(θ,R1)和材料切變模量G相關(guān)，即

3 試 驗(yàn)

分別選用5種極角θ、7種臂寬a、5種厚度b和2種材質(zhì)的彈性金屬片制作不同的螺旋線形閥片組制成壓電泵樣機(jī)。泵體、泵蓋和底座材質(zhì)使用有機(jī)玻璃，閥口半徑r為2.5 mm，試驗(yàn)流體介質(zhì)為蒸餾水。表2為壓電振子幾何參數(shù)。圖3為泵流量試驗(yàn)照片。

表2 壓電振子幾何參數(shù)Tab.2 Geometrical parameters of piezoelectric vibrator mm

圖3 泵流量試驗(yàn)照片F(xiàn)ig.3 Photo of test of piezoelectric pump flow

3.1 閥的極角θ對(duì)泵輸出性能的影響

極角分別為π，1.25π，1.5π，1.75π和2π時(shí)的5種閥極角θ參數(shù)如表3所示。 表4為不同極角θ時(shí)閥的其他幾何參數(shù)，閥片材料為彈簧鋼。

表3 閥的極角θ參數(shù)Tab.3 Polar angle parameter θ of valve

表4 不同極角θ時(shí)閥片組其他幾何參數(shù)Tab.4 Other geometric parameters of valve plate with different polar angle θ mm

圖4為閥極角與泵進(jìn)出水管壓差之間的關(guān)系。由試驗(yàn)數(shù)據(jù)可知：當(dāng)輸入頻率為15 Hz時(shí)，壓差在極角θ<1.5π時(shí)變化不大；當(dāng)極角大于1.5π時(shí)呈逐漸增大的趨勢(shì)；在θ=2π時(shí)壓差最大，且壓差隨著電壓的提高而增大。

圖5為閥極角與泵流量之間的關(guān)系。由試驗(yàn)數(shù)據(jù)可知，當(dāng)輸入電壓為180 V、頻率為8 Hz時(shí)，泵流量在極角θ從π增大至1.5π時(shí)呈逐漸增大的趨勢(shì)，在極角θ從1.5π增大至2π時(shí)呈逐漸降低的趨勢(shì)。

圖4 閥極角與泵進(jìn)出水管壓差之間的關(guān)系Fig.4 Relationship between valve polar angle and differential pressure of piezoelectric pump water inlet and water outlet

圖5 閥極角與泵流量之間的關(guān)系Fig.5 Relationship between valve polar angle and piezoelectric pump flow

根據(jù)式(8a)可知，流量Q與閥曲臂極角θ應(yīng)該呈正相關(guān)。當(dāng)極角θ從π增大至1.5π時(shí)，隨著極角θ的增大，閥的臂長(zhǎng)逐漸增大，作用在閥體上的彎矩也變大，使得閥的開啟量變大，泵流量呈逐漸增大的趨勢(shì)。但是當(dāng)極角θ從1.5π增大至2π時(shí)，隨著極角θ的增大，閥的臂長(zhǎng)增大有限，而自重卻增大較多，使得閥開啟時(shí)間和開啟高度減小，導(dǎo)致泵流量降低?？梢?，為獲得較高的壓電泵輸出流量，閥的極角θ取值為1.5π時(shí)最佳。

3.2 閥臂寬a對(duì)泵輸出性能的影響

分別制作臂寬a為0.5，0.75，1，1.25，1.5，1.75和2 mm時(shí)的7種閥，如表5所示。表6為不同臂寬a時(shí)，閥片組的其他幾何參數(shù)，閥片材料為彈簧鋼。

表5 閥的臂寬a參數(shù)Tab.5 Arm width parameter a of valve

表6 不同臂寬a時(shí)閥片組其他幾何參數(shù)Tab.6 Other geometric parameters of valve plate with different arm width a

圖6為閥曲臂寬與泵進(jìn)出水管壓差之間的關(guān)系。圖7為閥曲臂寬與泵流量之間的關(guān)系。由試驗(yàn)數(shù)據(jù)可知，在輸入電壓為120 V、頻率為10 Hz、曲臂寬a=1.5 mm時(shí)，壓電泵進(jìn)出水管壓差最大為228 mm水柱。在輸入電壓為220 V、頻率為10 Hz、臂寬a=0.5 mm時(shí)，泵流量為43.8 ml/min；臂寬a=1 mm時(shí)，泵最大流量為48 ml/min；臂寬a=2 mm時(shí)，泵流量為47.4 ml/min，與a=1 mm時(shí)的流量接近。

圖6 閥曲臂寬與泵進(jìn)出水管壓差之間的關(guān)系Fig.6 Relationship between width of valve crank arm and differential pressure of piezoelectric pump water inlet and water outlet

圖7 閥曲臂寬與泵流量之間的關(guān)系Fig.7 Relationship between width of valve crank arm and piezoelectric pump flow

根據(jù)式(8b)可知，流量Q與閥臂寬a呈負(fù)相關(guān)。由于泵流量與閥開啟和關(guān)閉的時(shí)間直接相關(guān)，當(dāng)臂寬a由小到大變化時(shí)，閥曲臂表面積增大。閥在運(yùn)動(dòng)過程中，受到閥體下方流體的作用力變化不大，隨著臂寬a和表面積的增大，閥體上方流體作用力在變化，即開啟時(shí)上方的阻力增大而慢開啟，關(guān)閉時(shí)上方的關(guān)閉力也增大而快關(guān)閉，這兩種因素對(duì)流量的影響是一個(gè)為正向，一個(gè)為負(fù)向，所以隨著臂寬a的增大，泵流量所受影響不大，呈單邊的趨勢(shì)性不明顯。

3.3 閥厚度b對(duì)壓電泵輸出性能的影響

制作厚度b為0.1，0.2，0.3，0.4，和0.5 mm時(shí)的5種閥如表7所示。表8為不同厚度b時(shí)閥片組的其他幾何參數(shù)，閥片材料為彈簧鋼。

表7 不同閥厚度b參數(shù)Tab.7 Valve thickness parameters b

表8 不同厚度b時(shí)閥片組的其他幾何參數(shù)Tab.8 Other geometrical parameters of the valve plate with different thickness b

圖8為閥厚度與泵進(jìn)出水管壓差之間的關(guān)系。圖9為閥厚度與泵流量之間的關(guān)系。由試驗(yàn)數(shù)據(jù)可知，在輸入電壓為200 V、頻率為10 Hz時(shí)，閥厚度b從0.1 mm變化至0.5 mm時(shí)，泵進(jìn)出水管壓差從289 mm水柱變化至9.5 mm水柱，呈逐漸降低的趨勢(shì)；在輸入電壓為220 V、頻率為10 Hz時(shí)，厚度b從0.1 mm增大至0.5 mm時(shí)，泵流量從111 ml/min變化至0，呈逐漸減小的趨勢(shì)。

圖8 閥厚度與泵壓差之間的關(guān)系Fig.8 Relationship between valve thickness and differential pressure of piezoelectric pump

圖9 閥厚度與泵流量之間的關(guān)系Fig.9 Relationship between valve thickness and piezoelectric pump flow

從圖8和圖9的試驗(yàn)數(shù)據(jù)可知：泵進(jìn)出水管壓差和泵流量均隨著閥厚度b的增大而逐漸降低。這是因?yàn)殚y片材料厚度b越小，閥片的彈性系數(shù)會(huì)越高，重量也越輕，使得在相同輸入的情況下，厚度越小，閥的開啟度越大且關(guān)閉也越迅速，所以泵流量就越高。

可見，當(dāng)閥片厚度b<0.1 mm時(shí)，應(yīng)該會(huì)出現(xiàn)由于重量的減輕，閥片關(guān)閉速度降低而使得流量降低的情況，但由于市場(chǎng)上難以找到厚度b<0.1 mm的彈簧鋼片，且材料厚度過小加工出來的閥片變形也較大，易出現(xiàn)閥片翹曲并容易斷裂的現(xiàn)象，所以試驗(yàn)中閥厚度b值最小選取為0.1 mm，從而出現(xiàn)流量隨厚度b值的變化單調(diào)降低的現(xiàn)象。

圖10為進(jìn)出口閥厚度不同與厚度相同時(shí)，電壓與泵流量之間的關(guān)系對(duì)比。由試驗(yàn)數(shù)據(jù)可知，在輸入相同電壓為220 V、頻率為10 Hz的情況下，當(dāng)進(jìn)出口閥片厚度b同為0.1 mm時(shí)，泵流量最高為111 ml/min；當(dāng)進(jìn)口閥厚度b為0.3 mm大于出口閥厚度0.1 mm時(shí)，泵流量次之為59.4 ml/min；當(dāng)進(jìn)口閥厚度b為0.1 mm小于出口閥厚度0.3 mm時(shí)，泵流量為53.4 ml/min；當(dāng)進(jìn)出口閥片厚度b同為0.3 mm時(shí)，泵流量最小為23.4 ml/min?？梢姡?dāng)閥片厚度b相同且為0.1 mm最薄時(shí)，泵流量最大；當(dāng)進(jìn)出口閥片厚度不同時(shí)，閥片厚度bi>bo時(shí)的流量比bi

圖10 進(jìn)出口閥厚度不同和相同時(shí)，電壓與泵流量之間的關(guān)系對(duì)比Fig.10 Comparison of the relationship between voltage and pump flow of the different thickness and the same thickness of the inlet and outlet valve

當(dāng)bi與bo相同時(shí)，其對(duì)流量的影響如前所述。當(dāng)bi與bo不同時(shí)，閥的厚度越大，其關(guān)閉速度就越快，所以振子往下振動(dòng)泵排水時(shí)，如果閥片厚度bi>bo，則進(jìn)口閥先于出口閥關(guān)閉，從進(jìn)口回流的流體就會(huì)減少，從出口閥排出的流體就增多；如果bibo時(shí)的流量比bi

3.4 閥材質(zhì)對(duì)壓電泵輸出性能的影響

分別用彈簧鋼和鈹青銅制作2種閥，表9為兩種材質(zhì)閥片組的其他幾何參數(shù)。

表9 兩種材質(zhì)的閥片組其他幾何參數(shù)Tab.9 Two kinds of material of the valve set of other geometric parameters

圖11為兩種材質(zhì)閥的頻率與泵流量之間的關(guān)系。由試驗(yàn)數(shù)據(jù)可知，在輸入電壓為160 V、頻率為12 Hz時(shí)，鈹青銅閥壓電泵輸出流量最大為12.6 ml/min，大于彈簧鋼的最大輸出流量4.8 ml/min。圖12為兩種材質(zhì)閥的電壓與流量之間的關(guān)系。由試驗(yàn)數(shù)據(jù)可知，在輸入電壓為220 V、頻率為15 Hz時(shí)，鈹青銅閥壓電泵輸出流量為19.8 ml/min，大于彈簧鋼閥壓電泵的輸出流量4.2 ml/min。

圖11 兩種材質(zhì)閥時(shí)頻率與泵流量之間的關(guān)系Fig.11 Relationship between frequency and flow of valve piezoelectric pump in two materials

鈹青銅的材料切變模量GB遠(yuǎn)小于彈簧鋼的材料切變模量GM(B表示鈹青銅，M表示彈簧鋼)，根據(jù)式(8d)可知，泵流量Q與閥材料切變模量G呈負(fù)相關(guān)，試驗(yàn)結(jié)果顯示，兩種材質(zhì)對(duì)壓電泵輸出的影響趨勢(shì)與理論分析一致。

圖12 兩種材質(zhì)閥時(shí)電壓與泵流量之間的關(guān)系Fig.12 Relationship between voltage and flow of valve piezoelectric pump in two materials

4 結(jié)束語

推導(dǎo)了螺旋線形閥壓電泵輸入和輸出關(guān)系的理論公式，從理論上研究了閥參數(shù)對(duì)壓電泵輸出性能的影響。制作了5種極角θ，7種臂寬a，5種厚度b和2種材質(zhì)的螺旋線形閥和壓電泵樣機(jī)，并進(jìn)行各組閥壓電泵輸出性能試驗(yàn)比較。理論和試驗(yàn)同時(shí)證明，選用適當(dāng)?shù)拈y參數(shù)可以提高泵輸出。試驗(yàn)結(jié)果表明：相同條件下，要獲得較高的泵流量，閥的極角θ取值為1.5π，閥厚度b取值為0.1 mm時(shí)為最佳，而臂寬a對(duì)流量的影響不大，呈單邊趨勢(shì)性不明顯；鈹青銅閥壓電泵的輸出流量高于彈簧鋼閥壓電泵的輸出流量。

[1] 金家楣，泮振鋒，錢富.階梯圓柱形壓電振子直線型超聲電機(jī)[J].振動(dòng)、測(cè)試與診斷,2011,31(6)：715-719.

Jin Jiamei,Pan Zhenfeng,Qian Fu.Linear ultrasonic motor using notched cylindrical piezoelectric vibrator[J].Journal of Vibration,Measurement &Diagnosis,2011,31(6)：715-719.(in Chinese)

[2] 姜恩宇，朱曉錦，邵勇，等.SMA機(jī)敏結(jié)構(gòu)交替驅(qū)動(dòng)恒流源及其振動(dòng)控制[J].振動(dòng)、測(cè)試與診斷,2013,33(2)：204-209.

Jiang Enyu,Zhu Xiaojin,Shao Yong,et al.Alternative driven SMA smart structure based on constant current source for vibration control[J].Journal of Vibration,Measurement &Diagnosis,2013,33(2):204-209.(in Chinese)

[3] 季忠，胡銳興.基于Photoplethysmography和彈性常數(shù)的動(dòng)脈彈性檢測(cè)方法[J].振動(dòng)、測(cè)試與診斷,2013,34(5)：873-877.

Ji Zhong,Hu Ruixing.The detection of arterial elasticity based on Photoplethysmography and elastic constant[J].Journal of Vibration,Measurement &Diagnosis,2013,34(5)：873-877.(in Chinese)

[4] 胡俊輝，湯強(qiáng)，王旭.超聲納米操控技術(shù)[J].振動(dòng)、測(cè)試與診斷,2015,35(2)：203-211.

Hu Junhui,Tang Qiang,Wang Xu.Ultrasonic nanomanipulation technology[J].Journal of Vibration,Measurement &Diagnosis,2015,35(2)：203-211.(in Chinese)

[5] 李旭，霍林生，李宏男，等.混凝土結(jié)構(gòu)中PZT傳感器的多功能性分析及應(yīng)用[J].振動(dòng)、測(cè)試與診斷,2015,35(4)：709-714.

Li Xu,Huo Linsheng,Li Hongnan,et al.The analysis and application of multi-functional PZT sensors for health monitoring of concrete structures[J].Journal of Vibration,Measurement &Diagnosis,2015,35(4)：709-714.(in Chinese)

[6] Spencer W J,Corbett W T,Dominguez L R.An electronically controlled piezoelectric insulin pump and valves[J].IEEE Transcations on Sonics and Ultrasonics,1978,25(3)：153-156.

[7] 闞君武，楊志剛，唐可洪，等.新結(jié)構(gòu)藥品輸送壓電泵的泵送特性[J].生物醫(yī)學(xué)工程學(xué)雜志,2004,21(2)：297-301.

Kan Junwu,Yang Zhigang,Tang Kehong,et al.Pumping performance of a new piezoelectric pump for drug delivery[J].Journal of Biomedical Engineering,2004,21(2)：297-301.(in Chinese)

[8] Xia Qixiao,Zhang Jianhui,Lei Hong,et al.Theoretical analysis and experimental verification on flow field of piezoelectric pump with unsymmetrical slopes element[J].Chinese Journal of Mechanical Engineerin,2009,22(5)：735-744.

[9] 張建輝，郭宗信，黃毅，等.內(nèi)外不等錐度的軟質(zhì)錐殼形單閥體壓電泵的原理與試驗(yàn)研究[J].機(jī)械工程學(xué)報(bào),2010,46(24)：143-149.

Zhang Jianhui,Guo Zongxin,Huang Yi,et al.Theory and experiment on the soft texture and conning shaped single valve piezoelectric pump with different interior and exterior taper[J].Chinese Journal of Mechanical Engineerin,2010,46(24)：143-149.(in Chinese)

[10]吳越，楊志剛，劉勇，等.壓電泵設(shè)計(jì)中閥的匹配方法[J].振動(dòng)、測(cè)試與診斷,2013,30(S2)：33-36.

Wu Yue,Yang Zhigang,Liu Yong,et al.Study on the performance optimization of check valve in piezoelectric pump[J].Journal of Vibration,Measurement &Diagnosis,2013,30(S2):33-36.(in Chinese)

[11]Hu Xiaoqi,Zhang Jianhui,Huang Yi,et al.Principle and experimental verification of caudal-fin-type piezoelectric-stack pump with variable-cross-section oscillating vibrator [J].Chinese Journal of Mechanical Engineerin,2012,25(1)：128-136.

[12]胡笑奇，方雅敏，張蕊華，等.剛?cè)峤Y(jié)構(gòu)仿尾鰭壓電雙晶片無閥泵的實(shí)驗(yàn)研究[J].振動(dòng)、測(cè)試與診斷,2015,35(3)：476-480.

Hu Xiaoqi,Fang Yamin,Zhang Ruihua,et al.Experimental study of caudal-fin-like piezoelectric -bimorph valveless pump with flexible-rigid structure[J].Journal of Vibration,Measurement &Diagnosis,2015,35(3)：476-480.(in Chinese)

[13]闞君武，吳一輝，楊志剛，等.懸臂梁微型閥特性研究[J].哈爾濱工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào),2005,37(2)：190-193.

Kan Junwu,Wu Yihui,Yang Zhigang,et al.Study on the performance of micro-cantilever valve[J].Journal of Harbin Institute of Technology,2005,37(2)：190-193.(in Chinese)

[14]程光明，劉國(guó)君，楊志剛，等.基于懸臂梁閥的微型壓電泵的實(shí)驗(yàn)研究[J].機(jī)械科學(xué)與技術(shù),2005,24(10)：1181-1221.

Cheng Guangming,Liu Guojun,Yang Zhigang,et al.Experimental research on piezoelectric micro-pump using cantilever check valve[J].Mechanical Science and Technology,2005,24(10)：1181-1221.(in Chinese)

[15]趙明麗，黃琴，張瑋，等.懸臂梁閥單腔壓電泵設(shè)計(jì)方法研究[J].光學(xué)精密工程,2006,14(4)：607-611.

Zhao Mingli,Huang Qin,Zhang Wei,et al.Investigation on design method of single chamber piezoelectric pump with cantilever valve[J].Optics and Precision Engineering,2006,14(4)：607-611.(in Chinese)

[16]何麗紅，侯鐵成，胡憶溈.壓電泵新型被動(dòng)閥的結(jié)構(gòu)研究[J].微計(jì)算機(jī)信息,2007,23(12-1)：118-120.

He Lihong,Hou Tiecheng,Hu Yiwei.Structure study of a novel passive valve for piezoelectric pump[J].Micro Computer Information,2007,23(12-1)：118-120.(in Chinese)

[17]王穎，張建輝，劉瑞峰.螺旋線形閥壓電泵的理論與試驗(yàn)研究[J].機(jī)械工程學(xué)報(bào),2016,52(20)：144-150.

Wang Ying,Zhang Jianhui,Liu Ruifeng.The theoretical and experimental research on the piezoelectric pump with helical linear shaped valve[J].Chinese Journal of Mechanical Engineering,2016,52(20)：144-150.(in Chinese)

[18]張英會(huì)，劉輝航，王德成.彈簧手冊(cè)[M].北京：機(jī)械工業(yè)出版社,1997:304-305.

10.16450/j.cnki.issn.1004-6801.2017.04.026

* 國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51375227)；廣州大學(xué)引進(jìn)人才科研啟動(dòng)資助項(xiàng)目(ZJH3-2001)；泰州職業(yè)技術(shù)學(xué)院院級(jí)科研重點(diǎn)資助項(xiàng)目(TZYKYZD-17-2)

2016-08-31；

2016-09-28

TH35； TH38

王穎，女，1970年11月生，碩士、副教授、高級(jí)工程師。主要研究方向?yàn)闄C(jī)械設(shè)計(jì)及理論。曾發(fā)表《數(shù)控銑床編程與操作實(shí)訓(xùn)教程》(上海：上海交通大學(xué)出版社，2010年)等論著。 E-mail:450966011@qq.com