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刻蝕上料機(jī)產(chǎn)能提升方法研究

2021-06-28 10:59王鵬鵬郭遠(yuǎn)威
山西電子技術(shù) 2021年3期
關(guān)鍵詞:硅片花籃皮帶

王鵬鵬,郭遠(yuǎn)威

(中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第二研究所,山西 太原 030024)

隨著光伏行業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)越來(lái)越激烈,各個(gè)廠家對(duì)設(shè)備產(chǎn)能的要求越來(lái)越高[1]。本文通過(guò)研究刻蝕上料機(jī)的結(jié)構(gòu)和動(dòng)作流程,分析產(chǎn)能的影響因素,主要從硅片的橫向排定時(shí)間,硅片從橫向傳送機(jī)構(gòu)位傳至與刻蝕機(jī)對(duì)接位的時(shí)間兩方面入手,使硅片快速傳送至刻蝕機(jī)的滾輪上,從而提升刻蝕上料機(jī)的產(chǎn)能。

1 刻蝕上料機(jī)的結(jié)構(gòu)和工作原理

刻蝕上料機(jī)主要包括縱向傳送機(jī)構(gòu)、橫向傳送機(jī)構(gòu)、側(cè)傳送機(jī)構(gòu)、伸縮手傳送機(jī)構(gòu),緩存機(jī)構(gòu)、花籃升降機(jī)構(gòu)和花籃傳送機(jī)構(gòu)??涛g上料機(jī)的工作原理如下:

1)把裝滿硅片的花籃置于下層花籃傳送機(jī)構(gòu)的入口,由電機(jī)驅(qū)動(dòng)同步帶將滿花籃傳送至花籃升降機(jī)構(gòu);

2)花籃升降機(jī)構(gòu)將滿花籃提升至首片位;

3)伸縮手傳送機(jī)構(gòu)將平皮帶伸入花籃底板與第一張硅片的空隙中;

4)伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)花籃升降組件下降固定距離,硅片落到伸縮手皮帶上,步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)伸縮手皮帶轉(zhuǎn)動(dòng),重復(fù)上述動(dòng)作,將硅片依次從花籃中傳出;

5)側(cè)傳送皮帶對(duì)接伸縮手皮帶,步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)側(cè)傳送皮帶傳送硅片;

6)橫向傳送皮帶對(duì)接側(cè)傳送皮帶,步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)橫向傳送皮帶,通過(guò)光電傳感器排定硅片;

7)橫向傳送皮帶上排定5張硅片后,通過(guò)氣缸驅(qū)動(dòng),橫向傳送機(jī)構(gòu)下降15mm,硅片落至縱向傳送皮帶上;

8)交流步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)縱向傳送皮帶,快速將硅片傳送至刻蝕機(jī)滾輪上,完成上料功能。

9)上述1) -5) 流程A、B雙道互不影響,6) -8) 流程交替進(jìn)行。

2 刻蝕上料機(jī)的產(chǎn)能分析

針對(duì)單側(cè)雙通道機(jī)型,前排A通道傳送一排硅片至刻蝕機(jī)滾輪的時(shí)間TA= TA1+TA2+TA3+TA4,其中TA1為橫向排片時(shí)間,TA2為橫向傳送機(jī)構(gòu)氣缸下降時(shí)間,TA3為硅片從A道橫向傳送機(jī)構(gòu)位傳至與刻蝕機(jī)對(duì)接位的時(shí)間,TA4為橫向傳送機(jī)構(gòu)氣缸頂升時(shí)間。后排B通道傳送一排硅片至刻蝕機(jī)滾輪的時(shí)間TB=TB1+TB2+TB3+TB4,其中TB1為橫向排片時(shí)間,TB2為橫向傳送機(jī)構(gòu)氣缸下降時(shí)間,TB3為硅片從B道橫向傳送機(jī)構(gòu)位傳至與刻蝕機(jī)對(duì)接位的時(shí)間,TB4為橫向傳送機(jī)構(gòu)氣缸頂升時(shí)間。

橫向傳送機(jī)構(gòu)氣缸的下降不宜過(guò)快,以防機(jī)構(gòu)振動(dòng)過(guò)大,造成硅片破碎或隱裂,現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試下降和頂升時(shí)間分別為TA2=TB2=1s和TA4=TB4=0.8s。

A道硅片從橫向傳送機(jī)構(gòu)位到刻蝕機(jī)對(duì)接位的距離為L(zhǎng)A=335mm,傳送平皮帶主動(dòng)輪外徑D=30mm,最快轉(zhuǎn)速n=6rad/s,經(jīng)計(jì)算

TA3=LA/(π﹒D﹒n)≈0.59s.

B道硅片從橫向傳送機(jī)構(gòu)位到刻蝕機(jī)對(duì)接位的距離為L(zhǎng)B=750mm,經(jīng)計(jì)算

TB3=LB/(π﹒D﹒n)≈1.33s

目前,根據(jù)光伏行業(yè)要求,適用五道刻蝕機(jī)的上料機(jī)產(chǎn)能需達(dá)到5500片/小時(shí)及以上。根據(jù)產(chǎn)能要求, TA與TB需同時(shí)小于TK,才能夠滿足目前的產(chǎn)能要求。

通過(guò)現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備運(yùn)行分析,影響刻蝕上料機(jī)產(chǎn)能的環(huán)節(jié)主要包括橫向硅片的排定時(shí)間和硅片從橫向傳送機(jī)構(gòu)位傳至與刻蝕機(jī)對(duì)接位的時(shí)間,因此,提升產(chǎn)能需要從上述兩方面入手。

3 改進(jìn)方法

3.1 花籃旋轉(zhuǎn)替代硅片旋轉(zhuǎn)

刻蝕自動(dòng)化設(shè)備花籃裝卸方式要求為人工搬運(yùn)兼容AGV搬運(yùn),刻蝕上料機(jī)的滿花籃開(kāi)口朝向規(guī)定為與運(yùn)動(dòng)方向相同,空花籃開(kāi)口朝向與運(yùn)動(dòng)方向相反。圖1為硅片旋轉(zhuǎn)方式。圖2為花籃旋轉(zhuǎn)方式。

圖1 硅片換向設(shè)備結(jié)構(gòu) 圖2 花籃換向設(shè)備結(jié)構(gòu)

硅片轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)采用交流步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)偏心輪結(jié)構(gòu),如圖3所示,電機(jī)旋轉(zhuǎn)1/2周,傳送皮帶產(chǎn)生5mm的高度差,利用槽型傳感器檢測(cè)位置信號(hào),PLC程序控制硅片的傳輸與停止。實(shí)際測(cè)算,硅片轉(zhuǎn)向一次最快需要0.8s,排定五片時(shí)間最小為4s。經(jīng)計(jì)算,TA=6.39s,TB=7.13s,TB>TA,此時(shí)B道硅片傳送時(shí)間決定產(chǎn)能。由于TB>TK,因此不能滿足目前的產(chǎn)能要求。

改用花籃轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)后,在花籃出片的時(shí)間段,完成花籃的換向動(dòng)作,不再影響橫向排片。從花籃出一張硅片需要0.61s,采用花籃轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)后,排定五片時(shí)間最小時(shí)間為3.05s。經(jīng)計(jì)算,TA=5.44s,TB=6.18s,TB>TA,此時(shí)B道硅片傳送時(shí)間決定產(chǎn)能。由于TA和TB同時(shí)小于TK,因此能夠滿足目前的產(chǎn)能要求。

圖3 硅片轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)

3.2 縱向傳送機(jī)構(gòu)采用分段結(jié)構(gòu)

縱向傳送機(jī)構(gòu)若采用一段皮帶傳動(dòng),A道和B道交替動(dòng)作,B道硅片排定好后,需等待與刻蝕機(jī)對(duì)接處A道硅片脫離傳感器時(shí),B道橫向傳送機(jī)構(gòu)氣缸下降, B道橫向傳送機(jī)構(gòu)位硅片快速傳到與刻蝕機(jī)對(duì)接位,當(dāng)傳感器檢測(cè)到硅片到達(dá)時(shí),B道橫向傳送機(jī)構(gòu)氣缸頂升,橫向傳送機(jī)構(gòu)開(kāi)始重新排片。B道硅片需等待A道硅片脫離對(duì)接處傳感器,才可進(jìn)行下一步動(dòng)作。

如圖4所示,縱向傳送機(jī)構(gòu)分為前后兩段, A道和B道硅片同時(shí)排定好后,A道和B道橫向傳送機(jī)構(gòu)氣缸下降,A道硅片快速傳到刻蝕機(jī)對(duì)接位,B道硅片傳送至后排等待區(qū),A道和B道同時(shí)開(kāi)始排片動(dòng)作,等待與刻蝕機(jī)對(duì)接處A道硅片脫離傳感器時(shí),B道硅片從等待區(qū)處快速傳到刻蝕工藝機(jī)對(duì)接位。B道橫向傳送機(jī)構(gòu)氣缸動(dòng)作將不受A道硅片動(dòng)作影響。

圖4 縱向與橫向硅片傳送機(jī)構(gòu)

后排B通道傳送一排硅片至后排等待區(qū)的時(shí)間TC= TC1+TC2+TC3+TC4,其中TC1為橫向排片時(shí)間,TC2為橫向傳送機(jī)構(gòu)氣缸下降時(shí)間,TC3為硅片從B道橫向傳送機(jī)構(gòu)位傳至后排等待區(qū)的時(shí)間,TC4為橫向傳送機(jī)構(gòu)氣缸頂升時(shí)間。

B道硅片從橫向傳送機(jī)構(gòu)位到后排等待區(qū)距離為L(zhǎng)C=205mm,其中TC2=1s,TC4=0.8s,經(jīng)計(jì)算

TC3=L/(π﹒D﹒n)≈0.36s .

TC=5.21s,TC

4 改進(jìn)效果

通過(guò)上述方法改進(jìn),根據(jù)理論計(jì)算,設(shè)備不間斷運(yùn)行,無(wú)故障狀態(tài)下,優(yōu)化前設(shè)備產(chǎn)能為5049片/小時(shí),優(yōu)化后產(chǎn)能可達(dá)6617片/小時(shí)。結(jié)合實(shí)際生產(chǎn)測(cè)算,設(shè)備產(chǎn)能由4800片/小時(shí)提高到6500片/小時(shí),大大提高了刻蝕上料機(jī)的產(chǎn)能。

5 總結(jié)

針對(duì)刻蝕上料機(jī)的結(jié)構(gòu)和工作流程,分析影響設(shè)備產(chǎn)能的主要因素,提出合理的改善方法,有效地提高了設(shè)備的產(chǎn)能,滿足了客戶的需求,同時(shí)提升了產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力。

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