陳 健，袁任賢，俞路陽，賴龍偉，冷用斌,2,*

(1.中國(guó)科學(xué)院 上海高等研究院，上海 201204；2.中國(guó)科學(xué)院 上海應(yīng)用物理研究所，上海 201800)

上海軟X射線自由電子激光裝置(SXFEL)是我國(guó)第1臺(tái)能輻射出X射線的相干光源，主要由光陰極注入器、直線加速器、兩級(jí)高增益諧波放大器和診斷線站構(gòu)成。第1階段為實(shí)驗(yàn)裝置，電子束能量可被加速至840 MeV，其目標(biāo)是在軟X射線波段區(qū)實(shí)現(xiàn)9 nm出光并驗(yàn)證級(jí)聯(lián)的高增益諧波放大模式的可行性。第2階段將升級(jí)為用戶裝置，通過增加兩個(gè)C波段加速結(jié)構(gòu)將電子束能量增至1.5 GeV，其目標(biāo)是實(shí)現(xiàn)2 nm出光并提供長(zhǎng)期穩(wěn)定、具有超高亮度的X射線脈沖，為材料、物理生物研究等提供高分辨成像、超快過程探索、先進(jìn)結(jié)構(gòu)解析等尖端研究手段[1]。

而根據(jù)自由電子激光(FEL)的運(yùn)行機(jī)制，為減少FEL輻射輸出功率衰退，在波蕩器段需使電子束與產(chǎn)生的輻射光能有效進(jìn)行相互作用并實(shí)現(xiàn)高效的能量轉(zhuǎn)換和傳輸，從而要求電子束與光子束的軌道近乎一致[2-3]，因此要求束流橫向位置測(cè)量系統(tǒng)的分辨率好于μm甚至亞μm量級(jí)。各種束流位置探測(cè)器中僅采用諧振腔結(jié)構(gòu)的腔式束流位置測(cè)量(cavity beam position monitor, CBPM)系統(tǒng)能耦合束流在腔內(nèi)激發(fā)的多種電磁場(chǎng)特征模式，具有極高的位置靈敏度，能滿足此需求[4]，因而被廣泛應(yīng)用于各類FEL裝置和國(guó)際線性對(duì)撞機(jī)中[5-7]。本文設(shè)計(jì)研制1個(gè)由C波段腔式探頭、單路混頻至低中頻的射頻前端以及自主研發(fā)的專用數(shù)字信號(hào)束流位置處理器(digital beam position monitor processor, DBPM)構(gòu)成的CBPM。

1 系統(tǒng)需求

根據(jù)FEL物理設(shè)計(jì)給出的技術(shù)要求[1]，為滿足SXFEL調(diào)試、驗(yàn)收、運(yùn)行及機(jī)器研究的需要，在實(shí)驗(yàn)裝置中，波蕩器段束流位置測(cè)量系統(tǒng)需提供17個(gè)CBPM探頭，分別安裝在每臺(tái)波蕩器的入口和出口處，用于束流位置的精確測(cè)量。此外，根據(jù)CBPM的相位腔(參考腔)特性，其耦合出的信號(hào)幅度與束團(tuán)電荷量呈正比，可用于精確的束團(tuán)電荷量的相對(duì)測(cè)量；而信號(hào)的初始相位還包含束團(tuán)到達(dá)時(shí)間的信息，可用于束團(tuán)到達(dá)時(shí)間的精確測(cè)量。因此，建成后的系統(tǒng)應(yīng)達(dá)到如下主要技術(shù)指標(biāo)。

1) 束流橫向位置測(cè)量。提供束流軌道的精確測(cè)量值，并用于軌道校正，從而找到電子束的理想軌道。要求測(cè)量系統(tǒng)的位置分辨率在束團(tuán)電荷量為500 pC、系統(tǒng)動(dòng)態(tài)范圍為±500 μm的條件下好于1 μm(表示為1 μm@500 pC±500 μm)。

2) 束團(tuán)到達(dá)時(shí)間測(cè)量。結(jié)合束流橫向位置測(cè)量，實(shí)現(xiàn)電子束團(tuán)和種子激光在三維空間上的同步。要求測(cè)量系統(tǒng)的時(shí)間分辨率好于100 fs。

3) 束團(tuán)電荷量的相對(duì)測(cè)量。要求測(cè)量系統(tǒng)的相對(duì)電荷量測(cè)量分辨率好于0.1%。

4) 系統(tǒng)測(cè)量線性范圍在束團(tuán)電荷量為500 pC時(shí)≥±2 mm。

2 CBPM探測(cè)原理

當(dāng)束團(tuán)通過諧振腔時(shí)，由于尾場(chǎng)效應(yīng)會(huì)在腔內(nèi)激發(fā)出電磁場(chǎng)的各種特征模式。對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)的圓柱形腔體，當(dāng)束團(tuán)沿z軸通過時(shí)，由于TM(transverse magnetic)模式具有縱向電場(chǎng)，束團(tuán)將在其自身激發(fā)的縱向電場(chǎng)里損失能量，導(dǎo)致該模式得到有效激發(fā)，因此，只有TM模式被激發(fā)且振幅由損失的束流能量決定。其中，偶極模TM110具有軸向反對(duì)稱性，其軸向電場(chǎng)分量在圓坐標(biāo)系中可由式(1)表示[8-9]：

(1)

式中：E0為電場(chǎng)強(qiáng)度；J1為一階貝塞爾函數(shù)；μ11為一階貝塞爾函數(shù)的第1個(gè)根；r為腔體半徑；ω為腔體諧振角頻率；ρ為徑向坐標(biāo)。當(dāng)ρ接近0時(shí)，J1(ρ)正比于ρ，即當(dāng)束流在腔體電中心附近時(shí)，所激勵(lì)的TM110信號(hào)強(qiáng)度與中心偏移量呈正比，且在軸心兩側(cè)的電場(chǎng)相位相差180°。因此，偶極模的激發(fā)電壓Vz可由束團(tuán)位置偏移量x和束團(tuán)電荷量q簡(jiǎn)單表示：

Vz=A0qx

(2)

為消除束團(tuán)電荷量抖動(dòng)帶來的影響并為束團(tuán)偏移方向的判斷提供1個(gè)參考相位，還需添加1個(gè)主工作模式為單極模的參考腔。對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)圓柱型腔體，當(dāng)束流在腔體電中心附近時(shí)，單極模TM010的軸向電場(chǎng)分量可由式(3)表示[8-9]：

(3)

式中：J0為零階貝塞爾函數(shù)；μ01為零階貝塞爾函數(shù)的第1個(gè)根。當(dāng)束團(tuán)偏離中心軸的距離較小時(shí)，即ρ較小時(shí)，零階貝塞爾函數(shù)J0(ρ)的值接近于1，信號(hào)強(qiáng)度與束流偏心位置無關(guān)，而只與束團(tuán)電荷量q相關(guān)，因此常用于位置腔信號(hào)的歸一化以及束團(tuán)電荷量的相對(duì)測(cè)量。并且由于該模式電場(chǎng)的軸向?qū)ΨQ性，當(dāng)束團(tuán)偏離中心軸兩側(cè)時(shí)，其相位一致，可作為位置腔TM110模信號(hào)相位的參考基準(zhǔn)，從而可進(jìn)行束流偏移方向的判斷。此外，束流到達(dá)時(shí)間也可從參考腔TM010模式相對(duì)主時(shí)鐘信號(hào)的RF相位測(cè)得。

3 系統(tǒng)設(shè)計(jì)及研制

3.1 硬件結(jié)構(gòu)

依據(jù)FEL物理的需求，SXFEL的CBPM系統(tǒng)探頭分布及硬件結(jié)構(gòu)如圖1所示。共有17個(gè)CBPM探頭分布在每臺(tái)波蕩器的入口和出口處，根據(jù)探頭較大范圍分布的特點(diǎn)，系統(tǒng)的數(shù)據(jù)采集采用了分布式的結(jié)構(gòu)，在技術(shù)走廊也有與探頭分布對(duì)應(yīng)的4個(gè)束測(cè)本地站，每個(gè)本地站機(jī)柜最多可配有5套射頻前端、5套DBPM、1套本振信號(hào)源和1套定時(shí)扇出模塊，用于完成對(duì)應(yīng)CBPM探頭信號(hào)的處理和分析。

整個(gè)系統(tǒng)主要由3部分組成：位于隧道內(nèi)的腔式探頭拾取電子束在腔內(nèi)激發(fā)的電磁場(chǎng)特征模式信號(hào)，并由短接同軸電纜組件傳輸至前置放大前端中完成信號(hào)的濾波和預(yù)放大，以減小有效信號(hào)在長(zhǎng)距離主射頻電纜中的損耗；預(yù)處理的信號(hào)經(jīng)插入損耗較低的Times的LMR600射頻電纜傳輸至束測(cè)本地站，再和本振源產(chǎn)生的與束流完全同步、低相位噪聲的本振信號(hào)下變頻至約500 MHz中頻，由DBPM接收該饋入信號(hào)，并在定時(shí)網(wǎng)絡(luò)扇出的觸發(fā)信號(hào)同步下對(duì)信號(hào)進(jìn)行量化、處理完成束流位置等信息的提取，最后以EPICS(experimental physics and industrial control system)運(yùn)行數(shù)據(jù)庫(kù)記錄方式向控制系統(tǒng)提供束流位置等數(shù)據(jù)服務(wù)。

圖1 CBPM系統(tǒng)硬件結(jié)構(gòu)Fig.1 Hardware configuration of CBPM system

1) 腔式BPM探頭

考慮到SXFEL的束團(tuán)重復(fù)頻率僅10 Hz，為降低對(duì)后續(xù)信號(hào)處理電子學(xué)在數(shù)據(jù)采集上的壓力以及獲取更多的信號(hào)處理增益，選用高有載品質(zhì)因子Q的方案。探頭的結(jié)構(gòu)參考日本SACLA的設(shè)計(jì)優(yōu)化而成[6]，為避免來自主加速器系統(tǒng)的暗電流干擾，腔體的工作頻率需遠(yuǎn)離主加速器工作頻率2 856 MHz的整數(shù)和半整數(shù)倍頻率，結(jié)合SXFEL波蕩器段16 mm的真空管道直徑，因此將諧振腔的工作頻率選擇在4.7 GHz附近，而為提高腔體的Q，腔體材料采用了電導(dǎo)率更高的無氧銅[10]。圖2為設(shè)計(jì)的高Q型CBPM探頭的三維結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2 高Q型CBPM探頭三維結(jié)構(gòu)示意圖Fig.2 Three-dimensional structure of high-Q CBPM

為減小腔體間的串?dāng)_對(duì)束流位置測(cè)量的影響，在探頭設(shè)計(jì)和加工中將水平、垂直位置腔和參考腔的諧振頻率設(shè)定得略有偏差，其頻率f分別設(shè)定：在水平方向?yàn)?.681 GHz、垂直方向?yàn)?.689 GHz、參考腔為4.694 GHz[11]。經(jīng)多批零件加工測(cè)試來探索加工精度對(duì)腔體諧振頻率和Q的影響趨勢(shì)，采用參考腔和位置腔獨(dú)立加工，各自指標(biāo)達(dá)到要求后整體焊接的方法，并在最終組裝焊接前、后均用網(wǎng)絡(luò)分析儀進(jìn)行腔體諧振頻率和Q的測(cè)試，以保證腔體批量加工的一致性。圖3、4分別為批量加工17套CBPM的諧振頻率和Q一致性的測(cè)量結(jié)果。

圖3 諧振頻率一致性測(cè)量結(jié)果Fig.3 Measurement result of resonant frequency

圖4 Q一致性測(cè)量結(jié)果Fig.4 Measurement result of Q

由上圖批量測(cè)試結(jié)果可知，腔體加工頻差可控制在±3 MHz以內(nèi)，Q一致性可控制在10%以內(nèi)。

2) RF前端

RF前端的主要功能是將從腔體中耦合出的高頻信號(hào)進(jìn)行調(diào)理、整形，使輸出的IF信號(hào)能匹配ADC(analog-to-digital converter)最佳輸入量程，并降低信號(hào)的載波頻率，有效利用現(xiàn)有高分辨率ADC的性能。

對(duì)于RF前端，其設(shè)計(jì)要求包括有：

(1) 前端噪聲系數(shù)NF小于15 dB；

(2) 本振輸出信號(hào)與束流信號(hào)完全同步，相位抖動(dòng)附加(RMS)小于30 fs；

(3) IF信號(hào)頻率約500 MHz，以匹配后續(xù)信號(hào)處理電子學(xué)的模擬輸入帶寬要求；

(4) 三通道IF信號(hào)輸出幅值大致相同，以匹配ADC輸入量程；

(5) 在束團(tuán)電荷量1 nC條件下，最大束流偏心4 mm，前端不損壞。

據(jù)此設(shè)計(jì)了一款基于外差接收機(jī)架構(gòu)的RF前端，其結(jié)構(gòu)框圖如圖5所示。

圖5 射頻前端結(jié)構(gòu)框圖Fig.5 Block diagram of RF front-end

整個(gè)RF前端分為兩部分，一部分是位于隧道內(nèi)的前置放大前端，對(duì)從腔體耦合出來的信號(hào)進(jìn)行濾波和預(yù)放大，以減小連接隧道內(nèi)外的長(zhǎng)距離傳輸電纜對(duì)有效信號(hào)的損耗。另一部分位于隧道外，本振信號(hào)發(fā)生器接收定時(shí)系統(tǒng)傳輸過來的2 856 MHz的參考時(shí)鐘信號(hào)，輸出與束團(tuán)信號(hào)同步的頻率為4 184.83 MHz的LO信號(hào)，將隧道內(nèi)引出的腔體信號(hào)下變頻至500 MHz附近。集成在DBPM中的可調(diào)中頻放大器完成最后的增益調(diào)整，以滿足ADC的最佳幅度輸入要求，且中心頻率為500 MHz、帶寬為±10 MHz的聲表面濾波器作為抗混疊濾波器以抑制其他諧波的干擾。

為實(shí)現(xiàn)本振信號(hào)與束流同步，并保證較小的相位抖動(dòng)附加，采用模擬混頻直接合成的LO信號(hào)產(chǎn)生方式，其基本原理是將參考信號(hào)進(jìn)行多次分頻、混頻和倍頻組合，以最大程度降低分頻對(duì)本底噪聲的影響，其方案如圖6所示。

經(jīng)Agilent E5052A信號(hào)分析儀測(cè)試，該合成方案的本振輸入輸出信號(hào)RMS小于10 fs，滿足設(shè)計(jì)要求。

圖6 模擬直接頻率合成方案示意圖Fig.6 Diagram of analog direct frequency synthesis scheme

3) 數(shù)字BPM信號(hào)處理器

數(shù)據(jù)的采集和信號(hào)處理采用了上海光源束測(cè)組自主研發(fā)的數(shù)字束流位置處理器，該處理器基于軟件無線電架構(gòu)，采用帶通采樣技術(shù)作為信號(hào)的量化方案。在硬件結(jié)構(gòu)上采用嵌入式Standalone結(jié)構(gòu)，主要由1個(gè)射頻信號(hào)調(diào)理子板和1個(gè)數(shù)字處理母板組成，射頻信號(hào)調(diào)理子板主要完成信號(hào)的調(diào)理整形和信號(hào)的量化，數(shù)字處理母板以FPGA(field programmable gate array)作為信號(hào)處理平臺(tái)進(jìn)行在線數(shù)字信號(hào)的處理，并結(jié)合ARM處理器實(shí)現(xiàn)信號(hào)傳輸、儲(chǔ)存和數(shù)據(jù)的獲取等功能[12-16]，整體硬件結(jié)構(gòu)如圖7所示。

圖7 DBPM硬件結(jié)構(gòu)框圖Fig.7 Hardware structure diagram of DBPM

3.2 軟件結(jié)構(gòu)

數(shù)據(jù)的獲取采用分布式結(jié)構(gòu)，在DBPM電子學(xué)的ARM中運(yùn)行ARM-Linux操作系統(tǒng)并集成了EPICS IOC(input output controller)，并以運(yùn)行數(shù)據(jù)庫(kù)記錄的形式實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)參數(shù)的配置、原始ADC數(shù)據(jù)以及計(jì)算得到的束流位置等結(jié)果數(shù)據(jù)的獲取和傳輸。運(yùn)行人員可通過位于OPI(operator interface)層的EDM面板進(jìn)行電子學(xué)設(shè)備的控制以及運(yùn)行數(shù)據(jù)的監(jiān)測(cè)，系統(tǒng)軟件架構(gòu)如圖8所示。

CBPM的在線信號(hào)處理在底層的FPGA中實(shí)現(xiàn)，以滿足未來SXFEL用戶裝置50 Hz束團(tuán)重復(fù)頻率的工作模式[17-18]。在信號(hào)處理算法上，在采用傳統(tǒng)的快速傅里葉變換方法進(jìn)行信道幅度和相位提取的基礎(chǔ)上，針對(duì)DBPM電子學(xué)中FPGA內(nèi)部資源不足只能截取有效波形處512點(diǎn)數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算的特殊情況，提出了固定FFT諧振頻率點(diǎn)處的下標(biāo)來解調(diào)相位的優(yōu)化方案，解決了由于柵欄效應(yīng)引起的相位解調(diào)存在較大誤差的問題。

圖8 系統(tǒng)軟件架構(gòu)Fig.8 Software architecture of system

4 系統(tǒng)調(diào)試及性能評(píng)估

基于系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和研制，在SXFEL中完成了CBPM系統(tǒng)的搭建，并在此基礎(chǔ)上進(jìn)行了系統(tǒng)的束流調(diào)試和相關(guān)性能的評(píng)估測(cè)試。

4.1 位置分辨率評(píng)估

選取主加速器末端的漂移段處的3個(gè)相鄰的腔式探頭進(jìn)行數(shù)據(jù)的關(guān)聯(lián)分析從而去除束流抖動(dòng)對(duì)位置分辨率評(píng)估的影響，系統(tǒng)組成如圖9所示。

位于CBPM探頭下方的移動(dòng)平臺(tái)可實(shí)現(xiàn)水平和垂直方向的移動(dòng)來模擬束流位置的相對(duì)偏移，可進(jìn)行RF前端增益線性范圍的評(píng)估以及位置轉(zhuǎn)換因子K的標(biāo)定。

圖10為測(cè)試的RF前端增益線性曲線，在束流偏移電中心±2 mm范圍內(nèi)呈較好的線性，而在大于2 mm時(shí)線性度不足，這是受位于隧道內(nèi)的射頻前置放大器的P1 dB飽和功率所限制，測(cè)試結(jié)果與設(shè)計(jì)期望值符合。

圖9 漂移段束流位置分辨率評(píng)估系統(tǒng)組成結(jié)構(gòu)Fig.9 Diagram of beam position resolution evaluation system in drift section

圖10 RF前端的增益線性曲線Fig.10 Gain linear curve of RF front-end

圖11為3個(gè)探頭的幾何位置分布及關(guān)聯(lián)分析的示意圖。由式(4)的幾何關(guān)系，CBPM2的位置(U′2)可由CBPM1和CBPM3的位置(U′1和U′3)來預(yù)測(cè)。假設(shè)束流呈直線通過所有BPM，因此可通過CBPM2的測(cè)量值(U2)和U′2之間的差異(ΔU)并結(jié)合幾何因子GF來計(jì)算位置分辨率，如式(5)所示，其中幾何因子可由式(6)計(jì)算。

圖11 探頭幾何分布及關(guān)聯(lián)分析示意圖Fig.11 Schematic of detector geometric distribution and correlation analysis

(4)

δCBPM=GF·STD(Δd)

(5)

(6)

式中：δCBPM為分辨率；Δd為位置垂直方向期望值與測(cè)量值之差；STD為相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差。

結(jié)合圖12的K標(biāo)定結(jié)果，在束團(tuán)電荷量為500 pC、系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)范圍在±800 μm的工作條件下，CBPM2垂直方向的測(cè)量值與期望值之間的線性關(guān)系如圖13所示，殘差分布如圖14所示。

圖12 位置轉(zhuǎn)換因子標(biāo)定結(jié)果Fig.12 Calibration result of position conversion factor

圖13 位置測(cè)量值和期望值之間的關(guān)系Fig.13 Relationship of measured position and expected values

圖14 位置測(cè)量值與期望值的殘差分布Fig.14 Residual distribution of measured position and expected values

從束流實(shí)驗(yàn)結(jié)果可知，當(dāng)在束團(tuán)電荷量為500 pC、系統(tǒng)動(dòng)態(tài)范圍在±800 μm的條件下，測(cè)得CBPM系統(tǒng)在垂直方向的位置分辨率可達(dá)880 nm，實(shí)現(xiàn)了SXFEL對(duì)CBPM系統(tǒng)進(jìn)行位置測(cè)量好于1 μm@500 pC±500 μm的指標(biāo)要求。理論上，若可將系統(tǒng)動(dòng)態(tài)范圍縮小至±500 μm，可實(shí)現(xiàn)約550 nm的位置分辨率結(jié)果。

4.2 相對(duì)電荷量分辨率評(píng)估

為評(píng)估CBPM的參考腔進(jìn)行束團(tuán)電荷量測(cè)量的性能，在漂移段選取兩個(gè)相鄰的CBPM的參考腔進(jìn)行數(shù)據(jù)的關(guān)聯(lián)分析，從而去除束團(tuán)電荷量抖動(dòng)的影響，實(shí)驗(yàn)評(píng)估結(jié)果如圖15所示。

圖15 相對(duì)束團(tuán)電荷量分辨率評(píng)估結(jié)果Fig.15 Evaluation result of relative bunch charge resolution

圖15為相鄰兩個(gè)參考腔進(jìn)行束團(tuán)電荷量測(cè)量的線性關(guān)聯(lián)分析結(jié)果，評(píng)估得到利用參考腔進(jìn)行束團(tuán)電荷量測(cè)量的分辨率為0.076%，好于0.1%的相對(duì)電荷量測(cè)量的指標(biāo)要求。

4.3 束流到達(dá)時(shí)間分辨率評(píng)估

同樣，參考腔的主模TM010模式信號(hào)電場(chǎng)也包含著束流到達(dá)時(shí)間相位信息，因此仍采用相鄰兩個(gè)參考腔的數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)分析的方法進(jìn)行束流到達(dá)時(shí)間分辨率和束流飛行時(shí)間分辨率的評(píng)估測(cè)試，評(píng)估結(jié)果分別如圖16、17所示。

由評(píng)估結(jié)果可知，采用CBPM的參考腔進(jìn)行束流到達(dá)時(shí)間測(cè)量時(shí)，分辨率可達(dá)到57.2 fs，束流飛行時(shí)間分辨率可達(dá)約34 fs，好于束流到達(dá)時(shí)間系統(tǒng)分辨率優(yōu)于百fs的指標(biāo)要求。

圖16 束團(tuán)到達(dá)時(shí)間測(cè)量結(jié)果的分布直方圖Fig.16 Histogram of beam arriving time

圖17 束團(tuán)飛行時(shí)間測(cè)量結(jié)果的分布直方圖Fig.17 Histogram of beam flying time

5 結(jié)論

本文結(jié)合SXFEL波蕩器段對(duì)束流位置測(cè)量的要求，完成了腔式探頭的物理設(shè)計(jì)和加工、RF前端的設(shè)計(jì)和電路搭建、本振信號(hào)源的設(shè)計(jì)、束流信號(hào)處理器硬件和軟件的開發(fā)，并在國(guó)內(nèi)首次成功搭建了可在線運(yùn)行的CBPM系統(tǒng)。初步束流實(shí)驗(yàn)測(cè)試結(jié)果表明該系統(tǒng)在束團(tuán)電荷量為500 pC、系統(tǒng)動(dòng)態(tài)范圍為±800 μm的條件下，得到了880 nm的位置分辨率評(píng)估結(jié)果，達(dá)到了SXFEL對(duì)CBPM系統(tǒng)進(jìn)行位置測(cè)量好于1 μm@500 pC±500 μm的指標(biāo)要求。利用CBPM的參考腔進(jìn)行束團(tuán)電荷量和束流到達(dá)時(shí)間的測(cè)量，在束團(tuán)電荷量為500 pC的條件下，得到了0.076%的相對(duì)電荷量分辨率、57.2 fs的束流到達(dá)時(shí)間分辨率以及34.1 fs的束流飛行時(shí)間分辨率的結(jié)果，實(shí)現(xiàn)了SXFEL相對(duì)束團(tuán)電荷量分辨率好于0.1%以及束流到達(dá)時(shí)間系統(tǒng)分辨率好于10-13s的目標(biāo)。