李曉瑜

（東北大學材料電磁過程研究教育部重點實驗室，沈陽110819）

0 引 言

隨著現(xiàn)代科學技術的迅猛發(fā)展，對金屬材料學的研究提供了新的方向，其中包括研究金屬材料的微細結構及其微區(qū)化學成分、金屬表面形態(tài)、結構特征、物理性質等。對金屬材料進行微區(qū)分析尤為重要，微區(qū)分析可以［1-3］：①用作常規(guī)金屬鑒定，由于分析區(qū)域小，幾乎是對常規(guī)金屬鑒定的唯一手段，甚至可以發(fā)現(xiàn)新的金屬；②通過微區(qū)分析可以查明金屬或合金產品中有益元素和有害元素的賦存狀態(tài)，從而為金屬材料的綜合利用和技術加工提供基礎資料；③通過綜合研究金屬微區(qū)的化學成分、結構和其他物理化學性質，可以極大地促進金屬材料科學中一些基本問題的研究和解決。因此，它為金屬分析提供了多方面新的研究方向。

肉眼和光學顯微鏡鑒定金屬材料的方法簡單、方便、快捷，但不能微觀理解金屬成分及其結構。近代物理學的發(fā)展使新的測試技術不斷涌現(xiàn)，成為金屬材料鑒定分析中重要的常規(guī)手段，如X 射線衍射分析（XRD ）［4-5］、透射電鏡（TEM ）［6-7］、掃描電鏡（SEM）［8-9］、電子探針（EPMA）［10-11］、俄歇電子能譜分析（AES）［12］及熱分析技術［13］等原理及方法。其中，用電子探針進行金屬微區(qū)的分析是非常有效并且精度較高的一種方法。通過構建基于電子探針的實驗教學平臺，讓學生充分了解電子探針的檢測原理及操作方法，并在實驗中掌握并實踐金屬微區(qū)分析的基本理論，真正做到理論與實際相結合。

1 電子探針的概況

電子探針以前也被稱為X 射線微區(qū)分析儀（XMA），現(xiàn)在稱為電子束微區(qū)分析儀（EPMA）。圖1所示為島津EPMA-1600 電子探針的實物圖，由圖中可見，電子探針主要由檢測設備和工作站構成，其中檢測設備主要用于完成對材料的微區(qū)分析實驗，而工作站則用來對實驗結果進行觀察以及再分析。圖2 所示為檢測設備的平面展開示意圖，由圖中可見，檢測設備主要由光學觀察設備、X 射線檢測器、背散射電子檢測器、二次電子檢測器、分光器、電子槍等主要元件構成。

圖1 島津EPMA-1600電子探針的實物圖

圖2 EPMA檢測設備的平面示意圖

基于此，電子探針是以單一能量的聚焦電子束為激發(fā)源，在試樣的待測元素內電子殼層產生空位，通過使用由分光晶體和檢測器組成的波譜儀，從而檢測原子退激發(fā)時發(fā)射的特征熒光X 射線，最終確定試樣的微米量級微區(qū)元素成分及含量的分析儀。

2 實驗教學平臺的設計

為了完成對樣品的微區(qū)分析，設計了由電子探針和Report Assistant軟件構成的實驗教學平臺，該教學平臺結合了Linux 和Windows 兩大操作系統(tǒng)，主要通過在Linux操作系統(tǒng)下的電子探針設備完成對樣品的微區(qū)分析檢測，利用在Windows 操作系統(tǒng)下的Report Assistant軟件對實驗結果及數(shù)據(jù)進行分析再處理，最終得到清晰明了并且適用于老師及學生做進一步研究的實驗結果。

圖3 所示為電子探針設備的檢測原理框圖。由圖中可見，電子探針的工作原理是使用聚焦電子束照射樣品表面上待測的微小區(qū)域，一方面樣品受到能量的注入，變成激發(fā)狀態(tài)，這時候會釋放出電子或離子、產生X 射線或光，以恢復到穩(wěn)定狀態(tài)，產生的電子、離子、X射線等直接帶有樣品的信息，從而完成對樣品微區(qū)的分析，具體情況如圖4 所示。另一方面，電子束可以激發(fā)樣品中不同波長（或能量）的特征X射線；基于特征X射線的波長（或能量）進行元素的定性分析，并且基于特征X射線的強度進行元素的定量分析。

圖3 電子探針設備的檢測原理框圖

圖4 激發(fā)源與檢測信息情況說明圖

Report Assistant是一個在Windows操作系統(tǒng)下運行的數(shù)據(jù)分析軟件，通過該軟件可以實現(xiàn)對實驗結果的分析再處理以及對實驗數(shù)據(jù)的批量保存。

電子探針實驗教學平臺的主要部分是在Linux 系統(tǒng)下完成的。Linux系統(tǒng)相對安全可靠，且可在服務器上長時間穩(wěn)定運行，確保對樣品進行精確微區(qū)分析時穩(wěn)定可靠。實驗結果的分析處理則在Window 系統(tǒng)下進行。處理數(shù)據(jù)時直觀簡潔的界面及快速高效的算法可大幅提高實驗的效率與質量。

3 實驗教學平臺的功能

設計的電子探針實驗教學平臺，可讓學生充分了解電子探針檢測原理的同時，完成對樣品的精確微區(qū)分析。平臺主要功能有兩大部分：形貌觀察和元素分析。具體功能分布如圖5 所示。

圖5 電子探針實驗教學平臺的主要功能

電子探針設備對于樣品的形貌觀察主要是通過二次電子像（SE-Image）、背散射電子像（BSE-Image）和吸收電子像（AE-Image）3 部分實現(xiàn)的。其中，二次電子像是指由入射電子轟擊的樣品中原子軌道電子攜帶的樣品信息而成的像，其空間分辨率極高，基本可以與入射電子直徑相當，適用于高倍樣品表面的精細構造觀察；背散射電子像是由入射電子的一部分在樣品表面附近被反彈，彈性或非彈性地向反向散射，從而反映出樣品內部信息所成的像，由于背散射電子的強度隨著樣品原子序數(shù)的增大而增強，因此，背散射電子像多用于反應表面形態(tài)和平均原子序數(shù)的差異；吸收電子像是指在樣品內部擴散的入射電子，與樣品中的原子反復碰撞，產生了二次電子及各種能量的電磁波（X射線），運動能量消失，以電流的形式通過地線流出，從而反映出樣品內部的結構信息所成的像，吸收電子的信號強度與背散射電子的信號強度相反，并且隨著樣品的原子數(shù)增加而減小，因此，吸收電子像也多用于反映樣品平均原子序數(shù)的差異。圖6 所示反映了不同信號下相同樣品的電子圖像。

另一方面，電子探針設備對于樣品的元素分析主要由定性分析、定量分析、線分析、面分析和狀態(tài)分析等功能構成［14］。完成這些功能所需要的最重要的信號是特征X射線，其波長與樣品原子序數(shù)之間存在一定關系，滿足Moseley定律［15］，通過定性分析可以知道構成樣品的元素，也可通過測量其強度進行定量分析；將分光器固定到某個元素的特征X 射線的波長位置，并在一維、二維方向上掃描電子束或樣品本身，從而得到線分析及面分析圖；根據(jù)化學結合狀態(tài)的不同，在X射線峰的波長、波形和強度上會有些許變化，通過這些變化可以知道元素間的結合狀態(tài)，從而完成對樣品的狀態(tài)分析。

圖6 不同信號下相同樣品的電子圖像

4 實驗注意事項

理想的實驗結果依賴于充分的樣品處理以及最優(yōu)的實驗條件設定，樣品的前期處理以及實驗過程中的條件設定這兩點是相輔相成的，任何一步做得不到位都有可能造成實驗結果不理想，甚至造成實驗失敗。

一個理想的樣品應具備如下特點［16］：①分析表面新鮮并且缺陷明顯；②樣品可承受在真空中觀察以及分析；③樣品應具備導電性、耐熱性和熱傳導性，如果樣品本身不具備導電性，則需要入射電子在被照射樣品表面層、或樣品表面附近具有導電性，這一過程可以通過噴鍍法實現(xiàn)；④在進行分析時，要盡可能地保證觀察面的平滑及水平。

在獲得理想樣品后，待選擇的實驗條件也根據(jù)分析目的而不同。因此，充分理解實驗條件的改變對實驗結果的影響是十分必要的。表1 列出了實驗條件變化時實驗結果的變化趨勢，圖7 所示為在電子探針實驗教學平臺上，根據(jù)表1 所獲得的實驗結果。

表1 實驗條件變化時實驗結果的變化趨勢

圖7 不同實驗條件下的不同實驗結果

必須指出，良好的實驗結果也依賴于豐富的實驗經驗。在充分理解相關實驗的基本理論之后，只有不斷提高自身應用能力，積累寶貴的經驗，才能通過實驗平臺獲得最理想的實驗結果。

5 結 語

以本校實驗室的專業(yè)特色為出發(fā)點，設計了一套基于電子探針的實驗教學平臺。該實驗教學平臺通過對金屬材料的微區(qū)進行定性以及定量分析，幫助相關專業(yè)的學生深入了解材料的化學性質及內部組織結構，同時通過在該實驗教學平臺的實際操作，培養(yǎng)和提高學生的創(chuàng)新能力和工程實踐能力，使他們將來能夠更好地為材料學的發(fā)展貢獻一份自己的力量！