陳 希,黃 蓉,鄔 曄

(湖南稀土金屬材料研究院,湖南長沙 410126)

鈦鋁合金濺射鍍膜靶材的研究進(jìn)展

陳 希,黃 蓉,鄔 曄

(湖南稀土金屬材料研究院,湖南長沙 410126)

綜述了鈦鋁合金靶材的制備技術(shù)及存在的問題。熱等靜壓燒結(jié)法,成本較高,不適合廣泛推廣。熱壓燒結(jié)法工藝效率高,制備的靶材致密度好,成本較低,適合產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。

鈦鋁合金;濺射靶材;制備方法

隨著人們環(huán)保意識(shí)的增強(qiáng),材料的表面鍍膜技術(shù)由傳統(tǒng)的電鍍及化學(xué)鍍技術(shù)逐漸過渡到真空濺射鍍膜技術(shù)。真空磁控濺射鍍膜技術(shù)已經(jīng)在五金裝飾鍍層、表面保護(hù)鍍層、電子產(chǎn)品鍍層、電磁屏蔽鍍膜以及汽車和建筑玻璃鍍膜領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用[1]。因此,該領(lǐng)域?qū)ο嚓P(guān)鍍膜靶材的需求也顯得極為迫切。

鈦鋁合金是一種真空鍍膜用合金濺射靶材,在該合金中通過調(diào)配鈦與鋁的含量可以獲得不同特性的鈦鋁合金靶材。鈦鋁金屬間化合物屬于硬脆材料,具有很好的耐磨性,在普通刀具表面覆著一層鈦鋁金屬間化合物,可以有效延長刀具的使用時(shí)間[2]。如配合氮?dú)夥烹娖鸹?shí)施濺射,可以獲得高硬度低摩擦系數(shù)表面膜,特別適合各種刀具、模具和其它易損件的表面涂層,因此在機(jī)械加工行業(yè)具有較好的應(yīng)用前景。

鈦鋁合金靶材的制備較困難。根據(jù)鈦鋁合金相圖,鈦和鋁之間可以形成多種金屬間化合物[3],導(dǎo)致鈦鋁合金存在加工脆性,特別是當(dāng)合金中鋁含量超過50%(原子比)時(shí),合金的抗氧化性驟然降低,氧化嚴(yán)重。同時(shí),合金化過程中的放熱膨脹,極易產(chǎn)生氣泡、縮孔和縮松,導(dǎo)致合金的孔隙率高,無法滿足靶材致密度的要求。

1 濺射鍍膜工藝

1.1 濺射靶材

濺射靶材是指通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜設(shè)備在適當(dāng)工藝條件下濺射沉積在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。濺射靶材廣泛應(yīng)用于裝飾、工模具、玻璃、電子器件、半導(dǎo)體、磁記錄、平面顯示、太陽能電池等眾多領(lǐng)域,不同領(lǐng)域需要的靶材各不相同。按照生產(chǎn)方法濺射靶材可分為粉末靶、熔煉靶和噴涂靶;按照形狀可分為平面靶材和管狀靶材,平面靶材又可分為矩形靶和圓弧靶;根據(jù)成分可分為純金屬靶材、合金靶材、氧化物靶材、硅化物靶材等多個(gè)品種。

1.2 濺射鍍膜原理

用加速的離子轟擊固體表面,離子和固體表面原子交換動(dòng)量,使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面,該過程即為濺射鍍膜。圖1為濺射鍍膜過程示意圖[4]。用靶材濺射沉積的薄膜致密度高,與基體之間附著性好。因此,濺射沉積已成為一種廣泛應(yīng)用的薄膜制備技術(shù)。

圖1 濺射鍍膜示意圖

2 鈦鋁合金濺射靶制備技術(shù)

濺射合金靶材需要滿足純度、致密度、晶粒度、表面光潔度等要求[5]。其中純度、致密度及晶粒度與靶材制備工藝直接相關(guān)。

金屬合金制備通常采用的普通熔煉法。但鈦鋁合金的制備不適于采用該方法,主要原因如下:(1)鈦鋁合金熔煉過程易形成多種金屬間化合物,如Ti3Al、TiAl、TiAl2、TiAl3等,這些金屬間化合物的存在導(dǎo)致鈦鋁合金的加工脆性,特別是當(dāng)合金中鋁含量超過50%(原子比),該問題尤為明顯;(2)熔煉工藝制備鈦鋁合金靶材,澆注過程中易產(chǎn)生氣泡、疏松和偏析,造成合金中成分與組織不均勻,導(dǎo)致靶材品質(zhì)不穩(wěn)定[6]。

根據(jù)國內(nèi)外有關(guān)鈦鋁合金靶材的生產(chǎn)工藝研究報(bào)道,目前鈦鋁合金濺射靶材的主要制備技術(shù)有:強(qiáng)電流加熱法、熱等靜壓燒結(jié)法、熱壓燒結(jié)法。

2.1 強(qiáng)電流加熱法

學(xué)者余鵬發(fā)明了一種通過大強(qiáng)度電流生產(chǎn)鈦鋁合金靶材的方法。該法采用可獲得大電流的裝置,利用大電流使鈦粉和鋁粉發(fā)熱,施以壓力,使鋁和鈦?zhàn)陨矸磻?yīng)形成鈦鋁合金靶材[7]。

該法制備得到的鈦鋁合金靶材產(chǎn)品的致密度＞99%,晶粒尺寸≤100μm,純度＞99%。鈦鋁合金靶材成分范圍為:鈦含量5%～75%(原子比),其余為鋁含量。該法成本低、產(chǎn)品致密度高,完全能滿足大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的要求。

該制備法中需要有可獲得大電流的裝置,裝置中的正負(fù)電極需要有導(dǎo)電、傳壓功效,應(yīng)具備良好的導(dǎo)電性、強(qiáng)韌性及抗高溫軟化性等。因此,能否具備符合工藝要求、性能穩(wěn)定的大電流裝置是該制備方法的關(guān)鍵。

2.2 熱等靜壓燒結(jié)法

學(xué)者張鳳戈等發(fā)明了一種鈦鋁合金靶材的粉末冶金制備方法。該法將鈦粉和鋁粉進(jìn)行混料,然后經(jīng)過裝粉和冷等靜壓預(yù)壓制、脫氣工藝后再進(jìn)行熱等靜壓壓制成型,最后進(jìn)行燒結(jié)和加工得到鈦鋁合金靶材[8]。

該法制備的鈦鋁合金靶材具有致密度高、無氣孔、無疏松和偏析、成分均勻、晶粒細(xì)小等特點(diǎn)。制備得到的鈦鋁合金靶材產(chǎn)品的致密度≥99%,純度＞99%,晶粒尺寸≤100μm,最大規(guī)格尺寸可到1 000 mm。鈦鋁合金靶材成分范圍為:鈦含量20%～80%(原子比),其余為鋁含量。

熱等靜壓制備法是目前制備鍍膜產(chǎn)業(yè)所需鈦鋁合金濺射靶材的主要方法。該法制備的靶材產(chǎn)品致密度高、尺寸規(guī)格范圍廣。但該法需要用到關(guān)鍵的壓制燒結(jié)設(shè)備——熱等靜壓燒結(jié)爐,該設(shè)備價(jià)格昂貴,導(dǎo)致制備得到的靶材產(chǎn)品,成本較高,難以進(jìn)行工業(yè)化推廣。

2.3 熱壓燒結(jié)法

學(xué)者余琨等發(fā)明了一種鈦鋁合金靶材快速熱壓燒結(jié)成型工藝。該工藝使鈦鋁粉體在熱和力的共同作用下燒結(jié)成型,利用Ti-Al混合物中鋁的熔點(diǎn)低,將鈦粉粘結(jié)在一起,形成合金濺射靶材[9]。熱壓燒結(jié)示意圖如圖2所示。

圖2 熱壓燒結(jié)示意圖

該法制備得到的合金靶材致密度高(≥95%),晶粒尺寸細(xì)小(≤100μm),成分均勻。用該工藝可制備出不同成分的鈦鋁合金靶材。鈦鋁合金靶材成分范圍為:鈦含量25%～75%(原子比),其余為鋁含量。該工藝流程短、成本低、鍍膜效果好,能滿足大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化要求。

該工藝的特點(diǎn)是在真空或保護(hù)氣氛中通過剛性模具來傳遞壓力,使材料在熱和力的共同作用下燒結(jié)成型,將冷壓成型+燒結(jié)兩步合并為一個(gè)步驟,可大大提高工藝效率。

該工藝對設(shè)備的要求較高,關(guān)鍵設(shè)備是熱壓燒結(jié)爐。制備的靶材以圓形合金靶材為主,直徑≤100 mm。此外,該工藝在制備鋁含量高的鈦鋁合金靶材時(shí),存在脫模困難,模具使用壽命低的問題。每塊靶材制備過程都要消耗一套模具,使靶材生產(chǎn)成本增加。因而需選擇合適的脫模劑,來提高成品率及模具的利用率。

目前,熱壓燒結(jié)是鈦鋁合金濺射靶材最有潛力的制備技術(shù)。該技術(shù)工藝效率高,適合產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。然而用熱壓燒結(jié)方式制備鈦鋁合金濺射靶材,存在脫模困難,模具使用壽命低的問題。每塊靶材制備過程都要消耗一套模具,使靶材生產(chǎn)成本增加。鈦鋁合金燒結(jié)過程中,鈦屬于高熔點(diǎn)的硬質(zhì)相,鋁屬于粘接相。高鋁型鈦鋁合金粉末燒結(jié)過程中低熔點(diǎn)的鋁逐步熔化,能將鈦原子粘接在一起,最后形成合金靶材。然而鋁液與石墨模具的潤濕角是鈍角,鋁含量越多的鈦鋁合金,熱壓燒結(jié)冷卻后脫模越困難。因此,高鋁型鈦鋁合金靶材的熱壓燒結(jié)制備工藝中需要選擇合適的脫模劑,來提高成品率及模具的利用率。

此外,熱壓燒結(jié)過程中的燒結(jié)溫度、升溫速率、熱壓壓力對產(chǎn)品最終的組織和性能都有很大的影響[10]。其中燒結(jié)溫度太高,將導(dǎo)致固相燒結(jié)到液相燒結(jié)的過渡,使得高熔點(diǎn)硬質(zhì)相骨架坍塌,同時(shí)浪費(fèi)動(dòng)力能源,不利于降低成本;另外燒結(jié)溫度過高,會(huì)導(dǎo)致晶粒長大及第二相的增多及長大,都將降低靶材的濺射鍍膜性能。如果靶材晶粒過大,則在濺射時(shí)消耗濺射表面,出現(xiàn)在濺射靶材上的侵蝕部表面上的凹凸增大,導(dǎo)致形成的合金膜的膜厚均勻性的下降、投入大電力時(shí)成為微小電弧異常放電的頻率增加、及隨之發(fā)生飛濺等問題。同時(shí),第二相與基體相比,由于濺射效率差,容易以突起殘留,也會(huì)影響濺射成膜的均勻性。燒結(jié)溫度太低,會(huì)導(dǎo)致燒結(jié)不完全,靶材產(chǎn)品致密度低。熱壓過程中如升溫速率快,可提高工作效率,但由于部分區(qū)域先燒結(jié),導(dǎo)致粘接相流動(dòng),造成靶材最終組織成分不均勻的問題。壓力較大也可提高效率,但同時(shí)使模具損耗嚴(yán)重,降低模具使用壽命[11]。

3 結(jié) 語

綜上所述,熱壓燒結(jié)是鈦鋁合金濺射靶材最有潛力的制備技術(shù)。該技術(shù)工藝效率高,適合產(chǎn)業(yè)化

生產(chǎn)。而用該技術(shù)制備鈦鋁合金靶材需反復(fù)試驗(yàn),選擇合適的脫模劑,提高成品率及模具的利用率,同時(shí),需優(yōu)化燒結(jié)熱壓工藝條件(燒結(jié)溫度、升溫速率、熱壓壓力),提高生產(chǎn)效率,從而降低成本。隨著濺射鍍膜的快速增長,及在國內(nèi)逐步普及的趨勢,每年濺射鍍膜用靶材的市場需求量也在迅速增大。因此,對鈦鋁合金靶材制備技術(shù)的研究,具有現(xiàn)實(shí)意義和極大的應(yīng)用前景。

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Abstract:The preparation methods and existed problemsof the titanium-aluminum alloy sputtering target were reviewed.The hot isostati pressing method can not be applied widely in the industry for the high cost.The hotpress sintering approach can prepare alloy target with high density effectively,which can be extensively used in the commercial process.

Key words:titanium-aluminum alloy;sputtering target;preparation method

Development of Research on Titanium-Aluminum Alloy Sputtering Coating Target

CHEN Xi,HUANG Rong,WU Ye

(Hunan Rare Earth Metal&Material Research Institute,Changsha410126,China)

TG146.23

A

1003-5540(2012)01-0051-03

2012-01-08

陳希(1984-),女,工程師,主要從事輕合金材料研究。