關(guān)鍵詞： 復(fù)合水凝膠；丙烯酰胺；殼聚糖；二硫化鉬；濕度傳感；石英晶體微天平

中圖分類號： O63 文獻(xiàn)標(biāo)志碼： A

水凝膠是三維交聯(lián)網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的高分子聚合物，具有一定的親水性。傳統(tǒng)方法制備的水凝膠由于缺乏有效的能量消耗機(jī)制，導(dǎo)致其力學(xué)性能較差、應(yīng)用范圍受限。通過簡單的制備方法將納米顆粒等作為增強(qiáng)材料，與水凝膠聚合物基體合成納米復(fù)合材料，有利于提高力學(xué)性能，并賦予聚合物一些新的性能如激光響應(yīng)[1]、環(huán)境響應(yīng)[2] 性等。

濕度檢測與控制在醫(yī)療診斷、呼吸監(jiān)測、氣象、半導(dǎo)體工業(yè)和食品儲藏等方面發(fā)揮著越來越重要的作用[3-5]。目前已研發(fā)出多種具有不同傳感方式的濕度傳感器（如電阻式、壓電式、電容式等）和傳感材料（如半導(dǎo)體、陶瓷、有機(jī)聚合物等）[6，7]。濕度傳感器包括叉指電極（IDE）、夾層電容、聲表面波諧振器（SAW）、薄膜體聲諧振器（FBAR）、電容式微機(jī)械超聲換能器（CMUT）和石英晶體微天平（QCM），其中QCM 以低成本、高穩(wěn)定性和納克級的質(zhì)量傳感能力等優(yōu)點，被認(rèn)為是開發(fā)高性能濕度傳感器的極佳候選儀器[8]。QCM 是一種對于界面變化極其敏感且具有高精準(zhǔn)度的檢測儀器，具有結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、價格低廉、分辨率極高、敏感程度極高、可以實現(xiàn)實時檢測等眾多優(yōu)點，被廣泛應(yīng)用于化學(xué)、物理、生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境科學(xué)等領(lǐng)域[9-11]。

濕敏材料的親水性、比表面積等是影響QCM 濕敏元件靈敏度和穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。近年來，科研人員開發(fā)了諸多類型的濕敏材料，包括陶瓷[12]、金屬氧化物[13]、碳材料[14]、有機(jī)復(fù)合材料[15] 等。聚合物的結(jié)構(gòu)及功能具有多樣性和靈活性的特點，其化學(xué)與物理性能可以通過共聚、接枝和表面改性等方法進(jìn)行調(diào)節(jié)，經(jīng)過功能調(diào)節(jié)的聚合物薄膜具有更高的選擇性和靈敏性，因此聚合物薄膜的選擇性檢測涂層已被廣泛應(yīng)用于各種氣體傳感器、濕度傳感器、離子傳感器以及生物傳感器中。Das 等[16] 通過在QCM 電極表面聚合亞麻籽油作為敏感涂層，該傳感器用于檢測對甲苯酚時具有較高的靈敏度，其檢測下限達(dá)到了5×10^?6（體積分?jǐn)?shù)）；同時，通入氮氣后，傳感器的工作頻率能回到基值，這說明聚合物敏感層具有理想的可重復(fù)性；然而，該傳感器對多種揮發(fā)性有機(jī)氣體均具有相似的吸附響應(yīng)曲線。Fan 等[17] 將聚（ 2-羥乙基丙烯酸甲酯-co-丙烯酸甲酯）（P（HEMA-co-MA））作為吸附材料旋涂在石英晶體電極處，發(fā)現(xiàn)其對于乙酸乙酯和正丁醇均有較明顯的吸附靈敏度，同時，該傳感器在真空環(huán)境下24 h 可以完成脫附，證明了其可重復(fù)性。此外，F(xiàn)an 等[18] 還研究了對氯甲基苯乙烯（VBC）和甲基丙烯酸甲酯（MMA）為共聚物P（VBC-co-MMA）吸附對二甲苯的效果，P（VBC-co-MMA）和PVBC 均能有效吸附對二甲苯和甲苯，且靈敏度較高，P（VBC-co-MMA）比PVBC 對于對二甲苯的靈敏度更高。Liu 等[5] 通過簡單的物理改性方法制備了基于殼聚糖/聚吡咯（CS/PPy）復(fù)合薄膜的QCM 濕度傳感器，由于其親水性結(jié)構(gòu)和不完整涂覆結(jié)構(gòu)，該傳感器能在相對濕度0～97% 范圍內(nèi)有效進(jìn)行濕度傳感并應(yīng)用于呼吸頻率檢測?；诰酆衔锉∧さ拿舾型繉恿W(xué)性能較差，對測量結(jié)果造成較大影響[19]，這是由于濕敏材料在吸濕之后黏彈性能變化所引起的。通過向聚合物中引入無機(jī)材料制備無機(jī)/聚合物復(fù)合材料，可以提高聚合物的交聯(lián)度或增強(qiáng)剛性。Yuan 等[20] 在QCM 晶片上沉積氧化石墨烯/聚乙烯亞胺（GO/PEI）層狀膜，其具備較好的濕敏特性。Zheng 等[21] 制備了基于聚乙烯醇/納米二氧化硅（PVA/SiO2）的QCM 高線性度濕度傳感器，該傳感器在濕度傳感過程中具有快速響應(yīng)和高線性度的特點。Wu 等[22] 制備了基于氧化石墨烯（GO）摻雜的復(fù)合水凝膠QCM 濕度傳感器，該傳感器在不同濕度環(huán)境下均有不同反應(yīng)，可應(yīng)用于濕度傳感領(lǐng)域。

本文利用天然聚合物殼聚糖（CS）在水凝膠中充當(dāng)線性組分，丙烯酰胺（AM）在引發(fā)劑和交聯(lián)劑的作用下引發(fā)交聯(lián)，形成水凝膠交聯(lián)網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)。CS 分子鏈穿插在PAM 交聯(lián)網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)中，形成半互穿網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，并引入無機(jī)成分二硫化鉬（MoS₂）顆粒。無機(jī)材料在復(fù)合水凝膠體系中起到了交聯(lián)點的作用，增加了復(fù)合水凝膠的交聯(lián)度，減小了內(nèi)部交聯(lián)網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)孔洞的孔徑，增大了復(fù)合水凝膠的比表面積； MoS₂ 的層狀結(jié)構(gòu)和大的比表面積使其有利于水分子的吸附，并增加對水分子的吸附位點；引入MoS₂ 無機(jī)顆粒，增強(qiáng)了復(fù)合水凝膠的壓縮強(qiáng)度，改善了其親水性能。本文引入QCM 技術(shù)，探究了PAM/CS/MoS₂ 復(fù)合水凝膠在濕度傳感領(lǐng)域的應(yīng)用?；赑AM/CS/MoS2 復(fù)合水凝膠的QCM 濕度傳感器在不同的相對濕度環(huán)境下具有梯度性變化，且具有較短的響應(yīng)-恢復(fù)時間和較高的靈敏度，在濕度傳感領(lǐng)域具有較大的應(yīng)用潛力。

1 實驗部分

1.1 原料和試劑

AM（純度≥99%）、CS（脫乙酰度≥95%）：上海阿拉丁生化科技股份有限公司；N，N’-亞甲基雙丙烯酰胺（MBA，純度≥98%）、過硫酸鉀（KPS，純度≥99%）：北京百靈威科技有限公司；二硫化鉬（MoS₂）分散液：質(zhì)量濃度1 mg/mL，江蘇先豐納米材料科技有限公司；氨水（NH₃·H₂O）、過氧化氫（H₂O₂）、乙酸（CH₃COOH）、氯化鋰（LiCl）、氯化鎂（MgCl₂）、硝酸鎂（Mg（NO₃）₂）、氯化鈉（NaCl）、氯化鉀（KCl）、硝酸鉀（KNO₃）均為分析純，國藥集團(tuán)試劑有限公司。

1.2 測試與表征

傅里葉變換紅外光譜（FT-IR）儀：美國熱電尼高力儀器公司Nicolet Avatar370 型，將水凝膠冷凍干燥處理后磨成粉末，將其與溴化鉀以質(zhì)量比1∶100 共混壓片，掃描范圍400～4 000 cm^?1。

激光顯微拉曼光譜儀：美國賽默飛世爾科技公司DXR 型，將少量冷凍干燥后的 水凝膠粉末樣品放在載玻片上進(jìn)行測試，激光波長為532 nm，激光強(qiáng)度為7.0 mW，曝光時間為3 s，曝光次數(shù)為20 次。

掃描電子顯微鏡（SEM）：日本電子株式會社JSM-IT 100 型，加速電壓為10 kV，對冷凍干燥后脆斷的水凝膠樣品的表面形貌進(jìn)行觀察。

透射電子顯微鏡（TEM）：日本電子株式會社JEM-2100 型，將MoS2 分散液滴在銅網(wǎng)上，用透射電子顯微鏡對微凝膠的表面形貌進(jìn)行表征。

Zeta 電位儀：英國馬爾文儀器有限公司Nano-ZS 型，將MoS2 分散液稀釋后置于比色皿中，在室溫下進(jìn)行測試。

萬能材料試驗機(jī)：深圳凱強(qiáng)利機(jī)械有限公司W(wǎng)DT-30 型，將圓柱狀復(fù)合水凝膠樣品以2 mm/min 的加載速率進(jìn)行壓縮。

接觸角測量儀（CA）：上海中晨數(shù)字技術(shù)設(shè)備有限公司JC2900 D1 型，將5 μL 去離子水緩慢而穩(wěn)步滴在旋涂制備復(fù)合水凝膠薄膜的玻璃片表面，測量水接觸角。

石英晶體微天平：杭州龍勤新材料科技有限公司QCM-A DBY-17 型，將水凝膠薄膜修飾的QCM 傳感器置于相對濕度為11% 的環(huán)境下，待共振頻率穩(wěn)定后以此為基準(zhǔn)，然后將傳感器置于不同濕度環(huán)境中，實時監(jiān)測記錄石英晶片共振頻率以及半峰寬隨時間變化的曲線。

1.3 實驗步驟

1.3.1 PAM/CS/MoS₂ 復(fù)合水凝膠的合成 稱取2 g CS 溶于100 mL 體積分?jǐn)?shù)為2.5% 的乙酸溶液中，攪拌6 h使其完全溶解，形成淡黃色黏稠溶液（其中CS 的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為2%）；取5 mL、1 mg/mL 的MoS₂ 分散液，加入去離子水，使其質(zhì)量濃度為0.5 mg/mL，超聲處理30 min 后形成穩(wěn)定的懸浮液，用移液槍分別吸取0，0.4，0.8，1.2，1.6，2.0 mL 于20 mL 玻璃瓶中，再分別加入適量去離子水（5.0，4.4，4.2，3.8，3.6，3.0 mL），最后再加入5 mL 此前所制備的質(zhì)量分?jǐn)?shù)2% 的CS 溶液，超聲處理30 min，制得CS/MoS₂ 分散液。超聲結(jié)束后，在樣品中加入0.02 mol AM，0.015 g 交聯(lián)劑MBA，0.015 g 引發(fā)劑KPS，震蕩均勻，待完全溶解后即得復(fù)合水凝膠前驅(qū)液，將其置于70 oC 烘箱中， 反應(yīng)2 h， 制得不同MoS₂ 含量的PAM/CS/MoS₂ 復(fù)合水凝膠， 分別標(biāo)記為PAM/CS、PAM/CS/MoS2-0.2、PAM/CS/MoS₂-0.4、PAM/CS/MoS2-0.6、PAM/CS/MoS₂-0.8、PAM/CS/MoS2-1.0（ 0.2， 0.4， 0.6，0.8，1.0 分別表示MoS₂ 在體系中的質(zhì)量，單位為mg）。

1.3.2 基于PAM/CS/MoS₂ 復(fù)合水凝膠的QCM 濕度傳感器的制備及濕度傳感測試 將帶有金電極的石英晶片置于去離子水-氨水-雙氧水（體積比為5∶1∶1）的混合溶液中，浸泡30 min 后，用大量去離子水沖洗石英晶片，氮氣吹干備用；接著移取50 μL 復(fù)合水凝膠前驅(qū)液滴在清洗干凈的金電極表面，通過勻膠機(jī)，在低轉(zhuǎn)速100 r/min 轉(zhuǎn)10 s 與高轉(zhuǎn)速1 000 r/min 轉(zhuǎn)30 s 的條件下，在晶片表面旋涂成膜；隨后將表面含有復(fù)合水凝膠前驅(qū)液的石英晶片在70 ℃ 下反應(yīng)2 h，使其在石英晶片表面形成濕敏材料水凝膠薄膜；然后將復(fù)合水凝膠薄膜修飾的石英晶片與QCM 傳感器連接，即得基于PAM/CS/MoS₂ 復(fù)合水凝膠的QCM 濕度傳感器。將QCM 濕度傳感器置于不同的相對濕度環(huán)境中（通過制備LiCl、MgCl₂、Mg（NO₃）₂、NaCl、KCl、KNO₃ 的過飽和鹽溶液，模擬實驗過程中相對濕度為11% 、33% 、55% 、75% 、86% 、95% 的環(huán)境），以相對濕度11% 的環(huán)境為基準(zhǔn)，待QCM 傳感器的共振頻率穩(wěn)定后，快速轉(zhuǎn)換到下一個相對濕度環(huán)境中（間隔時間小于3 s）。直到QCM 傳感器的共振頻率穩(wěn)定后，將QCM 傳感器切換回相對濕度11% 的環(huán)境中，水凝膠濕敏薄膜在低相對濕度下，吸附的水分子逐漸脫附，直到回到初始狀態(tài)，即完成一個完整的吸附-脫附周期。重復(fù)以上步驟，測試不同環(huán)境下QCM 傳感器工作頻率的變化。

2 結(jié)果與討論

2.1 結(jié)構(gòu)與組成

樣品的紅外光譜如圖1（a）所示，在CS 的紅外光譜中，3 429 cm^?1 處有一個寬而強(qiáng)的譜帶，這是由N_―H鍵和O―H 鍵引起的。2 927 cm^?1 和2 880 cm^?1 處的峰是由C_―H 基團(tuán)引起的。在AM 的紅外光譜中，3 200 cm^?1處為締合―NH2 的特征吸收峰，1 674 cm^?1 處為羰基的特征吸收峰，歸因于酰胺Ⅰ帶，1 614 cm^?1 處為N―H 的彎曲振動的特征吸收峰，歸因于酰胺Ⅱ帶。PAM/CS 的紅外光譜幾乎包含了純CS 和AM 的所有特征峰，說明該復(fù)合水凝膠材料已制備成功。PAM/CS/MoS₂ 復(fù)合水凝膠的紅外譜圖與PAM/CS 水凝膠的譜圖大致相似，但峰強(qiáng)不同。

2.2形貌分析

圖2 示出了MoS₂ 的TEM 圖與Zeta 電位圖。由圖2（a）可以看出，MoS₂ 具有褶皺的表面，為二維層狀結(jié)構(gòu)，片徑約2.5 μm，褶皺交疊形成了一種少層結(jié)構(gòu)。圖2（b）為MoS₂ 分散液的Zeta 電位圖，Zeta 電位代表MoS₂ 表面電荷的密集程度，與MoS₂ 微粒的體系穩(wěn)定性有關(guān)，一般電位的絕對值越大，微粒間的靜電斥力也就越大，代表微粒體系電位越穩(wěn)定。MoS₂ 分散液的Zeta 電位約為?27.5 mV，體系較為穩(wěn)定且靜電力較大。

由圖3（a）可以看出，PAM/CS 復(fù)合水凝膠的均方根粗糙度（S_q） 最高（9.31 μm）；PAM/CS/MoS₂ 復(fù)合水凝膠的均方根粗糙度有明顯下降，且隨MoS₂ 含量變化而變化不大。這可能是由于具有二維層狀結(jié)構(gòu)的MoS₂ 在水凝膠的內(nèi)部和表面均勻分布，使其粗糙度有所下降。從圖3（b、c）中復(fù)合水凝膠的激光共聚焦顯微鏡圖對比可見，在PAM/CS/ MoS₂ 復(fù)合水凝膠表面，能清晰看到層狀的MoS₂ 分布在復(fù)合水凝膠表面。

復(fù)合水凝膠經(jīng)過冷凍干燥后，用液氮脆斷，利用掃描電鏡可以觀察到其斷面的孔洞結(jié)構(gòu)。由圖4 可以看到，PAM/CS 水凝膠的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)的孔洞相對較大且比較疏松，孔壁較薄，表面存在CS 的纖維結(jié)構(gòu)。PAM/CS/MoS₂ 復(fù)合水凝膠的孔狀結(jié)構(gòu)仍然存在，但孔徑明顯減小，孔洞數(shù)量增加，這可能是MoS₂ 作為無機(jī)添加劑在復(fù)合水凝膠體系中充當(dāng)了物理交聯(lián)點的作用，使復(fù)合水凝膠的交聯(lián)度增大?？锥吹脑黾痈欣谖剿肿?，該復(fù)合水凝膠在結(jié)構(gòu)上具有用于濕度傳感領(lǐng)域的潛質(zhì)。

2.3 水接觸角分析

將5 μL 去離子水置于空白玻璃片和負(fù)載不同復(fù)合水凝膠的玻璃片表面，測量水接觸角，結(jié)果如圖5 示?？瞻撞Ａ乃佑|角為52.91°，PAM/CS 水凝膠的水接觸角為46.70°，表明PAM/CS 水凝膠具有較好的親水性，這是由于PAM 體系中含有酰胺基團(tuán)，CS 中含有大量氨基和羥基等親水性基團(tuán)。加入不同含量的MoS₂后，復(fù)合水凝膠的水接觸角進(jìn)一步減小，因為層狀MoS₂ 作為一種二維材料，擁有較大的比較面積，具有較好的吸附性。水接觸角分析結(jié)果表明PAM/CS/ MoS₂ 復(fù)合水凝膠更加親水，更加適合濕度檢測。

2.4 力學(xué)性能分析

圖6（a）顯示了不同MoS₂ 含量的復(fù)合水凝膠的壓縮應(yīng)力-應(yīng)變曲線，證明了PAM/CS/ MoS₂ 復(fù)合水凝膠具有優(yōu)異的壓縮韌性。由于水凝膠的含水量（即水的質(zhì)量分?jǐn)?shù)）與其力學(xué)性能有密切關(guān)系，本文所制備的水凝膠含水量均在86.3% 左右，具有可比性。在壓縮實驗中，不含MoS₂ 的PAM/CS 水凝膠抗壓縮能力較差，在不到70%的應(yīng)變下就發(fā)生破裂，其最大壓縮應(yīng)力為139.6 kPa。圖6（b）顯示，隨著復(fù)合水凝膠網(wǎng)絡(luò)中MoS₂ 含量的增加， 復(fù)合水凝膠的壓縮應(yīng)力與應(yīng)變均有所上升， PAM/CS/ MoS₂-0.4 復(fù)合水凝膠具有最大壓縮應(yīng)力（584.6 kPa）與最大壓縮應(yīng)變（83.8%）。這可能是因為層狀MoS₂ 納米片在復(fù)合水凝膠的形成過程中，起到了交聯(lián)點的作用，使水凝膠的交聯(lián)度進(jìn)一步提高，這與SEM 圖的結(jié)果對應(yīng)；當(dāng)MoS₂ 含量進(jìn)一步提高時，復(fù)合水凝膠的壓縮應(yīng)力和應(yīng)變反而下降，其原因可能在于MoS₂ 含量過多，發(fā)生了聚集，其與水凝膠之間的界面結(jié)合能力下降，破壞了復(fù)合水凝膠的自身結(jié)構(gòu)?？紤]到作為濕度傳感材料需要較好的力學(xué)性能，下文將采用PAM/CS/ MoS₂-0.4 復(fù)合水凝膠來研究其在濕度傳感的應(yīng)用。

2.5 濕度傳感

基于PAM/CS/MoS₂-0.4 復(fù)合水凝膠的QCM 濕度傳感器在不同濕度環(huán)境下的動態(tài)響應(yīng)曲線如圖7（a） 所示。QCM 濕度傳感器表面的復(fù)合水凝膠傳感層由于具有豐富的氨基、羥基等親水官能團(tuán)，可以吸附空氣中的水分子。隨著測試環(huán)境相對濕度的增加，吸附的水分子越多，石英晶片表面負(fù)載的質(zhì)量增加，導(dǎo)致QCM 濕度傳感器的共振頻率逐步下降，最后趨于飽和。當(dāng)傳感器處于相對濕度為95% 的環(huán)境時，QCM 濕度傳感器頻率偏移達(dá)到?2642 Hz，相對濕度變化1% 的靈敏度達(dá)到31.45 Hz，吸濕效果顯著。圖7（b）顯示了QCM 濕度傳感器在不同相對濕度環(huán)境下的頻率偏移和吸附量變化。濕敏水凝膠薄膜對水分子的吸附質(zhì)量可以通過Sauerbrey 方程[23] 來計算：

其中Δm為吸附的面積質(zhì)量密度（ng/cm²）；C 為常數(shù)，17.7 ng/（cm²·Hz）；n 為諧波數(shù)，Δf_n為第n 階段諧波數(shù)（本文n=3） 的頻率變化，石英晶片有效面積為1.54 cm²。從圖7（b）可以看出，隨著相對濕度變大，QCM 濕度傳感器所吸附的水分子質(zhì)量也同步增加，最大達(dá)到24 003.58 ng。濕度傳感器的響應(yīng)-恢復(fù)時間是體現(xiàn)傳感器傳感效果的重要指標(biāo)，本文將達(dá)到最大共振頻率的90% 所需時間定義為響應(yīng)-恢復(fù)時間。由圖7（c）可見，該QCM濕度傳感器在相對濕度11%～86% 環(huán)境的響應(yīng)時間為165.64 s，恢復(fù)時間為248.56 s。圖7（d）為QCM 濕度傳感器在濕度傳感過程中，導(dǎo)納譜圖的半峰寬信號（HBHW Shift，ΔΓ）的變化曲線。半峰寬變化可以表征QCM濕度傳感器在工作期間所產(chǎn)生的能量損耗，用來衡量薄膜的黏彈性能。當(dāng)晶片表面負(fù)載敏感層后，由于質(zhì)量增加導(dǎo)致其共振頻率下降，由于敏感層為濕態(tài)、柔軟薄膜，ΔΓ 隨之變寬。QCM 濕度傳感器在濕度傳感過程中，當(dāng)相對濕度為11% 時，ΔΓ 為15 Hz；隨著相對濕度的增加，ΔΓ 變寬。這說明QCM 濕度傳感器的能量損耗會因PAM/CS/MoS₂-0.4 復(fù)合水凝膠敏感層吸附量的增多而變大，即石英晶片表面的負(fù)載量越大，其在工作模式中振動所克服的阻力就越大。也證明了水凝膠薄膜敏感層在吸附水分子后，結(jié)構(gòu)更加柔軟與松散，黏彈性能增大。隨著相對濕度的降低，ΔΓ 也會在水分子脫附過程中降低。文獻(xiàn)[22] 報道以氧化石墨烯為無機(jī)填料的復(fù)合水凝膠基濕度傳感器，其響應(yīng)時間為1988 s，且在相對濕度為85% 的環(huán)境下最大頻率變化為22.3 Hz。

相比之下，PAM/CS/MoS2 復(fù)合水凝膠修飾的QCM 濕度傳感器在響應(yīng)-恢復(fù)時間和響應(yīng)頻率變化上均有顯著的提升效果。

3 結(jié)論

（1）通過熱引發(fā)自由基聚合制備了一系列不同MoS₂ 含量的PAM/CS/MoS₂ 復(fù)合水凝膠，并通過旋涂法制備了基于PAM/CS/MoS₂ 復(fù)合水凝膠的QCM 濕度傳感器。

（2）將MoS₂ 引入復(fù)合水凝膠網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)體系，水凝膠交聯(lián)度增加，力學(xué)性能有所增加。PAM/CS/ MoS₂-0.4復(fù)合水凝膠具有最大的壓縮應(yīng)力和應(yīng)變，分別為584.6 kPa 和83.8%。同時MoS2 的引入也提高了復(fù)合水凝膠的親水性，降低了其表面粗糙度。

（3）基于PAM/CS/ MoS₂-0.4 復(fù)合水凝膠的QCM 濕度傳感器在不同相對濕度環(huán)境下有較高的階梯性響應(yīng)，在相對濕度為11%～95% 的環(huán)境下，最大響應(yīng)頻率變化2 642 Hz，相對濕度變化1% 的靈敏度為31.45 Hz，并具有較短的響應(yīng)-恢復(fù)時間，為開發(fā)此類濕度傳感器提供了可行性。