孟濤，鄭剛

（海軍裝備部）

0 引言

化學(xué)銑切簡稱化銑[1]，廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代航空航天制造業(yè)中，是鋁合金、鈦合金等零部件減薄、減重的重要加工技術(shù)?；姳Ｗo(hù)膠刻型作為鋁合金零部件化銑工藝流程中的一個(gè)重要環(huán)節(jié)，其加工精度將直接影響到最終產(chǎn)品的質(zhì)量。在航空航天制造企業(yè)中，傳統(tǒng)的刻型工藝通過操作人員持手術(shù)刀借助化銑樣板、定位銷等工裝夾具手工完成[2]，需要經(jīng)過膜胎成型、畫線及手工開口等流程，工序復(fù)雜且加工周期較長。此外，人工刻型不但對(duì)操作人員的技術(shù)水平要求較高，同時(shí)人為的加工誤差極易在鋁合金基體表面留下切削痕跡，此類切削痕跡經(jīng)化學(xué)腐蝕后就會(huì)在零件表面產(chǎn)生缺陷。

近年來，脈沖激光精密加工技術(shù)[3-5]的高速發(fā)展為提高鋁合金化銑保護(hù)膠刻型質(zhì)量打開了新的方向。相對(duì)于傳統(tǒng)人工刻型，激光刻型采用非接觸的加工形式[6-8]，在于數(shù)控自動(dòng)化技術(shù)結(jié)合的基礎(chǔ)上，可以獲得鋁合金化銑保護(hù)膠的優(yōu)質(zhì)高效刻型。從航空航天制造技術(shù)的發(fā)展角度來看，激光精密加工無疑是鋁合金零部件表面刻型的主流技術(shù)。目前國際上的主流航空制造企業(yè)，例如波音、空客和達(dá)索等都已經(jīng)將激光刻型成功應(yīng)用于鋁合金零部件化銑工藝流程中。國內(nèi)航空制造企業(yè)也開始從國外引進(jìn)或依托高校、研究所等科研機(jī)構(gòu)自主研發(fā)激光刻型設(shè)備，逐漸擺脫人工刻型的束縛，實(shí)現(xiàn)鋁合金化銑保護(hù)膠刻型的自動(dòng)化。

鋁合金化銑保護(hù)膠脈沖激光刻型工藝中包含種眾多的加工參數(shù)[9,10]，大類可分為三種，分別是激光束參數(shù)、掃描參數(shù)以及材料參數(shù)。激光束參數(shù)具體包括：平均功率、脈沖寬度、重復(fù)頻率、波長和光束束腰直徑等；掃描參數(shù)具體包括：激光束掃描速度、聚焦距離、入射角度、光斑重疊率和掃描次數(shù)等；材料參數(shù)具體包括：鋁合金化銑保護(hù)膠材質(zhì)、厚度及表面粗糙度等。種類繁多的激光加工參數(shù)在鋁合金化銑保護(hù)膠刻型工藝中共同決定著加工形貌、尺寸和分布。因此，需要針對(duì)鋁合金化銑保護(hù)膠脈沖激光刻型工藝展開計(jì)算仿真研究[11-14]，研究和完善多層材料表面脈沖激光刻蝕機(jī)理[15-17]，準(zhǔn)確地掌握表面刻型形貌的生成條件和演變規(guī)律[18-20]。

在鋁合金化銑保護(hù)膠脈沖激光刻型工藝的研究中，對(duì)于非透明材質(zhì)的化銑保護(hù)膠在激光刻型過程中的形貌演變規(guī)律分析，如果單獨(dú)借助于實(shí)驗(yàn)手段，通常需要利用高速相機(jī)在線拍攝，或者在加工完成后利用顯微鏡進(jìn)行離線測量。在不破壞加工材料的前提下，這些分析測試方法只能觀測到加工平面邊緣區(qū)域，很難獲得底部及側(cè)壁形貌特征。另外，激光刻型的掃描速度很快，刻型形貌尺度又非常小，利用實(shí)驗(yàn)測試方法無法獲取加工區(qū)域的溫度場分布。因此，本文借助仿真軟件對(duì)鋁合金化銑保護(hù)膠脈沖激光刻型形貌進(jìn)行理論研究，傳熱學(xué)分析可以直觀的展示化銑保護(hù)膠在激光輻照作用下的溫度場分布及變化過程，變形幾何功能的使用可以動(dòng)態(tài)地顯示整個(gè)刻型過程中化銑保護(hù)膠的形貌演變規(guī)律。為實(shí)現(xiàn)鋁合金化銑保護(hù)膠脈沖激光刻型的大面積、高效、精準(zhǔn)加工提供基礎(chǔ)理論支持。

1 激光加工模型建立

1.1 仿真模型材料及參數(shù)

脈沖激光刻型仿真建模中使用到的鋁合金基體材料材質(zhì)為2A12，化銑保護(hù)膠材質(zhì)為AC850，對(duì)應(yīng)厚度如表1 所示。計(jì)算仿真涉及到的參數(shù)較多，例如導(dǎo)熱系數(shù)、熱膨脹系數(shù)、恒壓熱容、楊氏模量、泊松比等。為了提高計(jì)算精度，這些參數(shù)均由Comsol Multiphysics 仿真軟件根據(jù)不同區(qū)間溫度的分段函數(shù)計(jì)算得出?？绦褪褂玫募す馄鳛楸本岽碳す饧夹g(shù)有限公司生產(chǎn)的R40 二氧化碳激光器，輸出波長、脈沖寬度、重復(fù)頻率等激光器參數(shù)如表2 所示。

表1 仿真計(jì)算材料Table 1 Simulation calculation material

表2 脈沖激光器參數(shù)Table 2 Pulse laser parameters

1.2 化銑保護(hù)膠脈沖激光刻型有限元模型

由于使用的二氧化碳激光器輸出的激光屬于長脈沖激光，在長脈沖激光加工過程中，激光脈沖與材料的相互作用時(shí)間相對(duì)較長，材料的去除主要依靠光熱作用引起的熔化與氣化完成。長脈沖激光輻照于鋁合金化銑保護(hù)膠表面，當(dāng)激光功率密度高于材料燒蝕閾值時(shí)，材料在激光的作用下產(chǎn)生等離子體并伴隨溫度的迅速提升。由于化銑保護(hù)膠為彈性體材料，沒有明確的熔點(diǎn)。因此激光輻照區(qū)域溫度的升高會(huì)引起化銑保護(hù)膠發(fā)生裂解的同時(shí)劇烈氣化。隨著連續(xù)多個(gè)脈沖循環(huán)往復(fù)的掃描，輻照區(qū)域刻型寬度和深度逐漸加深，也就實(shí)現(xiàn)了化銑保護(hù)膠的脈沖激光刻型。

由于仿真計(jì)算中溫度場隨時(shí)間和熱物理參數(shù)的改變而變化，鋁合金化銑保護(hù)膠脈沖激光刻型過程仿真可視為非線性瞬態(tài)傳熱過程，熱平衡方程可以表示為：

式中：[C(T)]為比熱矩陣；{ }為溫度對(duì)時(shí)間的導(dǎo)數(shù)；[K(T)]為導(dǎo)熱矩陣，包含導(dǎo)熱系數(shù)、對(duì)流系數(shù)、輻射率以及形狀系數(shù)；{T}為節(jié)點(diǎn)的溫度向量；{Q(T,t)}為節(jié)點(diǎn)的熱流率向量，由溫度T和時(shí)間t的函數(shù)表示。

鋁合金化銑保護(hù)膠脈沖激光刻型過程仿真的初始條件表示為：

式中：T0為初始溫度，等于環(huán)境溫度25 ℃。

鋁合金化銑保護(hù)膠脈沖激光刻型過程仿真的邊界條件表示為：

式中：k為導(dǎo)熱系數(shù)；n為法線上的單位向量；q(x,y,z,t)為激光的熱流密度。

脈沖激光刻型仿真示意圖如圖1 所示。在仿真計(jì)算模型的建立中，通過利用模型的動(dòng)網(wǎng)格設(shè)置來實(shí)現(xiàn)激光刻型材料去除過程的仿真模擬。采用的基模高斯光束以移動(dòng)熱源的方式將脈沖激光加載到鋁合金化銑保護(hù)膠表面，當(dāng)吸收激光能量后溫度達(dá)到材料的升華熱時(shí)，材料模型表面與內(nèi)部網(wǎng)格產(chǎn)生與激光入射方向一致的變形，消失的材料被視為通過氣化形式去除，移動(dòng)熱源繼續(xù)沿激光掃描方向加載到氣化材料的相鄰區(qū)域，隨激光脈沖循環(huán)往復(fù)上述過程，最終實(shí)現(xiàn)了整個(gè)刻型過程中化銑保護(hù)膠形貌演變的仿真模擬。

圖1 鋁合金化銑保護(hù)膠激光刻型仿真示意圖Fig.1 Laser engraving simulation diagram of aluminum alloy chemical milling protective adhesive

2 刻型形貌仿真計(jì)算

2.1 光斑重疊率不足對(duì)刻型形貌造成的影響

在化銑保護(hù)膠的脈沖激光加工中，過高的光斑重疊率會(huì)引起單位面積內(nèi)熱量積累嚴(yán)重，從而導(dǎo)致刻型區(qū)域出現(xiàn)明顯的熱影響區(qū)。但是，光斑重疊率并不是越低越好，過低的光斑重疊率會(huì)使得作用于材料表面的有效脈沖數(shù)目下降，這樣不僅直接影響刻型深度，而且也會(huì)影響刻型區(qū)域形貌。激光光斑重疊率計(jì)算公式表示為：

式中：D0為焦平面處激光光斑直徑，v為掃描速度，f為重復(fù)頻率。

為了凸顯光斑重疊率不足帶來的加工缺陷，假設(shè)光斑完全沒有重疊，也就是光斑重疊率為0%，光斑重疊率不足(20 W, 1 kHz, 10 m/min)對(duì)刻型形貌造成的影響如圖2 所示。過低的光斑重疊率使材料表面接受的激光能量不均，甚至出現(xiàn)光斑之間的分離現(xiàn)象，導(dǎo)致材料去除量的多少不一，因此加工區(qū)域邊緣及側(cè)壁呈現(xiàn)出鋸齒狀，并且這種形貌隨著光斑重疊率的降低更加明顯。重復(fù)頻率和掃描速度決定了激光光斑的重疊率。隨著重疊率的減少，相鄰脈沖之間的距離增加，加工后的形貌變得不平坦，當(dāng)光斑重疊率不足時(shí)會(huì)帶來的加工缺陷[21]。在激光刻型過程中，根據(jù)高斯熱源分布特點(diǎn)，保護(hù)膠最高溫度位置對(duì)應(yīng)于激光光斑輻照區(qū)域，該處熱流密度最大，兩側(cè)溫度逐漸降低。在激光光束高速掃描后，材料加工路徑上的溫度逐漸下降[22]。由于化銑保護(hù)膠的導(dǎo)熱系數(shù)較低，激光的高斯熱源作用于化銑保護(hù)膠表面后，材料迅速被氣化并去除，造成了仿真云圖溫度的分布較為集中。

圖2 光斑重疊率不足對(duì)刻型形貌造成的影響：(a) 刻蝕時(shí)間2 ms；(b) 刻蝕時(shí)間4 ms；(c) 刻蝕時(shí)間6 ms；(d) 刻蝕時(shí)間8 ms；Fig.2 The influence of insufficient spot overlap on the shape of engraving:(a) etching time 2 ms; (b) etching time 4 ms; (c) etching time 6 ms; (d) etching time 8 ms;

2.2 保護(hù)膠厚度不均對(duì)刻型形貌造成的影響

在鋁合金基體表面涂覆保護(hù)膠的工藝流程中，膠液由于自身重力的作用，干燥后在鋁合金基體表面會(huì)呈現(xiàn)出一定的薄厚不均的現(xiàn)象。為了研究此類問題給激光刻型帶來的影響，通過在化銑保護(hù)膠模型的平坦表面上添加凸起或凹陷結(jié)構(gòu)，并對(duì)該模型施加激光移動(dòng)熱源，可以仿真模擬保護(hù)膠厚度不均對(duì)刻型形貌造成的影響(60 W, 100 kHz, 10 m/min)，模型中凸起高度約為75 μm，如圖3 所示。保護(hù)膠表面原始的表面粗糙度對(duì)激光刻型效果有顯著影響，激光照射在表面凸起或者凹陷的不同位置會(huì)導(dǎo)致材料對(duì)激光能量的不均勻吸收，從而造成保護(hù)膠刻型深度不一致。與之相對(duì)應(yīng)，在化銑保護(hù)膠的脈沖激光加工實(shí)驗(yàn)中，保護(hù)膠厚度不均對(duì)將引起鋁合金基體表面的燒蝕或者保護(hù)膠未刻透的加工缺陷。

圖3 保護(hù)膠厚度不均對(duì)刻型形貌造成的影響：(a) 刻蝕時(shí)間2 ms；(b) 刻蝕時(shí)間4 ms；(c) 刻蝕時(shí)間6 ms；(d) 刻蝕時(shí)間8 ms；Fig.3 The influence of uneven thickness of protective adhesive on shape morphology:(a) etching time 2 ms; (b) etching time 4 ms; (c) etching time 6 ms; (d) etching time 8 ms;

2.3 激光入射角對(duì)刻型形貌的影響

對(duì)于傳統(tǒng)機(jī)械鉆削的接觸加工方法來說，在材料表面加工斜孔，特別是斜角度較大而直徑又較小的斜孔是極其困難的。加工中容易產(chǎn)生打滑難以入鉆，甚至發(fā)生鉆頭折斷。在異型孔的激光加工中，可以通過改變光束入射角度的加工方式調(diào)控孔的錐度，激光通過傾斜旋切的方式也可以加工圓柱度較好的高質(zhì)量通孔。與之原理相類似，在鋁合金化銑保護(hù)膠脈沖激光刻型工藝研究中，同樣可以通過控制激光光束相對(duì)于材料的入射角度調(diào)整刻型切縫的垂直度。圖4 為不同入射角對(duì)刻型形貌造成的影響，激光光束相對(duì)于材料表面的入射角度分別為90°、60°、45°(60 W, 100 kHz,10 m/min)。由于激光光斑能量呈高斯分布，當(dāng)激光光束相對(duì)于材料表面的入射角度分別為90°時(shí)，刻型切縫呈左右對(duì)稱的V 形。隨著激光入射角度的減小，激光光斑能量呈雙橢球分布，刻型切縫一側(cè)傾斜程度增大，另一側(cè)傾斜程度減小。

圖4 不同入射角對(duì)刻型形貌造成的影響，刻蝕時(shí)間，入射角度分別為：(a1) 1 ms, 90°; (a2) 3 ms,90°;(a3) 5 ms,90°; (b1) 1 ms, 60°; (b2) 3 ms, 60°; (b3) 5 ms, 60°; (c1) 1ms, 45°; (c2) 3 ms, 45°; (c3) 5 ms, 45°Fig.4 The effect of different angles of incidence on the morphology of the engraving , etching time and incident angle are respectively: (a1) 1 ms, 90°; (a2) 3 ms,90°; (a3) 5 ms,90°; (b1) 1 ms, 60°; (b2) 3 ms, 60°; (b3) 5 ms, 60°;(c1) 1ms, 45°; (c2) 3 ms, 45°; (c3) 5 ms, 45°

2.4 重復(fù)頻率對(duì)刻型形貌的影響

在激光光斑大小一致的情況下，重復(fù)頻率和掃描速度直接決定了光斑的重疊率。圖5 為不同重復(fù)頻率對(duì)刻型形貌造成的影響，激光重復(fù)頻率分別為100 kHz、80 kHz、60 kHz(60 W, 10 m/min），對(duì)應(yīng)的光斑重疊率分別為98.80%、98.60%、98.10%。根據(jù)仿真結(jié)果可知，光斑重疊率對(duì)鋁合金化銑保護(hù)膠脈沖激光刻型質(zhì)量具有很大影響。在化銑保護(hù)膠脈沖激光刻型過程中，當(dāng)激光光斑重疊率下降時(shí)，由于作用于材料表面的有效脈沖數(shù)目隨之減少，因此直接影響到刻型寬度及深度。但是，隨著光斑重疊率的增大，相鄰脈沖之間的距離減小，單位區(qū)域內(nèi)所積累的熱量也越多，導(dǎo)致熱影響區(qū)的擴(kuò)大[22]。為了獲得更好的刻型質(zhì)量，需要通過合理調(diào)節(jié)激光的重復(fù)頻率和掃描速度來控制光斑的重疊率，避免加工區(qū)域邊緣及側(cè)壁出現(xiàn)鋸齒狀形貌。

圖5 不同重復(fù)頻率對(duì)刻型形貌造成的影響，刻蝕時(shí)間，重復(fù)頻率分別為：(a1) 1 ms, 100 kHz; (a2) 3 ms,100 kHz;(a3) 5 ms,100 kHz; (b1) 1 ms, 80 kHz; (b2) 3 ms, 80 kHz; (b3) 5 ms, 80 kHz; (c1) 1ms, 60 kHz; (c2) 3 ms, 60 kHz;(c3) 5 ms, 60 kHzFig.5 Influence of different repetition rates on stereotyped morphology, etching time and repetition frequency are respectively:(a1) 1 ms, 100 kHz; (a2) 3 ms,100 kHz; (a3) 5 ms,100 kHz; (b1) 1 ms, 80 kHz; (b2) 3 ms, 80 kHz; (b3) 5 ms, 80 kHz;(c1) 1ms, 60 kHz; (c2) 3 ms, 60 kHz; (c3) 5 ms, 60 kHz

2.5 激光功率對(duì)刻型形貌的影響

在化銑保護(hù)膠的脈沖激光加工中，保護(hù)膠層吸收激光能量，最終通過裂解并氣化完成刻型的效果。當(dāng)使用的激光功率過低時(shí)，保護(hù)膠層不能被完全切透。較高的重復(fù)頻率和激光功率有利于提高加工效率，但當(dāng)激光功率過高時(shí)，保護(hù)膠層表面的熱積累會(huì)越來越顯著。這種熱效應(yīng)在激光刻型中是不利的，直接造成加工精度和加工表面質(zhì)量的下降，導(dǎo)致保護(hù)膠層切縫邊緣燒焦。圖6為不同功率對(duì)刻型形貌造成的影響，激光功率分別為70 W、60 W、50 W (100 kHz, 10 m/min)?？梢钥闯?，隨著激光功率的增大，保護(hù)膠表面單位面積所吸收的激光能量隨之增加，刻型寬度及深度也隨之增加。但是與此同時(shí)，保護(hù)膠表面熱影響區(qū)面積也在不斷擴(kuò)大。

圖6 不同功率對(duì)刻型形貌造成的影響，刻蝕時(shí)間，激光功率分別為：(a1) 1 ms, 70 W; (a2) 3 ms,70 W; (a3) 5 ms,70 W;(b1) 1 ms, 60 W; (b2) 3 ms, 60 W; (b3) 5 ms, 60 W; (c1) 1ms, 50 W; (c2) 3 ms, 50 W; (c3) 5 ms, 50 WFig.6 Influence of different powers on the morphology of the engraving , etching time and laser power are respectively:(a1) 1 ms, 70 W; (a2) 3 ms,70 W; (a3) 5 ms,70 W; (b1) 1 ms, 60 W; (b2) 3 ms, 60 W; (b3) 5 ms, 60 W; (c1) 1ms, 50 W;(c2) 3 ms, 50 W; (c3) 5 ms, 50 W

2.6 掃描速度對(duì)刻型形貌的影響

在激光功率、重復(fù)頻率及入射角度相同的前提下，激光刻型時(shí)的掃描速度直接影響掃描軌跡單位長度范圍內(nèi)保護(hù)膠所吸收能量的多少。圖7為不同掃描速度對(duì)刻型形貌造成的影響，激光掃描速度分別為12 m/min、10 m/min、8 m/min (60 W,10 m/min)，對(duì)應(yīng)的光斑重疊率分別為98.60%、98.90%、99.10%。當(dāng)使用的激光掃描速度過高時(shí)，保護(hù)膠層不能被完全切透。隨著激光掃描速度的減小，掃描軌跡單位長度范圍內(nèi)保護(hù)膠所吸收的激光能量增多，刻型寬度及深度尺寸隨之增大。但是，值得注意的是較慢掃描速度帶來較大材料去除量的同時(shí)，也導(dǎo)致切縫的熱影響區(qū)范圍較大，同樣會(huì)造成加工精度和加工表面質(zhì)量的下降，導(dǎo)致保護(hù)膠層切縫邊緣燒焦。

圖7 不同掃描速度對(duì)刻型形貌造成的影響，刻蝕時(shí)間，掃描速度分別為：(a1) 1 ms, 12 m/min; (a2) 3 ms,12 m/min;(a3) 5 ms,12 m/min; (b1) 1 ms, 10 m/min; (b2) 3 ms, 10 m/min; (b3) 5 ms, 10 m/min; (c1) 1ms, 8 m/min;(c2) 3 ms, 8 m/min; (c3) 5 ms, 8 m/minFig.7 Influence of different scanning speeds on engraved morphology, etching time and scan speed are respectively:(a1) 1 ms, 12 m/min; (a2) 3 ms,12 m/min; (a3) 5 ms,12 m/min; (b1) 1 ms, 10 m/min; (b2) 3 ms, 10 m/min;(b3) 5 ms, 10 m/min; (c1) 1ms, 8 m/min; (c2) 3 ms, 8 m/min; (c3) 5 ms, 8 m/min

2.7 刻型形貌演變規(guī)律

從以上仿真結(jié)果可以看到，重復(fù)頻率、入射角度、激光功率以及掃描速度等參數(shù)共同決定著鋁合金化銑保護(hù)膠刻型工藝中的加工形貌，與之相對(duì)應(yīng)的刻型尺寸演變規(guī)律如圖8 所示。圖8(a)為鋁合金化銑保護(hù)膠切縫尺寸隨激光功率的變化曲線。提高激光功率可以使材料表面的熱積累作用顯著增強(qiáng)，隨著激光功率的升高，保護(hù)膠刻型寬度及深度尺寸明顯增加，較高的激光功率有利于提高加工效率。圖8(b)為鋁合金化銑保護(hù)膠切縫尺寸隨激光掃描速度的變化曲線。激光刻型時(shí)的掃描速度直接影響掃描軌跡單位長度范圍內(nèi)保護(hù)膠所吸收能量的多少。隨著激光掃描速度的增加，掃描軌跡單位長度范圍內(nèi)保護(hù)膠所吸收的激光能量減弱，刻型寬度及深度尺寸隨之減小。圖8(c)為鋁合金化銑保護(hù)膠切縫尺寸隨激光入射角度的變化曲線。當(dāng)激光光束相對(duì)于材料表面的入射角度分由90°逐漸減小，激光光斑能量由高斯分布逐漸轉(zhuǎn)變?yōu)殡p橢球分布?？绦颓锌p的寬度基本維持不變，但是深度隨之減小。圖8(d)為鋁合金化銑保護(hù)膠切縫尺寸隨激光重復(fù)頻率的變化曲線。在化銑保護(hù)膠脈沖激光刻型過程中，當(dāng)激光重復(fù)頻率增大時(shí)，作用于保護(hù)膠表面的有效脈沖數(shù)目增多，因此，刻形槽深隨之增大，刻型切縫的寬度基本沒有變化。

圖8 不同參數(shù)下刻型尺寸演變規(guī)律：(a) 激光功率；(b) 掃描速度；(c) 入射角度；(d) 重復(fù)頻率Fig.8 Evolution of engraved size under different parameters:(a) laser power; (b) scan speed; (c) incidence angle; (d) repetition frequency

3 結(jié)論

本文針對(duì)鋁合金化銑保護(hù)膠脈沖激光刻型工藝展開了計(jì)算仿真研究，改變的主要參數(shù)包括激光功率、重復(fù)頻率、入射角度以及掃描速度，直觀地展示了化銑保護(hù)膠在激光輻照作用下加工形貌演變規(guī)律及其對(duì)應(yīng)溫度場分布。通過分析鋁合金化銑保護(hù)膠脈沖激光刻型的仿真結(jié)果，可以得出如下結(jié)論：

(1) 過高的光斑重疊率會(huì)引起單位面積內(nèi)熱量積累嚴(yán)重，從而導(dǎo)致刻型區(qū)域出現(xiàn)明顯的熱影響區(qū)。過低的光斑重疊率使材料表面接受的激光能量不均，導(dǎo)致加工區(qū)域邊緣及側(cè)壁呈現(xiàn)出鋸齒狀。

(2) 保護(hù)膠表面原始的表面粗糙度對(duì)激光刻型效果有顯著影響，表面凸起或者凹陷的位置保護(hù)膠厚度不同，同時(shí)由于凸起或者凹陷導(dǎo)致材料對(duì)激光能量的不均勻吸收，從而造成保護(hù)膠刻型深度不一致。

(3) 重復(fù)頻率、入射角度、激光功率以及掃描速度等參數(shù)共同決定著鋁合金化銑保護(hù)膠刻型工藝中的加工形貌。通過控制激光光束相對(duì)于材料的入射角度調(diào)整刻型切縫的垂直度。脈沖激光的重復(fù)頻率、功率以及掃描速度則直接影響刻型寬度及深度。