郭麗 梁玲 張波 李雪方 孟秀峰

【摘 要】 針對(duì)太陽(yáng)能濕法設(shè)備中的化學(xué)品需要不斷補(bǔ)充的人為操作過(guò)程具有一定的滯后性和經(jīng)驗(yàn)性的問(wèn)題，本文將PLC校準(zhǔn)方法應(yīng)用到了太陽(yáng)能電池濕法設(shè)備濃度恒定當(dāng)中，研究表明：在采用該方法作用下的系統(tǒng)減少了人工的參與度，可實(shí)現(xiàn)根據(jù)生產(chǎn)需要自行設(shè)定生產(chǎn)參數(shù)的目的，達(dá)到實(shí)時(shí)控制濃度恒定的效果，使用效果良好。

【關(guān)鍵詞】 PLC;濃度恒定;校準(zhǔn);太陽(yáng)能電池;濕法設(shè)備

【中圖分類(lèi)號(hào)】 D613 【文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼】 A

【文章編號(hào)】 2096-4102（2020）05-0098-02

在光伏電池中濕法工藝的作用可分為兩個(gè)方面：一是在太陽(yáng)能電池表面形成絨面，從而顯著地提高電池的轉(zhuǎn)換效率;二是由于太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)制造過(guò)程中的擴(kuò)散過(guò)程采用背靠背擴(kuò)散，硅片的所有表面包括邊緣都將不可避免地?cái)U(kuò)散上磷。PN結(jié)的正面所收集到的光生電子會(huì)沿著邊緣擴(kuò)散有磷的區(qū)域流到PN結(jié)的背面從而造成短路，這就需要在擴(kuò)散制結(jié)后清除表面的磷硅玻璃。在這兩個(gè)作用中都要用到化學(xué)品，而所有的濕法工藝用的化學(xué)品在使用時(shí)都有一個(gè)消耗的過(guò)程。因此，這就需要外界進(jìn)行不斷的補(bǔ)充，以防反應(yīng)不充分造成過(guò)程不良片。但是目前，化學(xué)品補(bǔ)充即為補(bǔ)液，補(bǔ)液次數(shù)與補(bǔ)液時(shí)間的值是個(gè)經(jīng)驗(yàn)值，且需要操作員通過(guò)測(cè)刻蝕量來(lái)進(jìn)行不斷修正，相對(duì)具有一定的滯后性。同時(shí)自動(dòng)補(bǔ)液一般不改，加上不能根據(jù)片子的尺寸、片間距、每道的片數(shù)來(lái)做調(diào)整，所以槽體濃度不能做到實(shí)時(shí)修正，仍會(huì)造成不良片。這就需要操作員不斷手動(dòng)測(cè)片，了解當(dāng)前槽體刻蝕情況即濃度，并進(jìn)行跟蹤補(bǔ)液。這樣的重復(fù)性的工作，不僅工作量大，經(jīng)驗(yàn)性強(qiáng)，可靠性差，而且過(guò)刻和欠刻現(xiàn)象時(shí)有發(fā)生，這將會(huì)影響刻蝕質(zhì)量。因此，針對(duì)這種情況，本文就這類(lèi)問(wèn)題展開(kāi)研究，并為解決這類(lèi)問(wèn)題提出了方法。

1校準(zhǔn)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)方法

校準(zhǔn)的實(shí)現(xiàn)方法主要為PLC的計(jì)算工作內(nèi)容，它的內(nèi)容大致為三步分別如下：

1.1通過(guò)由離子計(jì)反饋的NO-3濃度與設(shè)定濃度的之差，計(jì)算HF和HNO3的補(bǔ)液量

設(shè)槽體體積為K，HNO3的設(shè)定濃度e（這里不考慮HF設(shè)定濃度，是因?yàn)镠F為弱電解質(zhì)，它在溶液中不能完成電離，單純計(jì)算它的濃度就沒(méi)有實(shí)際意義，而它的耗量可以通過(guò)方程式計(jì)算得到）;由離子計(jì)測(cè)得的NO-3濃度為f;則消耗NO-3量為：（e-f）K，由此可得硅在HF和HNO3溶液中的離子反應(yīng)方程式為：

3Si+16H++4NO-3+18F-→3SiF2-6+4NO↑+8H2O

根據(jù)離子反應(yīng)方程式可得消耗HF的理論值x為：

4NO-3 —————18F-

4 —————— 18

（e-f）K —————x

2校準(zhǔn)結(jié)果驗(yàn)證

為測(cè)試校準(zhǔn)結(jié)果好壞與否，采用車(chē)間現(xiàn)有的穩(wěn)定性良好的一臺(tái)C-TEX制絨設(shè)備進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試改造前的刻蝕量與改造后的刻蝕量。改造方法是對(duì)制絨設(shè)備組裝上濃度校準(zhǔn)系統(tǒng)。數(shù)據(jù)采集為抽樣采集，采集方法為每10分鐘對(duì)設(shè)備中五道中第三道刻蝕量測(cè)量一次，共進(jìn)行了十次測(cè)量。測(cè)量結(jié)果如下表1。

圖1為表現(xiàn)刻蝕量的波動(dòng)情況，產(chǎn)線刻蝕量要求范圍為3.3g-3.5g，從圖中可以看出改造后的刻蝕量波動(dòng)性要比改造前好，其方差也能充分顯示改造后的穩(wěn)定性變好。

3結(jié)論

本文在太陽(yáng)能電池濕法設(shè)備上采用濃度恒定的PLC校準(zhǔn)方法取得了良好的效果。結(jié)論如下：

該方法可以在線自動(dòng)檢控刻蝕濃度，校準(zhǔn)結(jié)果也顯示了該方法可將刻蝕濃度基本控制在目標(biāo)范圍之內(nèi)，保證了刻蝕的有效性與穩(wěn)定性。

該方法克服了傳統(tǒng)濕法手動(dòng)補(bǔ)液滯后性、工作量大、重復(fù)性高等缺陷，保證了槽體內(nèi)酸液的反應(yīng)速度均一，減少制程的不良片的產(chǎn)生，為產(chǎn)線提供了一種自動(dòng)在線校準(zhǔn)途徑。

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