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淺談半導(dǎo)體制造行業(yè)危廢鑒別的問(wèn)題與優(yōu)化建議

2020-07-18 11:28:51劉媛
科學(xué)大眾 2020年5期
關(guān)鍵詞:環(huán)保

劉媛

摘 要:隨著我國(guó)危險(xiǎn)廢物規(guī)范化管理的進(jìn)一步加強(qiáng),危險(xiǎn)廢物鑒別工作成為規(guī)范化管理不可或缺的組成部分。開(kāi)展科學(xué)的危廢鑒別工作,可將半導(dǎo)體制造企業(yè)存疑的產(chǎn)廢,明確其危險(xiǎn)特性,有效降低企業(yè)固體廢物環(huán)保安全處置風(fēng)險(xiǎn)。

關(guān)鍵詞:危險(xiǎn)廢物鑒別;鑒別工作實(shí)施流程;環(huán)保

半導(dǎo)體行業(yè)是我國(guó)“十三五”規(guī)劃中的重點(diǎn)發(fā)展領(lǐng)域,是國(guó)內(nèi)新興戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)。但其環(huán)評(píng)文件中涉及整體工藝的產(chǎn)廢相關(guān)基礎(chǔ)性數(shù)據(jù)并不全面,相關(guān)信息的收集、分析與研究都面臨較大困難,加之目前多數(shù)先進(jìn)制造工藝技術(shù)具有壟斷保密性質(zhì),所以,開(kāi)展危險(xiǎn)廢物鑒別對(duì)彌補(bǔ)產(chǎn)廢基礎(chǔ)數(shù)據(jù)是特別有必要的,更有利于企業(yè)對(duì)固體廢物的規(guī)范化管理。

1 ? ?半導(dǎo)體行業(yè)危廢鑒別現(xiàn)狀

危險(xiǎn)廢物鑒別的程序和判別規(guī)則來(lái)源于《危險(xiǎn)廢物鑒別通則》,鑒別過(guò)程中涉及的樣品采集、檢測(cè)和判斷等技術(shù)要求出自《危險(xiǎn)廢物鑒別技術(shù)規(guī)范》,這兩項(xiàng)重要的鑒別規(guī)范均在2020年1月1日頒布實(shí)施。結(jié)合當(dāng)前半導(dǎo)體行業(yè)的危廢鑒別現(xiàn)狀,采用新規(guī)范鑒別、分析危險(xiǎn)廢物,可使鑒別體系更具可操作性,對(duì)總結(jié)鑒別實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)、降低危險(xiǎn)廢物處置難度有重大意義。

企業(yè)鑒別工作實(shí)施流程開(kāi)展前的首要環(huán)節(jié)就是取得環(huán)評(píng)文件。根據(jù)鑒別規(guī)范中針對(duì)危險(xiǎn)廢物的判定規(guī)則,通常環(huán)評(píng)公司會(huì)在報(bào)告編寫(xiě)或評(píng)審階段羅列出待鑒別的危廢項(xiàng)目,從而使企業(yè)有明確的鑒別目標(biāo)。鑒別工作主要包含取樣檢測(cè)及鑒別分析兩部分,取樣包含初篩取樣及正式檢測(cè)取樣,可根據(jù)固體廢物的各項(xiàng)危險(xiǎn)特性超標(biāo)的可能性,確定檢測(cè)優(yōu)先順序。根據(jù)任何一項(xiàng)檢測(cè)結(jié)果判定該固體廢物具有危險(xiǎn)特性時(shí),可不再檢測(cè)其他危險(xiǎn)特性。鑒別服務(wù)公司依照檢測(cè)結(jié)果,分析并編寫(xiě)鑒別報(bào)告,后經(jīng)專(zhuān)家評(píng)審認(rèn)定即完成整套鑒別流程,可確認(rèn)待測(cè)定固體廢物有無(wú)危險(xiǎn)特性。

2 ? ?危廢鑒別存在的問(wèn)題

2.1 ?環(huán)評(píng)過(guò)于從嚴(yán)判定固體廢物

半導(dǎo)體行業(yè)涉及的固體廢物依照《國(guó)家危險(xiǎn)廢物名錄》進(jìn)行辨識(shí),環(huán)評(píng)階段發(fā)現(xiàn)一部分廢物并無(wú)對(duì)應(yīng)行業(yè)及代碼使之完全切合,從工藝流程、產(chǎn)生環(huán)節(jié)、主要成分、有害成分等角度分析并不能完全排除其危險(xiǎn)特性,通常環(huán)評(píng)階段類(lèi)比相同或相似的固體廢物危險(xiǎn)特性,會(huì)從嚴(yán)判定結(jié)果。例如廢晶圓屬于制造工藝中產(chǎn)生的不合格產(chǎn)品,通過(guò)分析制造工藝中的砷平衡表,發(fā)現(xiàn)可能有微量砷元素進(jìn)入了晶圓因而被判定為HW24“含砷廢物”,通過(guò)實(shí)際危廢鑒別后,發(fā)現(xiàn)并未檢出砷的急性毒性或浸出毒性的危險(xiǎn)特性。從嚴(yán)判定必將導(dǎo)致一些本應(yīng)作為一般固體廢物處置的廢棄物轉(zhuǎn)變?yōu)槲kU(xiǎn)廢物,從而面臨收集、運(yùn)輸、處置方式的復(fù)雜化,還會(huì)使企業(yè)廢棄物處置成本陡增。

2.2 ?已定性的固體廢物處置風(fēng)險(xiǎn)

高科技行業(yè)正在經(jīng)歷與日俱增的產(chǎn)業(yè)革新,環(huán)評(píng)文件由于編寫(xiě)、審核、批準(zhǔn)的周期較長(zhǎng),無(wú)法保證及時(shí)跟進(jìn)、更新。在環(huán)評(píng)中已經(jīng)完成定量定性的固體廢物,如果其在生產(chǎn)工藝運(yùn)行穩(wěn)定、廢物性質(zhì)穩(wěn)定的情況下,按照環(huán)評(píng)要求的處置方式進(jìn)行處置,可以保障處置合法合規(guī);但當(dāng)廢物性質(zhì)隨工藝變化較大時(shí),該廢物危險(xiǎn)特性判定結(jié)果的有效性則會(huì)被質(zhì)疑。例如,潔凈室空氣過(guò)濾會(huì)產(chǎn)生大量的報(bào)廢空氣濾網(wǎng),其作用為過(guò)濾空調(diào)吸入的外部空氣中微量的污染成分,在環(huán)評(píng)中被定性為一般工業(yè)固廢。實(shí)際上不同地域氣象條件不同,因而外部空氣質(zhì)量也隨之變化,為保障潔凈室內(nèi)空氣質(zhì)量合規(guī),就會(huì)需要使用更為先進(jìn)的空調(diào)濾芯方可達(dá)到滿(mǎn)意的去除效率,這些新型空氣濾網(wǎng)通常含有催化劑及活性炭。如果企業(yè)將含有催化劑及活性炭的固體廢物,繼續(xù)作為一般固廢處置,很有可能為企業(yè)留下安全環(huán)保風(fēng)險(xiǎn)。

3 ? ?危廢鑒別優(yōu)化建議

3.1 ?提高企業(yè)自身的危廢辨識(shí)能力

無(wú)論環(huán)評(píng)文件中有無(wú)定性固體廢物的危險(xiǎn)特性,企業(yè)的廢棄物管理專(zhuān)責(zé)人員都要定期進(jìn)行自我核查,保證環(huán)評(píng)表述信息與實(shí)際產(chǎn)廢情況相吻合。首先,要判斷存疑的危險(xiǎn)廢物是否為在生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的,喪失原有利用價(jià)值或者雖未喪失利用價(jià)值但被拋棄或者放棄的物品、物質(zhì),包括法律、行政法規(guī)規(guī)定納入固體廢物管理的固體廢物。只有滿(mǎn)足屬于固體廢物的前提條件,才可以依照《國(guó)家危險(xiǎn)廢物名錄》來(lái)判斷其是否屬于危險(xiǎn)廢物。接下來(lái)根據(jù)《名錄》中行業(yè)類(lèi)別、工藝或裝置來(lái)定性危險(xiǎn)廢物,如未匹配到對(duì)應(yīng)項(xiàng)目,可開(kāi)展危廢鑒別,精準(zhǔn)判定危險(xiǎn)廢物,有效控制環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)。所以,半導(dǎo)體行業(yè)在環(huán)評(píng)階段之初,不能完全照搬危險(xiǎn)廢物名錄中的行業(yè)來(lái)源“電子原件制造行業(yè)”的產(chǎn)廢歸類(lèi),而是需要根據(jù)產(chǎn)廢源頭的工藝或裝置來(lái)判定。

3.2 ?合理優(yōu)化環(huán)評(píng)危廢鑒別結(jié)果

鑒別的意義在于進(jìn)一步明確其屬性,確定其管理范疇。當(dāng)物品具有較高的利用價(jià)值時(shí),對(duì)于環(huán)評(píng)文件已定性或還未定性的危險(xiǎn)廢物,產(chǎn)生單位可能對(duì)于某物品是否屬于廢物或危險(xiǎn)廢物存在異議,也可以主動(dòng)申請(qǐng)重新進(jìn)行廢物危險(xiǎn)特性鑒別。另外新版《通則》也明確提出,如果根據(jù)其生產(chǎn)的原輔材料和工藝就可以排除其具有危險(xiǎn)特性,便可以在不開(kāi)展危險(xiǎn)特性檢測(cè)工作或輔助性檢測(cè)工作的情況下,直接作出該固體廢物不具有危險(xiǎn)特性的屬性認(rèn)定,從而避免了危險(xiǎn)廢物鑒別過(guò)程的過(guò)度檢測(cè)。

4 ? ?結(jié)語(yǔ)

固體廢物危險(xiǎn)特性鑒別的完善對(duì)固體廢物管理,特別是危險(xiǎn)廢物管理發(fā)揮著關(guān)鍵性的作用。事實(shí)上,幾乎所有固體廢物都可找到合理的利用方式和途徑。為了能實(shí)現(xiàn)這一最終目的,需要企業(yè)深刻理解固體廢物概念和廢物管理的原則,運(yùn)用已有的法律法規(guī)及危險(xiǎn)廢物鑒別手段,使企業(yè)有更加多元化的機(jī)會(huì)將危險(xiǎn)廢物處置風(fēng)險(xiǎn)降到最低,創(chuàng)造價(jià)值的同時(shí)也能節(jié)約資源,變廢為寶。

[參考文獻(xiàn)]

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