本發(fā)明涉及一種碳化硅纖維表面連續(xù)制備復(fù)合界面層的設(shè)備及方法，該設(shè)備包括第一沉積室、至少一個(gè)過渡沉積室，在任意兩個(gè)相鄰的沉積室之間設(shè)置有隔離室，所述隔離室通入有惰性氣體，且所述隔離室內(nèi)惰性氣體的氣壓高于相鄰的兩個(gè)沉積室的室內(nèi)氣壓，使得相鄰的兩個(gè)沉積室中的氣體在氣壓差的作用下相互隔離，不會(huì)流入隔離室；每個(gè)沉積室中設(shè)置有滾輪組，用于纖維束導(dǎo)向。本發(fā)明解決了：分批次沉積界面層，同一爐次不同爐位的界面層厚度，和同一爐位不同爐次的界面層厚度都很難實(shí)現(xiàn)均勻。每一爐次沉積，SiC纖維隨著爐體一起升溫和降溫，在高溫下處理時(shí)間過長，纖維強(qiáng)度下降明顯等的技術(shù)問題。

專利申請(qǐng)?zhí)枺?020100567046

專利公布號(hào)：CN111172519A

申請(qǐng)人：中國航發(fā)北京航空材料研究院

發(fā)明人：齊哲，焦健，姜卓鈺，呂曉旭，劉虎，楊金華，艾瑩珺