胡毅 林其斌 黨小宇 謝國(guó)雄

摘 要：? 針對(duì)金屬應(yīng)變片電阻傳感器單橋、半橋和全橋三種傳感信號(hào)測(cè)量電路，分析驗(yàn)證其在測(cè)量靈敏度以及非線性誤差等性能參數(shù)上的差異性，充分把握該種傳感器的性能特點(diǎn)，也為其他類(lèi)傳感器的性能特點(diǎn)分析提供借鑒.

關(guān)鍵詞： 金屬應(yīng)變片;電阻傳感器;電橋電路;傳感器性能

[中圖分類(lèi)號(hào)]TH715?? [文獻(xiàn)標(biāo)志碼]A

Measuring Performance Analysis on Metal Strain Plate Resistive Sensor

HU Yi1， LIN Qi-bin1， DANG Xiao-yu2， XIE Guo-xiong1

（1. School of Electronics & Electrical Engineering， Chuzhou University， Chuzhou 239000， China;

2. College of Electronics & Information Engineering， Nanjing University of Astronautics and Aeronautics， Nanjing 211106， China）

Abstract： Aimed at three measuring circuits of mental strain plate resistive sensor， i.e.， single bridge， half bridge and full bridge， their difference on sensitivity and non-linear error and so on is analyzed， and also the experimental results are validated. Thus it can help us understand better the performance of the sensor and lay foundations for the related applications; meanwhile， it also offers a referring method for the analysis of other sensors.

Key words： metal strain plate; resistance sensor; bridge circuit; sensor performance

傳感器是一種能夠感受規(guī)定的被測(cè)量、并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置，主要由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成.敏感元件主要對(duì)物理、化學(xué)或生物等特性的被測(cè)非電量進(jìn)行感知;轉(zhuǎn)換元件則主要將感知的被測(cè)非電量轉(zhuǎn)換為易于測(cè)量的電學(xué)量，以供后端的電路進(jìn)行信號(hào)處理和輸出使用.金屬應(yīng)變片電阻傳感器主要是利用電阻的應(yīng)變效應(yīng)進(jìn)行工作[1]，即通過(guò)應(yīng)變片中金屬薄片電阻值的改變量來(lái)測(cè)量所加外力或由外力所引起的微小形變.該種傳感器由于具有測(cè)量精度高、性能穩(wěn)定可靠等優(yōu)點(diǎn)，在許多稱(chēng)重以及測(cè)微形變系統(tǒng)中得到廣泛的應(yīng)用.由于在傳感器的測(cè)量過(guò)程中，應(yīng)變片前端敏感元件輸出的信號(hào)非常微弱，這樣轉(zhuǎn)換元件中的測(cè)量電路就要完成對(duì)微弱信號(hào)的放大以及線性化等處理，從而導(dǎo)致信號(hào)轉(zhuǎn)換與測(cè)量過(guò)程變得比較復(fù)雜.

根據(jù)信號(hào)轉(zhuǎn)換與測(cè)量過(guò)程中所用應(yīng)變片數(shù)目的不同，金屬應(yīng)變片電阻傳感器的測(cè)量電路可分為單橋、半橋和全橋等類(lèi)型.[2]這些不同類(lèi)型的應(yīng)變片測(cè)量電路會(huì)使得傳感器在測(cè)量靈敏度以及非線性誤差等性能參數(shù)上呈現(xiàn)較大差別.本文對(duì)傳感器的三種測(cè)量電路進(jìn)行分析，以了解傳感器的性能特點(diǎn)，為相關(guān)的電路設(shè)計(jì)與應(yīng)用奠定基礎(chǔ).

1 金屬應(yīng)變片工作特性

金屬應(yīng)變片發(fā)生形變時(shí)，其電阻改變量與形變之間滿足關(guān)系[1]：

式（1）中，dR/R為應(yīng)變片電阻的相對(duì)改變量，ε=dl/l為應(yīng)變片的相對(duì)形變量，μ為應(yīng)變片材料的泊松比，dρ/ρ為金屬電阻率的相對(duì)改變量，在金屬應(yīng)變片中，該項(xiàng)值很小，通?？梢院雎?由式（1）可得應(yīng)變片的測(cè)量靈敏度為

2 傳感器測(cè)量電路性能分析

2.1 金屬應(yīng)變片電阻傳感器測(cè)量電路

由于式（1）中dR/R值通常較小，因此實(shí)際測(cè)量中常采用電橋電路來(lái)提高信號(hào)的測(cè)量靈敏度.根據(jù)所用金屬應(yīng)變片的數(shù)目，可將測(cè)量電橋分為單橋、半橋和全橋等類(lèi)型[3]，其中半橋和全橋電路常采用差動(dòng)連接方式——即電橋相鄰應(yīng)變片所受的應(yīng)力方向相反.根據(jù)電橋中所用電源的情況，可將電橋電路分為直流和交流兩種形式.測(cè)量電路分別如圖1-圖4所示.

金屬應(yīng)變片電阻傳感器在實(shí)際測(cè)量過(guò)程中，從前端被測(cè)非電量輸入，到后端的電橋電路測(cè)量電壓輸出，其整體靈敏度應(yīng)為前端應(yīng)變片敏感元件靈敏度與后端測(cè)量電路靈敏度的乘積，如果對(duì)于單橋應(yīng)變片傳感器，其整體測(cè)量靈敏度應(yīng)為K=K sKus.

3 傳感器測(cè)量性能驗(yàn)證

實(shí)驗(yàn)在天煌公司的THQC-1A型實(shí)驗(yàn)平臺(tái)及測(cè)量模塊上進(jìn)行，實(shí)驗(yàn)測(cè)量電路見(jiàn)圖5.利用實(shí)驗(yàn)平臺(tái)測(cè)得的金屬應(yīng)變片單橋、半橋和全橋電路稱(chēng)重實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)見(jiàn)表1.由于金屬應(yīng)變片在測(cè)量上具有重復(fù)性和遲滯性的特征[4]，即正行程與反行程，以及多次沿同一方向全量程測(cè)量時(shí)，測(cè)量特性曲線不完全重合，因此，表1中給的測(cè)量數(shù)據(jù)是5次正行程和5次反行程來(lái)回測(cè)量平均后的結(jié)果.每個(gè)來(lái)回測(cè)量后對(duì)金屬應(yīng)變片測(cè)量電橋進(jìn)行一次調(diào)零，以防止非線性誤差累積與擴(kuò)大.[5]

由表1所給的測(cè)量數(shù)據(jù)，利用逐差法及 1 10 ∑ 10 i=1?? ΔU0i Δm i? ，分別計(jì)算得到三種電橋電路的測(cè)量靈敏度.利用matlab中的polyfit函數(shù)，擬合得到其線性化方程，得到最大非線性誤差max 1≤i≤11?? Uli-U0i? Ulmax 等指標(biāo)[3]，結(jié)果見(jiàn)表2.實(shí)際操作中，由于各種誤差的存在及各應(yīng)變片形變的不完全相等，表2中的最大非線性誤差不為零.三種

電橋?qū)嶋H測(cè)量特性與線性化后結(jié)果直觀圖形比較見(jiàn)圖6.

通過(guò)表2及圖6可知，金屬應(yīng)變片傳感器單橋測(cè)量靈敏度約為半橋的1/1.86，為全橋的1/3.65.測(cè)量結(jié)果與理論分析結(jié)果基本一致，驗(yàn)證了理論分析的正確性.

4 結(jié)論

金屬應(yīng)變片電阻傳感器由于傳感器使用應(yīng)變 片數(shù)量的不同，會(huì)導(dǎo)致傳感器后端的信號(hào)處理電路以及相應(yīng)的測(cè)量性能呈現(xiàn)較大的不同.本文重點(diǎn)分析比較了傳感器三種典型測(cè)量電路在測(cè)量靈敏度及非線性誤差等參數(shù)上的差異性，并通過(guò)實(shí)驗(yàn)進(jìn)行驗(yàn)證，對(duì)該種傳感器性能特點(diǎn)有一個(gè)更全面的把握，為后續(xù)相關(guān)的設(shè)計(jì)應(yīng)用奠定基礎(chǔ).

參考文獻(xiàn)

[1] ?賈伯年，俞樸，宋愛(ài)國(guó).傳感器技術(shù)（第3版）[M].南京：東南大學(xué)出版社，2007，34-58.

[2] ?李楊，解彬彬，王軻，等.電阻應(yīng)變式機(jī)械拉伸實(shí)驗(yàn)箱的設(shè)計(jì)及應(yīng)用[J].牡丹江師范學(xué)院學(xué)報(bào)：自然科學(xué)版，2015（4）：28-30.

[3] ?解彬彬，王軻，湯池潛，等.半導(dǎo)體熱敏電阻非電量電測(cè)法實(shí)驗(yàn)裝置的設(shè)計(jì)[J].牡丹江師范學(xué)院學(xué)報(bào)：自然科學(xué)版，2015（3）：25-26.

[4] ?畢思武.淺談電阻應(yīng)變式稱(chēng)重傳感器靈敏度及其補(bǔ)償與調(diào)整[J].衡器，2009，38（9）：31-34.

[5] ?陸貴友，王斌.電阻應(yīng)變片式傳感器線性誤差的補(bǔ)償模型[C].吉林省科學(xué)技術(shù)學(xué)術(shù)年會(huì)論文集，2008：170-171.