趙 雷，吳學(xué)賓

(中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所，北京 065201)

傳統(tǒng)的砂漿多線切割技術(shù)[1]是靠高速運(yùn)動(dòng)的鋼線帶動(dòng)由懸浮液和碳化硅微粉混合配置的砂漿來(lái)進(jìn)行切割。參與切割的碳化硅在鋼線上處于游離狀態(tài)，砂漿包裹在鋼線圓周方向上，對(duì)硅棒起到研磨的作用。這種傳統(tǒng)的方式，砂漿制備需要較長(zhǎng)的時(shí)間并且必須始終處于攪拌狀態(tài)，其用量會(huì)隨著切割硅棒面積的增大而增大，切割的線速度不會(huì)太快，工作臺(tái)速度也不能太快。

多線切割技術(shù)是20世紀(jì)90年代崛起的一項(xiàng)新型硅片切割技術(shù)，它通過(guò)金屬線帶動(dòng)碳化硅研磨料進(jìn)行研磨加工來(lái)切割硅片。圖1為傳統(tǒng)砂漿多線切割原理。

圖1 傳統(tǒng)砂漿多線切割原理示意圖

1 傳統(tǒng)的砂漿多線切割技術(shù)

1.1 砂漿多線切割技術(shù)

使用高碳鋼切割線絲，直徑0.11～0.12 mm，鋼線表面鍍銅；砂漿由碳化硅磨料+PEG(聚乙二醇)切割液構(gòu)成；線速大約600～700 m/min；線張力約21 N；線縫損失0.13～0.14 mm，大約40%；一次最多可切割2 000多片光伏硅片；每臺(tái)機(jī)器每天可切割2刀（12 h切割1刀）。

1.2 砂漿多線切割的摩擦學(xué)原理

砂漿多線切割的摩擦學(xué)原理[2]為三體磨損，即鋼線與硅材料相磨損，碳化硅粉居于其中；聚乙二醇是潤(rùn)滑劑，鋼線本身磨損很大，磨損率約12%；生產(chǎn)一片硅片單向切割消耗約170 m鋼線，雙向切割消耗約110 m鋼線。砂漿三體摩擦單向切割原理如圖2所示，其中鋼線見(jiàn)圖3，碳化硅砂粒見(jiàn)圖4。

圖2 砂漿切割原理圖

圖3 鋼線圖

圖4 微觀切割模型圖

1.3 砂漿切割工藝

砂漿切割工藝主要涉及到以下幾個(gè)參數(shù)：切割鋼線的線速度，切割臺(tái)速度，砂漿流量和溫度。

1.3.1 鋼線的線速度

鋼線的高速運(yùn)動(dòng)是砂漿的載體，碳化硅是通過(guò)粘連在鋼線周?chē)膽腋∫簩?duì)硅塊進(jìn)行切割。切割過(guò)程中線速過(guò)低，線網(wǎng)承受的壓力會(huì)很大，導(dǎo)致線弓變大[3]，很容易出現(xiàn)斷線；線速過(guò)快，雖然線網(wǎng)壓力減小，但是帶砂漿能力會(huì)減弱，砂漿來(lái)不及被帶入切割縫隙內(nèi)，同樣會(huì)導(dǎo)致切割產(chǎn)生鋸痕等不良品。所以線速度要適中，既要保證一定的線弓，又能夠最大限度地將砂漿帶入被切硅塊的切縫中。

1.3.2 切割臺(tái)速度

切割臺(tái)速度[4]是很重要的參數(shù)，它不僅影響著整個(gè)加工時(shí)間，也在很大程度上決定了硅片的薄厚程度。臺(tái)速設(shè)置過(guò)慢加工時(shí)間變長(zhǎng)，這樣浪費(fèi)生產(chǎn)時(shí)間，也會(huì)使生產(chǎn)成本增加；臺(tái)速設(shè)置過(guò)快，與砂漿的切割能力不匹配，會(huì)導(dǎo)致硅片在入刀、中間和出刀過(guò)程產(chǎn)生薄厚差距過(guò)大，嚴(yán)重時(shí)會(huì)產(chǎn)生不合格硅片。

1.3.3 砂漿的流量和溫度

砂漿的流量一般在入刀、中間和出刀過(guò)程中有所區(qū)別。入刀時(shí)流量偏低，因?yàn)榇藭r(shí)臺(tái)速一般較慢，不需要很強(qiáng)的切割能力；中間階段流量最大，需要保證砂漿的切割能力；出刀時(shí)可以降低流量也可以不降，由于切割后期碳化硅顆粒已經(jīng)在很大程度上磨損，導(dǎo)致切割能力下降，所以可以不降流量的完成切割。

砂漿的溫度最好在整個(gè)切割過(guò)程中保持不變，而且設(shè)置砂漿溫度要根據(jù)懸浮液的黏度來(lái)定。由于懸浮液是一種醇類(lèi)液體，有一定的黏度，符合黏溫曲線的規(guī)律，所以黏度較低的砂漿需要將切割時(shí)的溫度設(shè)置較低，保證其粘連性和冷卻效果，反之，將溫度設(shè)高即可。

以上只是切割過(guò)程中需要工藝人員合理設(shè)定的主要參數(shù)，真正能不能切割出良率較高的硅片，還與原材料的品質(zhì)、操作人員的操作水平等有較大關(guān)系，所以傳統(tǒng)砂漿多線切割是一個(gè)多種因素交織在一起的生產(chǎn)模式，在實(shí)際的生產(chǎn)控制中需要把基礎(chǔ)工作做牢，才能發(fā)揮工藝參數(shù)設(shè)置的合理作用。另外，砂漿在線回收系統(tǒng)也很重要。

國(guó)內(nèi)太陽(yáng)能級(jí)切片[5]廠家剛起步時(shí)，基本采用人工配料，操作環(huán)境比較差，工人勞動(dòng)強(qiáng)度很大，砂漿制備過(guò)程中經(jīng)常由于人為原因?qū)е绿蓟杼砑硬痪鶆颍瑵{料攪拌不充分，從而對(duì)線鋸切割產(chǎn)生較大影響。針對(duì)此種情況，近幾年一些廠家開(kāi)始設(shè)計(jì)并應(yīng)用了砂漿回收和在線供給系統(tǒng)。砂漿的回收和供給通過(guò)管道來(lái)實(shí)現(xiàn)，加料攪拌通過(guò)機(jī)器設(shè)備來(lái)替代人工，并且系統(tǒng)中配有熱交換[6]子系統(tǒng)，可以保證客戶需要的砂漿溫度，從而更好的控制砂漿的黏度值。整個(gè)系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化控制和運(yùn)行。此種系統(tǒng)雖然投資較大，工程施工較復(fù)雜，但系統(tǒng)運(yùn)行后節(jié)省了大量人力，并極大程度地保證了砂漿的供應(yīng)質(zhì)量。比較專(zhuān)業(yè)的廠家有德國(guó)賽錫公司、日本IHI公司和美國(guó)CRS系統(tǒng)。

傳統(tǒng)的砂漿多線切割現(xiàn)場(chǎng)污染嚴(yán)重，工況較差，成本高，并且隨著硅片的價(jià)格持續(xù)走低，商家努力降低成本，傳統(tǒng)的砂漿切割工藝已越來(lái)越不適應(yīng)現(xiàn)代硅行業(yè)大規(guī)模生產(chǎn)的切割要求。

2 新興的DW多線切割技術(shù)

2.1 金剛線發(fā)展概況

一種新興的DW技術(shù)即金剛線切割技術(shù)[7]，2009年首先應(yīng)用在單晶切片，但發(fā)展速度緩慢，2013年以后，金剛線切片急速成長(zhǎng)，2016年下半年多晶硅的金剛線切片開(kāi)始逐步量產(chǎn)，之后啟動(dòng)加速度比單晶硅快，在2017年已能夠完全實(shí)現(xiàn)從砂漿線向金剛線切片的轉(zhuǎn)換。這種新興的金剛線切割技術(shù)特點(diǎn)是將參與切割的金剛石微粒鍍到鋼線上，切割時(shí)靠噴嘴中噴出的水進(jìn)行冷卻，完全不用再配置砂漿。這種方式可以完全拋棄砂漿，切割速度可以加快。起初金剛線價(jià)格比較高，而且在鋼線上金剛石顆粒的均勻性、數(shù)量、強(qiáng)度以及顆粒的突出量、把持力，切割線的斷裂、扭轉(zhuǎn)強(qiáng)度等金剛線制造工藝技術(shù)需要進(jìn)一步提高。

金剛石線起初依賴(lài)于進(jìn)口，西方和日本的技術(shù)相對(duì)較發(fā)達(dá)一些，近年來(lái)國(guó)產(chǎn)金剛石線異軍突起，金剛線制造工藝技術(shù)提升很快，性能趕超進(jìn)口，國(guó)內(nèi)有長(zhǎng)沙岱勒，浙江東尼電子，張家口原軾新材，江蘇瑞坤新材，南京三超新材，河南恒星科技，楊凌美暢等一百多家?，F(xiàn)在國(guó)產(chǎn)金剛線的切割能力完全能與進(jìn)口媲美。較國(guó)外產(chǎn)品而言，我國(guó)自主研發(fā)的產(chǎn)品，只是它們價(jià)格的60%左右，國(guó)產(chǎn)金剛線有了很快的發(fā)展，首先成本下降了很多，但價(jià)格比鍍銅、鍍鋅鋼線仍然有些高，這對(duì)于目前價(jià)格日趨低廉的硅片來(lái)說(shuō)，仍需要進(jìn)一步降低切割成本。國(guó)產(chǎn)金剛線的芯線外徑也由當(dāng)初的250 μm減少到70 μm，現(xiàn)在主流超精細(xì)切割鋼絲達(dá)到了60 μm，甚至達(dá)到50 μm，硅片損失進(jìn)一步降低，出片率大大提高。目前金剛線切割工藝已經(jīng)在日本，歐美發(fā)達(dá)國(guó)家普遍使用，我國(guó)緊隨其后正在逐步完成由傳統(tǒng)的砂漿切割設(shè)備向金剛石線切割設(shè)備的改造升級(jí)，而且金剛線專(zhuān)用設(shè)備已經(jīng)搶灘登陸，占領(lǐng)市場(chǎng)。金剛線切割原理示意圖如圖5所示。

2.2 金剛線切割的摩擦學(xué)原理

金剛線切割的摩擦學(xué)原理：兩體磨損，即金剛石顆粒對(duì)硅材料進(jìn)行切削，切割效率比三體磨損高10倍。鎳鍍層或樹(shù)脂層將金剛石微粒附著在鋼線上，鋼線本身不參與磨損，線耗少；冷卻液為水+少量表面活性劑。兩體摩擦切割原理如圖6所示。

圖5 金剛線切割原理示意圖

圖6 兩體摩擦切割原理圖

3 兩種多線切割技術(shù)對(duì)比

3.1 兩種切片技術(shù)硅片斷面形貌對(duì)比

傳統(tǒng)砂漿與金剛線兩種方式切割后硅片表面形貌的電子掃描電鏡照片比較，如圖7所示，金剛線切割硅片表面缺陷比較少。

通過(guò)對(duì)兩種切割方式的硅片斷面形貌比較，金剛線切割損傷層較薄，樹(shù)脂金剛線甚至達(dá)到了4～7 μm。兩種切片技術(shù)硅片斷面的形貌圖如圖8所示。

3.2 兩種切片技術(shù)硅片表面主要參數(shù)對(duì)比

砂漿工藝切割的多晶硅片和金剛線工藝切割的多晶硅片表面對(duì)比：金剛線切片TTV低，小于10 μm，表面粗糙度低，如圖9和圖10所示。

3.3 兩種切片技術(shù)成本對(duì)比

3.3.1 兩種切片技術(shù)成本下降趨勢(shì)對(duì)比。

圖7 兩種切割方式硅片斷面形貌的SEM照片

圖8 兩種切片技術(shù)硅片斷面形貌圖

圖9 砂漿工藝切割的多晶硅片

圖10 DW工藝切割的多晶硅片

整體系統(tǒng)電站端，硅片約占組件成本的45%，約占系統(tǒng)成本的30%，硅片端降成本最大貢獻(xiàn)是金剛線切片，用金剛線切多晶，每片成本可下降0.6～0.9元/片，如圖11所示，使用干法黑硅制絨技術(shù)成本可控制0.25元/片，濕法黑硅可控制0.1元/片。

圖11 成本下降趨勢(shì)對(duì)比

3.3.2 單片金剛線價(jià)格和單片用線量變化趨勢(shì)

隨著金剛線制造工藝快速發(fā)展，目前成本大大降低，如圖12金剛線單價(jià)及用線量趨勢(shì)。

圖12 金剛線單價(jià)及用線量趨勢(shì)

3.3.3 金剛線價(jià)格變化趨勢(shì)

由于市場(chǎng)硅片價(jià)格持續(xù)走低，降成本壓力增加，傳導(dǎo)致鋼線價(jià)格也在不斷下降。金剛線價(jià)格變化趨勢(shì)如圖13所示。

圖13 金剛線價(jià)格變化趨勢(shì)

3.3.4 不同切片技術(shù)單片線耗成本趨勢(shì)

不同切片技術(shù)單片線耗成本趨勢(shì)比較如圖14所示。

圖14 不同切片技術(shù)單片線耗成本趨勢(shì)比較

3.4 不同切割方式實(shí)際切割工況對(duì)比

對(duì)不同切割方式實(shí)際切割工況比較如表1，電鍍金剛線優(yōu)勢(shì)很明顯。

3.5 多晶硅切片數(shù)據(jù)報(bào)告表分析

金剛線切片機(jī)切割多晶硅的一組生產(chǎn)報(bào)告：70 μm電鍍線，裝載硅錠長(zhǎng)度700 mm，截面尺寸156 mm×156 mm，槽距 278 μm，切割效率高，切割時(shí)間90 min，線耗0.94 m/片，硅片成品率高，一次A片成品率約93.44%，如表2所示。

3.6 切割線速度對(duì)切割能力、效率和硅片表面質(zhì)量影響

不同金剛線切割速度對(duì)硅片影響很大，高速切割效果能使脆性去除區(qū)域最少，硅片表面粗糙度最低，線速度越高切割的硅片表面越光滑，線速度越高對(duì)鋼線的磨損越輕。因此高線速是提高切片質(zhì)量、降低鋼線損耗的必要條件。

表1 不同切割方式切割工況對(duì)照表

表2 多晶硅切片一組數(shù)據(jù)報(bào)告表

4 金剛線細(xì)線化技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)

4.1 金剛線細(xì)線化發(fā)展的根本原因

隨著切割工藝的發(fā)展，硅片價(jià)格的進(jìn)一步降低，成本價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)日趨白熱化。最近，單晶硅片龍頭廠隆基再度宣布大幅降價(jià)，180 μm厚度價(jià)格從原先每片國(guó)內(nèi)4.8元、海外0.67美元降至國(guó)內(nèi)4.55元、海外0.63美元。金剛線細(xì)線化發(fā)展，切割時(shí)間的縮短，出片率的提高，損耗率的降低成了商家競(jìng)爭(zhēng)的法寶。

4.2 關(guān)聯(lián)金剛線線徑變化路線

與金剛線線徑變化關(guān)聯(lián)趨勢(shì)如圖15所示。金剛線母線從最初的120 μm降低到目前的70 μm，槽距下降60 μm，每公斤出片增加7.5片，增加近20%，大大降低了成本。目前，多晶硅以70 μm電鍍線主，65 μm 電鍍線為輔，65 μm 樹(shù)脂線、60 μm 電鍍線小批量實(shí)驗(yàn)；單晶硅以65 μm、60 μm電鍍線和65 μm樹(shù)脂線為主。通過(guò)鋼線端的預(yù)測(cè)，2018年下半年50 μm電鍍金剛線批量上市。

圖15 關(guān)聯(lián)金剛線線徑變化路線圖

4.3 金剛線線徑發(fā)展趨勢(shì)

如圖16所示，隨著細(xì)線化的進(jìn)程，終端用戶 也會(huì)對(duì)切片機(jī)提出新的要求。

圖16 金剛線線徑發(fā)展趨勢(shì)

5 結(jié)束語(yǔ)

綜上所述，金剛線切片是一種高效率的硅片生產(chǎn)方法，其優(yōu)點(diǎn)是切割成本低、效率高、出片率高、有利環(huán)保，而且高速細(xì)線化發(fā)展代表今后幾年金剛線硅片生產(chǎn)的主流切片技術(shù)方向。光伏發(fā)電的平價(jià)上網(wǎng)是光伏行業(yè)進(jìn)化成為能源行業(yè)的目標(biāo)和關(guān)鍵，高效低成本是永恒的課題，我們每一個(gè)與此相關(guān)的從業(yè)者都在為此不懈努力，而金剛石線切片正在助推這一進(jìn)程。近年來(lái)，隨著電池硅片表面干法/濕法黑硅制絨技術(shù)的逐步成熟穩(wěn)定，新型添加劑的突破，金剛線切片的量產(chǎn)呈井噴發(fā)展勢(shì)頭，市場(chǎng)份額快速擴(kuò)大，預(yù)計(jì)到2020年金剛線切片將全面代替?zhèn)鹘y(tǒng)的砂漿切割工藝，完成革命性的進(jìn)步。

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