三星電子（蘇州）半導(dǎo)體有限公司 周豐 盧添鈺 秦衛(wèi)國(guó)

■概述

“發(fā)展決不能以犧牲安全為代價(jià)?！?016年12月，《中共中央國(guó)務(wù)院關(guān)于推進(jìn)安全生產(chǎn)領(lǐng)域改革發(fā)展的意見》中強(qiáng)調(diào)了這一“不可逾越的紅線”，并要求以堅(jiān)持改革創(chuàng)新破解安全生產(chǎn)難題，不斷推進(jìn)科技創(chuàng)新，建立安全科技支撐體系，也提出了“開展事故預(yù)防理論研究和關(guān)鍵技術(shù)裝備研發(fā)，加快成果轉(zhuǎn)化和推廣應(yīng)用，推動(dòng)工業(yè)機(jī)器人、智能裝備在危險(xiǎn)工序和環(huán)節(jié)廣泛應(yīng)用，提升現(xiàn)代信息技術(shù)與安全生產(chǎn)融合度”等具體要求。針對(duì)黨中央提出的安全生產(chǎn)發(fā)展領(lǐng)域的意見，三星半導(dǎo)體近年來(lái)逐漸加大對(duì)安全技術(shù)創(chuàng)新的資金投入，積極推進(jìn)和落實(shí)安全技術(shù)創(chuàng)新與應(yīng)用，提高企業(yè)本質(zhì)安全水平。公司近兩年先后投入兩千余萬(wàn)元用于實(shí)現(xiàn)設(shè)備自動(dòng)化、本質(zhì)安全技術(shù)、安全檢測(cè)監(jiān)控技術(shù)等，在促進(jìn)安全生產(chǎn)方面取得了顯著效果。近兩年公司安全技術(shù)的創(chuàng)新應(yīng)用優(yōu)秀事例如下：

■化學(xué)品自動(dòng)化導(dǎo)入與添加技術(shù)

公司在生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片工藝過(guò)程中需要使用氫氧化鈉、亞硫酸氫鈉等多種會(huì)對(duì)人體產(chǎn)生傷害的有毒有害化學(xué)品。傳統(tǒng)化學(xué)品添加基本通過(guò)人工手動(dòng)添加的方式，但由于化學(xué)品添加操作過(guò)于頻繁復(fù)雜，外加人的失誤，有害化學(xué)品泄露的風(fēng)險(xiǎn)較大，極易造成人身傷害事故。此外化學(xué)品添加中飛濺出的化學(xué)品殘留物質(zhì)容易對(duì)設(shè)備造成腐蝕，產(chǎn)生安全隱患點(diǎn)。針對(duì)該風(fēng)險(xiǎn)項(xiàng)目，公司先后投入1500余萬(wàn)元用于化學(xué)品自動(dòng)添加技術(shù)研發(fā)，分別對(duì)化學(xué)品清洗作業(yè)、清洗劑添加、動(dòng)力水處理藥品添加進(jìn)行自動(dòng)化改善。將手動(dòng)化學(xué)品添加作業(yè)轉(zhuǎn)變?yōu)樽詣?dòng)化添加作業(yè)，作業(yè)人員僅需將需要清洗的材料放置在設(shè)備入口，設(shè)備即自動(dòng)將材料推入自動(dòng)化設(shè)備，實(shí)施自動(dòng)化學(xué)品添加與清洗作業(yè)，作業(yè)人員不接觸化學(xué)品，確保人員100%處于安全狀態(tài)。對(duì)清洗劑進(jìn)行了集中加藥改造，消除員工分散加藥的風(fēng)險(xiǎn)。同時(shí)我們還對(duì)動(dòng)力水處理設(shè)置化學(xué)品分散添加進(jìn)行了集中供藥裝置改善，在集中供藥管道位置都設(shè)置安裝了雙重化管道，避免供應(yīng)中的藥品管道泄露到外部環(huán)境中，而且對(duì)有可能發(fā)生藥品飛散的設(shè)備位置安裝保護(hù)罩（防飛散防護(hù)罩），杜絕發(fā)生飛散，采用自動(dòng)化加藥系統(tǒng)，既做到了人與有害物質(zhì)分離，減少了職業(yè)危害，又降低了勞動(dòng)強(qiáng)度，提高了工作效率。相關(guān)改善如下圖所示：

化學(xué)藥品自動(dòng)供給系統(tǒng)

化學(xué)藥品自動(dòng)化導(dǎo)入口

■安全檢測(cè)監(jiān)控技術(shù)

安全檢測(cè)監(jiān)控是安全管理工作的“眼睛和耳朵”，借助于儀器、儀表、傳感器等設(shè)備能夠迅速準(zhǔn)確地了解生產(chǎn)系統(tǒng)及作業(yè)環(huán)境中的危險(xiǎn)因素，及時(shí)采取控制措施來(lái)預(yù)防事故。為了對(duì)風(fēng)險(xiǎn)較大區(qū)域?qū)嵤┲攸c(diǎn)監(jiān)管，公司累計(jì)在各重點(diǎn)管控場(chǎng)所共安裝了近兩百部視頻監(jiān)控設(shè)備，做到對(duì)風(fēng)險(xiǎn)較大區(qū)域進(jìn)行24小時(shí)全方位可視化監(jiān)控，并在重點(diǎn)區(qū)域設(shè)置呼叫系統(tǒng)，發(fā)生異常時(shí)可直接在中央控制室對(duì)其區(qū)域進(jìn)行警示呼叫，確保重點(diǎn)區(qū)域安全管控。此外，為了進(jìn)一步加強(qiáng)風(fēng)險(xiǎn)監(jiān)控，公司在危險(xiǎn)化學(xué)藥品添加區(qū)域增加完善了泄漏報(bào)警裝置33個(gè),共同溝、儲(chǔ)水箱等各類密閉空間增加低氧報(bào)警裝置、溫度及濕度參數(shù)檢測(cè)儀器70個(gè)，對(duì)設(shè)備的濕度、溫度等安全參數(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，以保證出現(xiàn)異常情況時(shí)，能夠提前發(fā)現(xiàn)并及時(shí)進(jìn)行改善，將事故隱患消滅在萌芽階段。相關(guān)改善如下圖所示：

重點(diǎn)區(qū)域監(jiān)控

設(shè)備安全運(yùn)行風(fēng)險(xiǎn)監(jiān)控

■廢料自動(dòng)回收技術(shù)

手動(dòng)收集廢料

廢料自動(dòng)化收集

生產(chǎn)線很多設(shè)備會(huì)產(chǎn)生廢料，而廢料的收集過(guò)程往往也伴隨著事故風(fēng)險(xiǎn)。對(duì)于卷盤廢料的回收改進(jìn)，公司投入38萬(wàn)元，對(duì)生產(chǎn)線內(nèi)存表面貼裝線設(shè)備增加了128個(gè)能夠自動(dòng)對(duì)廢料帶進(jìn)行回收的裝置，改變了原來(lái)靠操作人員手工往下拽的落后作業(yè)方式，避免出現(xiàn)原先操作人員手動(dòng)拖拽盤卷帶而被卷帶鋒利的帶邊劃破手指的事故風(fēng)險(xiǎn)。通過(guò)實(shí)施該技術(shù)，進(jìn)一步提高了產(chǎn)線自動(dòng)化程度，減少勞動(dòng)作業(yè)強(qiáng)度和傷害事故的發(fā)生。（見左圖）

■結(jié)束語(yǔ)

發(fā)展是第一要?jiǎng)?wù)，安全是第一保障。安全生產(chǎn)離不開安全技術(shù)的創(chuàng)新和應(yīng)用，通過(guò)不斷地研發(fā)新的安全技術(shù)，逐漸實(shí)現(xiàn)設(shè)備設(shè)施的本質(zhì)安全化，能有效降低事故發(fā)生風(fēng)險(xiǎn)，提高企業(yè)安全管理水平。創(chuàng)新安全技術(shù)源于安全生產(chǎn)實(shí)踐，從實(shí)踐中來(lái)，到實(shí)踐中去，針對(duì)當(dāng)今新形勢(shì)下安全生產(chǎn)工作中出現(xiàn)的新情況、新問(wèn)題，及時(shí)轉(zhuǎn)變思想觀念，充分運(yùn)用現(xiàn)代化的新技術(shù)、新手段，努力在安全生產(chǎn)工作中上更上一層樓,使安全生產(chǎn)工作更加科學(xué)化、規(guī)范化、嚴(yán)格化，做到超前防范并防范于未然。三星電子（蘇州）半導(dǎo)體有限公司將一如既往，不斷創(chuàng)新和應(yīng)用新的安全技術(shù)，把安全生產(chǎn)納入企業(yè)發(fā)展改革的總體布局，使安全科技創(chuàng)新工作融入企業(yè)的整體技術(shù)創(chuàng)新工作之中，實(shí)現(xiàn)公司安全生產(chǎn)形勢(shì)長(zhǎng)期穩(wěn)定、健康有序的發(fā)展。