孫樹(shù)寶
“對(duì)于中國(guó)的光刻膠市場(chǎng),大約92%的產(chǎn)品來(lái)自國(guó)外,國(guó)內(nèi)的生產(chǎn)不足8%,我所努力的就是8%之外的光刻膠生產(chǎn)?!焙w博士孫遜運(yùn)說(shuō)。孫遜運(yùn)這樣說(shuō),也是這樣做的。光刻膠,又名光阻,是半導(dǎo)體芯片制造工業(yè)的核心材料,而芯片又是國(guó)防、航天、航行、信息、科研等多個(gè)領(lǐng)域在內(nèi)的關(guān)鍵技術(shù)。目前,國(guó)內(nèi)企業(yè)對(duì)于光刻膠的需求多數(shù)依賴進(jìn)口。為了打破國(guó)外對(duì)高端光刻膠的壟斷,2010年,先后獲得加拿大戴爾豪斯大學(xué)博士、美國(guó)密蘇里大學(xué)博士后的孫遜運(yùn),回到山東濰坊高新區(qū)創(chuàng)立了公司,致力于光刻膠的研發(fā)和生產(chǎn)。
在這之前,曾獲得美國(guó)國(guó)家科學(xué)基金企業(yè)創(chuàng)新研究獎(jiǎng)的孫遜運(yùn),長(zhǎng)期擔(dān)任美國(guó)一家知名科技公司資深科學(xué)家,并已獲得3項(xiàng)美國(guó)專利、1項(xiàng)日本專利和2項(xiàng)中國(guó)專利。光刻膠的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)要求極為嚴(yán)格,僅是對(duì)于生產(chǎn)操作間就必須要達(dá)到百級(jí)凈化標(biāo)準(zhǔn),特殊工序甚至要求達(dá)到十級(jí)凈化標(biāo)準(zhǔn),為了避免感光還要求在黃色光源下進(jìn)行。就是靠著這些嚴(yán)格的外在標(biāo)準(zhǔn)、細(xì)膩的思維和耐得住寂寞的潛心研究,孫遜運(yùn)博士和他的創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì),已申請(qǐng)注冊(cè)了高硅光刻膠的5項(xiàng)專利技術(shù)。這些專利是目前世界上唯一的高硅光刻膠技術(shù)。2013年6月,擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的光刻膠進(jìn)入量產(chǎn)階段,首批投產(chǎn)的30加侖光刻膠投放市場(chǎng),用于LED芯片的加工,這標(biāo)志著有5萬(wàn)片LED芯片內(nèi)有了中國(guó)“心”。