程建瑞，吳成功

(上海微高精密機(jī)械工程有限公司，上海201203)

為了合理利用資產(chǎn)資源，充分發(fā)揮光刻機(jī)的極限分辨率和產(chǎn)能，對(duì)現(xiàn)有的PAS掃描機(jī)與NSR步進(jìn)機(jī)進(jìn)行混合匹配生產(chǎn)，分別從混合匹配生產(chǎn)的可行性、匹配步驟、匹配精度控制、匹配校準(zhǔn)問題進(jìn)行分析研究，最終實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)要求的分辨率和匹配套刻精度。所選用匹配機(jī)型分別為PAS5500/700（以下簡(jiǎn)稱 A機(jī)）和 NSR2205i12（以下簡(jiǎn)稱N機(jī)）投影光刻機(jī)。其技術(shù)指標(biāo)見表1。

匹配加工所選用材料：

因?yàn)镺A = OB = 1,所以△OAB為等腰三角形.取AB中點(diǎn)M,連結(jié)OM,則OM為∠AOB的平分線,因此OM是鏡面的垂線.又OI是水平面的垂線,所以,OI與OM所成的角∠IOM即為鏡面與水平面所成的角.取BH中點(diǎn)N,連結(jié)MN,可知∠OMN = ∠IOM.

(1)晶圓片（Wafer）：4英寸砷化鎵、硅、碳化硅晶圓材質(zhì)。

對(duì)于更好的實(shí)施朋輩導(dǎo)師制度來(lái)說(shuō)，對(duì)導(dǎo)師的激勵(lì)機(jī)制尤為重要?？梢酝ㄟ^選擇合適的場(chǎng)合頒發(fā)導(dǎo)師聘用證書以增強(qiáng)其榮譽(yù)感;擇機(jī)向朋輩導(dǎo)師所在班級(jí)老師、輔導(dǎo)員和同學(xué)群體中公布導(dǎo)師聘用信息;定期舉辦朋輩導(dǎo)師工作論壇進(jìn)行經(jīng)驗(yàn)交流;利用自媒體、傳統(tǒng)媒體等渠道適度宣傳朋輩導(dǎo)師的業(yè)績(jī)和形象，以及適時(shí)評(píng)估和獎(jiǎng)勵(lì)導(dǎo)師的工作表現(xiàn)等，為順利開展激勵(lì)機(jī)制起到輔助作用。［4］

圖1 PAS5500/700投影掃描光刻機(jī)與NSR2205i12D投影光刻機(jī)

表1 匹配光刻機(jī)技術(shù)指標(biāo)

1 匹配基本步驟設(shè)計(jì)

匹配掩模版結(jié)構(gòu)示意圖見圖2、圖3。

圖2 A機(jī)掩模版結(jié)構(gòu)示意圖

匹配晶圓對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記見圖4、圖5、圖6。

根據(jù)不同的業(yè)務(wù)場(chǎng)景，建議將重大事件保障、遠(yuǎn)程控制優(yōu)先、本地控制優(yōu)先定義為三種不同的業(yè)務(wù)配置。對(duì)于重大事件保障類，由于時(shí)延要求低，需要使用上行?；畹姆绞焦ぷ?，如電氣參數(shù)上報(bào)（心跳）周期可調(diào)節(jié)到90秒；對(duì)于遠(yuǎn)程控制優(yōu)先類，電氣參數(shù)上報(bào)（心跳）周期可調(diào)節(jié)為30分鐘；對(duì)于本地控制優(yōu)先類，電氣參數(shù)上報(bào)（心跳）周期可調(diào)節(jié)為1小時(shí)一次。

LSA（Laser Step Alignment）對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，三線標(biāo)記寬度400 μm，要占據(jù)上層和本層圖形空白位置。

水墨動(dòng)畫出現(xiàn)是我國(guó)動(dòng)畫界對(duì)世界動(dòng)畫史的貢獻(xiàn)。中國(guó)雖然不是動(dòng)畫大國(guó)，也不像日本那樣是動(dòng)漫大國(guó)，但是在動(dòng)畫傳播到中國(guó)之后，中華民族的藝術(shù)傳統(tǒng)也同樣會(huì)給這種藝術(shù)添加豐富的內(nèi)容，凸顯中國(guó)傳統(tǒng)文化對(duì)這一世界性的藝術(shù)形態(tài)的影響。盡管水墨動(dòng)畫在發(fā)展過程中遭遇到很多困難，但是它帶有獨(dú)特文化傳統(tǒng)藝術(shù)形式所具有的頑強(qiáng)的生命力，曾經(jīng)的輝煌就證明這一結(jié)論是正確的，只有民族的，才是世界的。水墨動(dòng)畫憑借著悠久的傳統(tǒng)水墨發(fā)展的歷史，加之現(xiàn)在發(fā)達(dá)的科技水平和對(duì)外開放的文化環(huán)境，必然會(huì)有不可估量的發(fā)展空間。水墨動(dòng)畫是一種融合了傳統(tǒng)文化的年輕的藝術(shù)形式，正是因?yàn)樗哪贻p，才彰顯出巨大的生命力。

圖3 N機(jī)掩模版結(jié)構(gòu)示意圖

圖4 A機(jī)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記

圖5 N機(jī)LSA對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記

FIA（Field Image Alignment）對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，可以對(duì)準(zhǔn)位于劃線槽的傳遞標(biāo)記。FIA對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，寬度小于80 μm，可以放置在劃線槽中，或上層及本層圖形空白位置。

對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的對(duì)應(yīng)關(guān)系見圖7、圖8、圖9。

匹配策略：

嶠字挺生僻，蘇楠第一次見到。要不是對(duì)方自己念出來(lái)，蘇楠還不知道該怎么發(fā)這個(gè)音。李嶠汝也是鄭州的，教育報(bào)編輯。這報(bào)紙?zhí)K楠見過，老公是大學(xué)老師，有時(shí)候帶回來(lái)的書啊煙啊就用這報(bào)紙裹著。蘇楠從桌上取出自己的名片，做了交換。

N機(jī)每層曝光前對(duì)準(zhǔn)A機(jī)或自己制作的上一層傳遞標(biāo)記（layer to layer alignment）。

A機(jī)分辨率較高，用于加工關(guān)鍵層；N機(jī)分辨率較低，用于加工非關(guān)鍵層。

該地初次栽培香菇，已獲明顯的經(jīng)濟(jì)效益，但萬(wàn)家店村、王院村與納黑村仍均存在一定的管理不善問題。三地均存在后熟期長(zhǎng)的現(xiàn)象。納黑村因勞動(dòng)力缺乏出現(xiàn)了脫袋不及時(shí)，大量袋內(nèi)憋菇造成總產(chǎn)量、品質(zhì)降低，這是不完全了解品種特性，未合理安排菌棒接種，轉(zhuǎn)色時(shí)間造成。

圖6 N機(jī)FIA對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記

圖7 匹配套刻的對(duì)準(zhǔn)曝光示意圖

圖8 圖形曝光原理圖

圖9 曝光視場(chǎng)匹配關(guān)系：

產(chǎn)品最大曝光視場(chǎng)受參與匹配光刻機(jī)的最小視場(chǎng)限制，可以有兩種匹配模式：

（1）同心視場(chǎng)匹配：掃描機(jī)視場(chǎng)利用損失40%，但匹配規(guī)劃簡(jiǎn)單，鏡頭引起的各種誤差較小，匹配精度較高；

（2）不同心視場(chǎng)匹配：掃描機(jī)視場(chǎng)利用率可大于70%，允許一個(gè)掃描視場(chǎng)做兩次步進(jìn)曝光，但是導(dǎo)致場(chǎng)間套刻誤差問題，規(guī)劃復(fù)雜，吸引力不大。

匹配對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記布局見圖10、圖11。

圖10 N機(jī)標(biāo)記在一個(gè)視場(chǎng)內(nèi)位置（理論上可以任意放置）

2 匹配參數(shù)調(diào)整

匹配參數(shù)控制原