夏冬梅　龐宣明　陳曉南　李　博

摘要：提出了一種由電致動(dòng)聚合物材料(DE)驅(qū)動(dòng)的平面擴(kuò)散／收縮管無閥微泵，通過分析擴(kuò)散／收縮管的角度、長度、最小寬度等關(guān)鍵參數(shù)對微泵性能的影響，對無閥微泵的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了設(shè)計(jì)，基于UV-LIGA工藝，將DE泵膜和SU-8泵體鍵合制作了無閥微泵的模型，并對DE泵膜結(jié)構(gòu)進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究，確定了合理的結(jié)構(gòu)形式，實(shí)現(xiàn)了微泵的單向泵送，在3500V、8Hz直流正弦電壓的作用下，無閥微泵的流量最大，為21.2μL／min，并且結(jié)構(gòu)簡單、易于密封、成本低，實(shí)驗(yàn)結(jié)果對電致動(dòng)聚合物微泵進(jìn)一步的科學(xué)研究和實(shí)際應(yīng)用都具有較大的促進(jìn)作用。

關(guān)鍵詞：電致動(dòng)聚合物；微泵；結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

中圖分類號：TN4文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A文章編號：0253-987X(2009)07-0092-04