趙玉濤　何維鳳　李素敏　李長(zhǎng)生

摘要：綜述了目前制備柔性透明導(dǎo)電膜的主要技術(shù)及其優(yōu)缺點(diǎn)，柔性透明導(dǎo)電薄膜是在柔性襯底上沉積的一種透明導(dǎo)電膜，制備這種膜首要的問(wèn)題是選擇合適的襯底材料，其次就是選擇合適的制備技術(shù)，降低TCO膜的電阻率，提高可見光區(qū)的透射率，使薄膜性能穩(wěn)定，重復(fù)性好，成本低，達(dá)到實(shí)用要求，文中闡述了當(dāng)前該領(lǐng)域的研究現(xiàn)狀，并討論了工業(yè)應(yīng)用對(duì)柔性透明導(dǎo)電膜的性能要求及其未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)．

關(guān)鍵詞：透明導(dǎo)電；薄膜；柔性襯底；ITO；ZnO

中圖分類號(hào)：TN304

文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A

文章編號(hào)：1671—7775(2005)01—0062—05