1978 年夏天,舉世矚目的法國(guó)工業(yè)展覽會(huì)在巴黎隆重舉行。國(guó)務(wù)院決定讓清華大學(xué)徐端頤團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的第一臺(tái)光刻機(jī)參加展出。然而,作為中國(guó)首臺(tái)高端光刻機(jī)的研發(fā)者,徐端頤和同事們并沒有親自護(hù)送這臺(tái)光刻機(jī)遠(yuǎn)赴法國(guó)。這也導(dǎo)致中國(guó)光刻機(jī)在參展期間差點(diǎn)遭受不應(yīng)有的質(zhì)疑……
研發(fā)制造 一切都從零開始
1970年的一天深夜,北京突然來了一個(gè)緊急電話,命令徐端頤立即返回北京,有重要任務(wù)?;氐奖本┖?,徐端頤才知道,原來是要他負(fù)責(zé)研制國(guó)家半導(dǎo)體工業(yè)和國(guó)防工業(yè)急需的關(guān)鍵設(shè)備——自動(dòng)光刻機(jī)。于是,來自貴州的青年助教徐端頤臨危受命,承擔(dān)了重任。
清華大學(xué)為徐端頤配備了實(shí)力很強(qiáng)的研制隊(duì)伍。研制隊(duì)伍成員涵蓋全校5個(gè)系,人數(shù)多達(dá)數(shù)百人,是一次大規(guī)模的集團(tuán)作戰(zhàn)。
因?yàn)楣饪虣C(jī)的制造技術(shù)太復(fù)雜,難度太高,國(guó)際“巴黎統(tǒng)籌委員會(huì)”(巴統(tǒng))早就將其列為尖端技術(shù)產(chǎn)品,對(duì)華實(shí)行封鎖禁運(yùn)。此時(shí)的中國(guó)與外界隔絕,難以獲得外國(guó)相關(guān)資料。徐端頤率領(lǐng)其團(tuán)隊(duì)研制光刻機(jī),全部圖紙都是由自己設(shè)計(jì),全部零部件都是在自己的車間里加工制造,一切都是從零開始。在極其困難的條件下,經(jīng)過一年多的艱苦努力,徐端頤團(tuán)隊(duì)終于研制出中國(guó)的第一臺(tái)高端光刻機(jī),各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均達(dá)到了國(guó)際一流水平。
1978年3月,全國(guó)科學(xué)大會(huì)在北京召開。徐端頤在1971年主持研究完成的中國(guó)首臺(tái)高端自動(dòng)光刻機(jī),榮獲全國(guó)科學(xué)大會(huì)獎(jiǎng)。
一波三折
中國(guó)代表團(tuán)進(jìn)退維谷
1978年中國(guó)的第一臺(tái)高端光刻機(jī)在法國(guó)巴黎國(guó)際工業(yè)展覽會(huì)上閃亮登場(chǎng),引起了國(guó)際科學(xué)界的高度關(guān)注和極大興趣。這是因?yàn)?,高端光刻機(jī)的研發(fā)、制造難度實(shí)在太大,擁有這種技術(shù)和能力的國(guó)家寥寥無幾。中國(guó)在幾乎與世隔絕的環(huán)境中居然獨(dú)立自主地研發(fā)出世界一流的光刻機(jī),令人難以置信。
這個(gè)神秘的東方大國(guó),一定有許多獨(dú)到的、值得學(xué)習(xí)的東西。于是,渴望學(xué)習(xí)的各國(guó)科學(xué)家慕名而來,虛心地向中國(guó)科學(xué)家請(qǐng)教。然而,面對(duì)各國(guó)科學(xué)家的提問,負(fù)責(zé)解說的幾位中國(guó)科學(xué)家支支吾吾,答非所問,令人大失所望!
當(dāng)時(shí)代表中國(guó)前往巴黎,并在展覽會(huì)上擔(dān)任中國(guó)光刻機(jī)解說的這幾位干部和工程師,在各自領(lǐng)域中都是佼佼者。但是,他們對(duì)光刻機(jī)并不熟悉。面對(duì)各國(guó)科學(xué)家專業(yè)性極強(qiáng)的各種提問,負(fù)責(zé)解說的這幾位中國(guó)干部及專家難以回答,未免左支右絀,場(chǎng)面尷尬。
經(jīng)過幾番禮貌的不同層次的提問以后,目光犀利的世界一流的科學(xué)家們很快得出了結(jié)論:這幾位中國(guó)人對(duì)光刻機(jī)一竅不通。一群不懂光刻機(jī)的人怎么能造出世界頂級(jí)的高端光刻機(jī)?這就不能不讓人懷疑這臺(tái)中國(guó)光刻機(jī)的真實(shí)效能了!
如果這臺(tái)中國(guó)光刻機(jī)涉嫌造假,被媒體曝光,那將會(huì)成為本屆國(guó)際工業(yè)展覽會(huì)的最大丑聞。展覽會(huì)的主辦者找到中國(guó)代表團(tuán)負(fù)責(zé)人,善意地提出:請(qǐng)中國(guó)代表團(tuán)自己悄悄把光刻機(jī)從展臺(tái)上撤下來,裝箱運(yùn)走,卷鋪蓋走人算了……這是委婉地向中國(guó)代表團(tuán)下達(dá)了逐客令!
中國(guó)代表團(tuán)感到事態(tài)嚴(yán)重,只能火速將這一意外情況報(bào)告國(guó)內(nèi)高層領(lǐng)導(dǎo),請(qǐng)求指示,領(lǐng)導(dǎo)高層迅速采取了應(yīng)對(duì)措施。
笑傲群雄 代表團(tuán)載譽(yù)歸來
當(dāng)天夜里,徐端頤只身一人,登上了從北京飛往巴黎的飛機(jī)。徐端頤到達(dá)巴黎后,立即投入工作,在國(guó)際工業(yè)展覽會(huì)現(xiàn)場(chǎng)里,擔(dān)任中國(guó)自動(dòng)光刻機(jī)的講解員。徐端頤是中國(guó)清華大學(xué)首臺(tái)光刻機(jī)研發(fā)團(tuán)隊(duì)的領(lǐng)軍人物和設(shè)計(jì)者,對(duì)這臺(tái)光刻機(jī)的設(shè)計(jì)、制造中的每一個(gè)環(huán)節(jié)和每一個(gè)部件都了然于胸。他的英語(yǔ)特別好,根本不用翻譯人員,便直接在展覽會(huì)現(xiàn)場(chǎng)與觀眾進(jìn)行交流,回答了觀眾提出的各種問題。
人們這時(shí)才知道,中國(guó)的這臺(tái)光刻機(jī)里,有很多獨(dú)到的新發(fā)明、新技術(shù),擁有完全的知識(shí)產(chǎn)權(quán),足以笑傲群雄。人們也才真切地認(rèn)識(shí)到,中國(guó)科學(xué)家睿智勤奮,待人真誠(chéng),是值得信任、深交的朋友。
巴黎國(guó)際工業(yè)展覽會(huì)落下帷幕后,中國(guó)代表團(tuán)載譽(yù)歸來,皆大歡喜……
(摘自《文史天地》 章正遠(yuǎn)/文)