圖1 長(zhǎng)2 m、寬1 m、厚度30～40 mm硒化鋅板材

近期,中材人工晶體研究院(山東)有限公司(簡(jiǎn)稱晶體院山東公司)張福昌博士帶領(lǐng)的研發(fā)團(tuán)隊(duì)在大尺寸、大厚度化學(xué)氣相沉積硒化鋅(CVD ZnSe) 晶體生長(zhǎng)技術(shù)領(lǐng)域取得重要突破。該團(tuán)隊(duì)基于自主研發(fā)設(shè)計(jì)制造的CVD ZnSe大型生長(zhǎng)裝備,生長(zhǎng)出長(zhǎng)2 m、寬1 m、厚度30～40 mm且性能優(yōu)異的硒化鋅多晶材料,如圖1所示。CVD ZnSe不僅具有優(yōu)異的光學(xué)性能,包括極寬的透射波段(0.55～20 μm)、極佳的光學(xué)均勻性(折射率均勻性為ppm量級(jí))和極低的長(zhǎng)波吸收系數(shù)(低于5×10-4cm-1),還具有高溫下折射率變化小、良好的消色差和消相差的優(yōu)點(diǎn),是高分辨率的紅外預(yù)警相機(jī)及熱像儀的窗口、透鏡、分色片等光學(xué)元件的首選光學(xué)材料,也是大功率CO2激光器聚焦鏡的唯一可選材料。當(dāng)前國(guó)際市場(chǎng)上能夠穩(wěn)定量產(chǎn)CVD ZnSe的單位屈指可數(shù),國(guó)內(nèi)使用的大尺寸、大厚度產(chǎn)品基本需要從國(guó)外進(jìn)口。由于材料在應(yīng)用領(lǐng)域上的敏感性和復(fù)雜性,進(jìn)口材料不但手續(xù)繁多,價(jià)格昂貴,而且隨時(shí)面臨被禁的風(fēng)險(xiǎn)。因此,我們亟待解決紅外透鏡材料國(guó)產(chǎn)化,從根本上破解高端工程研制受制于人的被動(dòng)局面。

CVD ZnSe制備工藝的控制參數(shù)非常多,影響生長(zhǎng)結(jié)果的因素復(fù)雜、安全風(fēng)險(xiǎn)大,制備困難非常大。首先,原料氣體硒化氫(H2Se)在很低的溫度(160 ℃)即開始發(fā)生可逆分解,分解物硒極易與鋅發(fā)生劇烈反應(yīng)而無(wú)法實(shí)現(xiàn)大面積材料的均勻生長(zhǎng),同時(shí)生成材料的晶粒尺寸太大而顯著降低材料光學(xué)和力學(xué)性能。其次,發(fā)生反應(yīng)的原料空間濃度必須控制到一定的合理范圍內(nèi)。空間濃度的均勻性主要是由原料氣體在特定壓力場(chǎng)、溫度場(chǎng)和重力場(chǎng)共同作用下形成,任何微小的壓力波動(dòng)或者原料氣體流速的改變都會(huì)造成沉積室內(nèi)反應(yīng)氣體流型的改變,如果局部空間濃度過(guò)大就會(huì)發(fā)生原料反應(yīng)的空間形核,最終導(dǎo)致粉狀硒化鋅的生成,造成材料夾雜。更大的問題還有,隨著沉積時(shí)間的增加,處于高溫環(huán)境中的進(jìn)氣口位置也發(fā)生材料的沉積生長(zhǎng),從而形成同質(zhì)噴嘴。噴嘴的發(fā)育形狀和長(zhǎng)度也隨著沉積時(shí)間增加發(fā)生動(dòng)態(tài)變化生長(zhǎng),這一過(guò)程更加劇了反應(yīng)室內(nèi)氣體流型的變化和反應(yīng)物空間局部濃度的快速變化,給材料穩(wěn)定生長(zhǎng)帶來(lái)極大阻力。另外,沉積主氣路系統(tǒng)反應(yīng)多余原料凝結(jié)形成的粉末堵塞、大宗危險(xiǎn)性原料氣體的安全使用、技術(shù)開發(fā)的高額成本等工程問題都給大尺寸、大厚度CVD ZnSe材料的技術(shù)開發(fā)帶來(lái)重重困難。

晶體院山東公司在國(guó)家級(jí)“XX關(guān)鍵材料科研項(xiàng)目”的資助下,重點(diǎn)研究大尺寸、大厚度CVD ZnSe 晶體生長(zhǎng)技術(shù)。研究團(tuán)隊(duì)本著“一代裝備、一代產(chǎn)品”的研發(fā)理念,首先突破了大型CVD ZnSe生長(zhǎng)裝備的自主研發(fā),其次克服眾多工藝上的技術(shù)難題,成功生長(zhǎng)出長(zhǎng)2 m、寬1 m、厚度30～40 mm CVD ZnSe 晶體,且材料質(zhì)量?jī)?yōu)異。此項(xiàng)突破,不僅為國(guó)家“卡脖子”重要先進(jìn)材料的需求提供了堅(jiān)實(shí)的保障,也為晶體院山東公司的硒化鋅產(chǎn)業(yè)化打下了堅(jiān)實(shí)的技術(shù)基礎(chǔ)。