該成果為一種能夠產(chǎn)生單一離子能量的，同時(shí)發(fā)散角可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行調(diào)節(jié)，且在發(fā)散角內(nèi)離子束流密度均勻一致的離子源。主要包括：放電室、離子束引出柵、聚焦磁場(chǎng)、離子能量選擇器、能量調(diào)節(jié)電磁場(chǎng)、掃描磁場(chǎng)、驅(qū)動(dòng)電路及控制系統(tǒng)等。

性能指標(biāo)特點(diǎn)突出，輸出束流：大于100 mA；功耗：<500 W；離子束發(fā)散角：0～180°可調(diào)；輸出能量：20～2 000 eV可調(diào)；能量一致性精度：1%；離子束流均勻性：1%；無(wú)故障工作時(shí)間大于10 000 h。離子源輸出的離子束發(fā)散角可達(dá)180°；離子輸出能量單一性好；離子束流密度的均勻性好。主要應(yīng)用于光學(xué)薄膜制造及材料研究領(lǐng)域。