趙玉康 , 畢文波,2 , 葛培琪,2

(1. 山東大學(xué) 機(jī)械工程學(xué)院, 濟(jì)南250061) (2. 山東大學(xué), 高效潔凈機(jī)械制造教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室, 濟(jì)南 250061)

電鍍金剛石線鋸因其具有加工效率高、切縫小等優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)成為晶體硅、藍(lán)寶石、單晶碳化硅、陶瓷等硬脆性材料切片加工的主要工具[1-2]。金剛石線鋸表面磨粒分布密度直接影響其切片加工性能，是金剛石線鋸質(zhì)量檢驗(yàn)的主要指標(biāo)[3]。為保證切片質(zhì)量和切片效率需對這一指標(biāo)進(jìn)行嚴(yán)格檢測。

現(xiàn)有的金剛石線鋸表面質(zhì)量檢測方法大致可分為人工離線檢測和基于機(jī)器視覺的在線檢測2種方法，但目前均沒有統(tǒng)一的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。人工離線檢測需要借助顯微鏡等拍攝金剛石線鋸表面圖像并經(jīng)過人工分析來對金剛石線鋸表面的質(zhì)量做出評價(jià)，這種方法通常檢測效率較低且無法對金剛石線鋸表面質(zhì)量進(jìn)行定量分析；基于機(jī)器視覺的在線檢測方法通過計(jì)算機(jī)分析金剛石線鋸的表面圖像，進(jìn)而得到金剛石線鋸表面質(zhì)量評價(jià)指標(biāo)，該檢測方法在提高檢測效率的同時(shí)可有效降低檢測成本。ZHENG等[4-6]利用單臺相機(jī)采集的金剛石線鋸半個(gè)圓柱表面圖像(以下簡稱“半表面圖像”)進(jìn)行金剛石線鋸表面磨粒分布密度的視覺檢測，獲得了較高的檢測精度。然而，如圖1所示，由于半表面圖像中出現(xiàn)的磨粒往往包含有金剛石線鋸半個(gè)圓柱表面外的磨粒，因此在利用半表面圖像進(jìn)行磨粒密度檢測時(shí)，將檢測到的磨粒數(shù)量的2倍值作為金剛石線鋸全表面上的磨粒數(shù)值，其檢測結(jié)果與實(shí)際磨粒數(shù)量相比會存在較大偏差。

利用金剛石線鋸全圓柱表面圖像(以下簡稱“全表面圖像”)進(jìn)行磨粒分布密度檢測，可有效避免半表面圖像磨粒分布密度檢測時(shí)存在的理論偏差。圖像拼接是獲取全表面圖像的可行性方法[7]，且已應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域。WANG等[8]基于SIFT算法對醫(yī)學(xué)顯微圖像進(jìn)行了拼接，高盛豐等[9]基于顏色不變量及SURF算法對彩色圖像進(jìn)行了拼接。在以圓柱表面圖像為拼接對象時(shí)，通常需要對圓柱表面圖像進(jìn)行展開，以恢復(fù)其成像過程中缺失的信息，如孫衛(wèi)紅等[10]基于等效階梯柱面對蠶繭表面圖像展開。

針對金剛石線鋸圓柱形表面，利用4臺CCD相機(jī)從不同角度采集金剛石線鋸半表面圖像，并基于柱面模型展開圖像，通過圖像拼接獲取全表面圖像；對全表面圖像進(jìn)行金剛石線鋸表面磨粒分布密度檢測，以期有效避免單相機(jī)磨粒分布密度檢測時(shí)存在的理論偏差，提高電鍍金剛石線鋸磨粒分布密度的在線檢測精度。

1 金剛石線鋸表面圖像采集設(shè)備及條件

圖2為金剛石線鋸表面圖像視覺檢測平臺。

如圖2所示：金剛石線鋸表面圖像視覺檢測平臺主要由光源、4臺CCD相機(jī)、遠(yuǎn)心鏡頭等構(gòu)成?；诒粰z測的金剛石線鋸表面磨粒粒徑，綜合考慮成像速度和硬件成本，選取設(shè)備參數(shù)如下： CCD相機(jī)的感光元件為720行、540列排列，感光元件中的每個(gè)像元的尺寸為6.9 μm×6.9 μm，最高拍攝速度為291次/s；遠(yuǎn)心鏡頭的放大倍率為4；系統(tǒng)光源類型為LED點(diǎn)光源。CCD相機(jī)安裝在微動平臺上，通過機(jī)械定位保證4臺CCD相機(jī)光軸處于同一平面，且此平面與金剛石線鋸軸線垂直。4臺CCD相機(jī)間隔90°均勻分布，通過微動平臺調(diào)整相機(jī)鏡頭與金剛石線鋸表面的距離，使磨粒清晰成像。系統(tǒng)照明采用低角度光前向照明的光源布置方式。

2 線鋸表面圖像采集、展開、預(yù)處理及拼接

2.1 圖像采集

在圖像采集過程中，隨機(jī)選取5段某品牌包絡(luò)外徑為160 μm的電鍍金剛石線鋸，在每一段上隨機(jī)選取1個(gè)樣本點(diǎn)，共5個(gè)樣本點(diǎn)，分別命名為1～5，通過圖2平臺獲取每個(gè)樣本點(diǎn)不同角度的4幅金剛石線鋸半表面圖像。

2.2 圖像展開

因金剛石線鋸表面為圓柱面，其通過成像系統(tǒng)投射至CCD相機(jī)的成像平面時(shí)會產(chǎn)生部分信息缺失，如圖3所示。圖3中：磨粒1和磨粒2在投影平面會重疊成1個(gè)磨粒，從而造成金剛石線鋸表面的磨粒信息缺失。

圖4為金剛石線鋸表面圖像處理過程。為從圖像中獲得更全面的金剛石線鋸表面磨粒信息，需對金剛石線鋸半表面圖像進(jìn)行展開，圖4中包含了半表面圖像展開結(jié)果。

方法是將金剛石線鋸半表面圖像通過柱面模型展開，并用線性插值補(bǔ)全圖像中缺失的信息。其過程為：首先，利用Hough變換[11]檢測圖像中金剛石線鋸位置和直徑(圖4a)；然后對圖像中的每列像素按照柱面展開重新確定坐標(biāo)(圖4b)；最后利用線性插值對展開后圖像中的缺失像素進(jìn)行插補(bǔ)(圖4c)。

2.3 圖像預(yù)處理

圖像預(yù)處理的主要目的是減少金剛石線鋸表面圖像中的無關(guān)信息，增強(qiáng)有用信息的可檢測性，同時(shí)簡化數(shù)據(jù)，提升特征提取、圖像拼接的可靠性。預(yù)處理方法是：通過高斯濾波[12]濾除金剛石線鋸表面圖像中的噪聲并保留磨粒的邊緣信息；采用Otsu算法[13]對金剛石線鋸表面圖像進(jìn)行全局自適應(yīng)二值化分割，分割效果如圖4d所示；利用形態(tài)學(xué)的開運(yùn)算去除圖像中的噪點(diǎn)，其結(jié)構(gòu)元素尺寸根據(jù)金剛石線鋸二值化圖像中的最小磨粒粒徑設(shè)置，處理效果見圖4e。

2.4 圖像拼接

圖像配準(zhǔn)是圖像拼接中必不可少的步驟，主要分為基于特征點(diǎn)的圖像配準(zhǔn)和基于特征區(qū)域的圖像配準(zhǔn)[14-15]。由于4臺相機(jī)間隔90°分布，相鄰相機(jī)所采集的金剛石線鋸表面圖像之間存在著重合區(qū)域。當(dāng)金剛石線鋸表面上的某一個(gè)磨粒同時(shí)出現(xiàn)在相鄰2臺CCD相機(jī)所采集的圖像中時(shí)，其在2幅圖像中的映射關(guān)系就可以隨之確定，因此以磨粒重心為特征點(diǎn)可以保證圖像平移模型的準(zhǔn)確性。

金剛石線鋸表面圖像拼接流程如圖5所示。基于連通域查找方法[16]提取金剛石線鋸表面圖像中的特征點(diǎn)，圖6為特征點(diǎn)匹配及篩選結(jié)果。如圖6a所示：利用同一磨粒在相鄰圖像中的映射關(guān)系來設(shè)置搜索區(qū)域，進(jìn)而得到匹配特征點(diǎn)對，并以直線連接。以1對匹配點(diǎn)對求解平移模型，其余匹配點(diǎn)對驗(yàn)證模型的正確性，實(shí)現(xiàn)對匹配點(diǎn)對的篩選，如圖6b所示，篩選出不同CCD相機(jī)所采集圖像間的正確匹配特征點(diǎn)對。用篩選出的特征點(diǎn)對由最小二乘擬合求解出金剛石線鋸表面圖像平移模型中的未知參數(shù)；再用圖像平移模型參數(shù)得到單幅圖像中像素與拼接圖像中像素之間的映射關(guān)系，基于此像素映射關(guān)系對金剛石線鋸表面的圖像重采樣后，得到初步拼接圖像。

圖7為金剛石線鋸圖像拼接結(jié)果。圖7a為初步拼接的金剛石線鋸圖像。由于圖像左右兩側(cè)未進(jìn)行圖像信息融合，所以圖像兩側(cè)存在著部分重合區(qū)域。以重合區(qū)域的中心線為基準(zhǔn)，檢測中心線穿過的所有磨粒，并根據(jù)磨粒與中心線的相對位置關(guān)系得到重合區(qū)域的去除邊界；圖7b為金剛石線鋸圖像中重合區(qū)域去除邊界查找結(jié)果；圖7c為金剛石線鋸全表面圖像最終結(jié)果。

(a)特征點(diǎn)匹配(b)特征點(diǎn)篩選Feature point matchingFeature point screening 圖6 特征點(diǎn)匹配及篩選結(jié)果Fig. 6 Matching and screening results of feature points

(a)包含重合區(qū)(b)去除邊界(c)最終結(jié)果Including coincidence areaBoundary removalFinal result圖7 金剛石線鋸圖像拼接結(jié)果Fig. 7 Image mosaic results of diamond wire saw

3 線鋸表面磨粒分布密度檢測結(jié)果及分析

基于金剛石線鋸表面的拼接圖像進(jìn)行磨粒分布密度檢測試驗(yàn)，所用計(jì)算機(jī)硬軟件環(huán)境是CPU為Inter core i5-7400(3.00 GHz)，內(nèi)存為12 GB，軟件平臺為MATLAB 2016b。檢測對象為某品牌的160 μm線徑金剛石線鋸。

圖8為金剛石線鋸表面磨粒分布密度檢測過程。表 1為磨粒分布密度檢測結(jié)果對比?；趫D8a中的拼接圖像，通過連通域查找得到圖8b中的磨粒數(shù)量，并在1.1 mm的取樣長度內(nèi)對金剛石線鋸圓柱表面上的磨粒分布密度進(jìn)行檢測，得到表1中的全表面圖像磨粒分布密度檢測值。同時(shí)，隨機(jī)選取1臺CCD相機(jī)采集的金剛石線鋸樣本點(diǎn)的半表面圖像，對其磨粒分布密度進(jìn)行檢測，再乘以2得到表1中的半表面圖像磨粒分布密度檢測值；利用ISM-PM200SB數(shù)碼顯微鏡對金剛石線鋸樣本點(diǎn)的磨粒數(shù)量進(jìn)行人工檢測，為降低人為檢測誤差，取多人對同一樣本點(diǎn)檢測結(jié)果的平均值為最終結(jié)果，進(jìn)而得到磨粒分布密度人工檢測值。

(a)拼接圖像(b)磨粒數(shù)量檢測Image mosaicDetection of abrasive particle quantity 圖8 金剛石線鋸表面磨粒分布密度檢測過程Fig. 8 Detection of distribution density of abrasive particles on diamond wire saw

表1的結(jié)果表明：與人工檢測結(jié)果相對照，基于電鍍金剛石線鋸的半表面圖像磨粒分布密度檢測的最大相對誤差為35.2%，磨粒分布密度平均值的相對誤差為19.0%；而全表面圖像磨粒分布密度檢測的最大相對誤差為5.6%，磨粒分布密度平均值的相對誤差為1.7%，分別比半表面圖像的最大相對誤差和平均值相對誤差下降了29.6%和17.3%。說明基于金剛石線鋸全表面圖像進(jìn)行磨粒分布密度檢測，可有效避免基于半表面圖像進(jìn)行磨粒分布密度檢測時(shí)存在的理論偏差，進(jìn)而有效提升金剛石線鋸表面磨粒分布密度的檢測精度。

表 1 磨粒分布密度檢測結(jié)果對比

4 結(jié)論

以磨粒在圖像中的重心為特征點(diǎn)，通過圖像展開、圖像預(yù)處理、圖像配準(zhǔn)、圖像重采樣等方法，實(shí)現(xiàn)了對金剛石線鋸半圓柱表面圖像的拼接，得到了金剛石線鋸全圓柱表面圖像。

基于金剛石線鋸全圓柱表面圖像，提取了1.1 mm取樣長度內(nèi)的金剛石磨粒數(shù)，得到了金剛石線鋸表面的磨粒分布密度。與基于金剛石線鋸半圓柱表面圖像的磨粒分布密度檢測結(jié)果相比，全表面圖像的最大相對誤差下降了29.6%，平均值相對誤差下降了17.3%，其檢測精度得到了有效提升。