陳俊杰

（中國(guó)電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司，江蘇無(wú)錫 214000）

0 前言

隨著新技術(shù)電子設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈的快速發(fā)展，清潔度要求高的新建電子設(shè)備工廠正在增加。為了保證大型潔凈室生產(chǎn)線的氣體潔凈度，有必要建立一個(gè)潔凈的中央空調(diào)排氣系統(tǒng)。通常，施工期非常緊湊，并且還存在綜合工程費(fèi)用、施工技術(shù)難度系數(shù)和其他要素危害。廣泛使用奇石作為鏡板孔固定模具，使用鏡筒（無(wú)法通過(guò)公式計(jì)算），鏡筒部分保留在鏡板結(jié)構(gòu)中。通過(guò)一個(gè)具體的工程案例來(lái)說(shuō)明混凝土樓板結(jié)構(gòu)在整個(gè)施工過(guò)程中的平整度、中心線和設(shè)計(jì)標(biāo)高控制、建筑鋼筋安裝、混凝土澆筑和其他加工技術(shù)的操作，解決了工程施工困難并取得了好的結(jié)果。

1 背景技術(shù)

大中型半導(dǎo)體材料凈化車(chē)間需要根據(jù)其獨(dú)特的生產(chǎn)工藝流程規(guī)定創(chuàng)建更高級(jí)別的凈化室。類(lèi)似于此類(lèi)高級(jí)凈化車(chē)間，所有人都設(shè)置了亞清潔區(qū)域，以促進(jìn)潔凈室中帶有顆粒的旋風(fēng)分離器通過(guò)高架地板或混凝土地板進(jìn)入亞清潔區(qū)域，然后將旋風(fēng)分離器送入亞清潔區(qū)域[1]。根據(jù)機(jī)械設(shè)備將清潔區(qū)域清潔到凈化區(qū)域。房間天花板上的過(guò)濾器再次過(guò)濾出干凈穩(wěn)定的旋風(fēng)，這形成了一個(gè)循環(huán)，促使?jié)崈羰业幕炷恋匕辶粲凶銐虻牧芽p以實(shí)現(xiàn)自然通風(fēng)。

2 項(xiàng)目概述

福建金華集成電路芯片有限公司存儲(chǔ)生產(chǎn)線項(xiàng)目的建設(shè)位于晉江開(kāi)發(fā)區(qū)擴(kuò)建區(qū)北部的福建集成電路芯片產(chǎn)業(yè)基地，東鄰新塘中丹，北部是15路，西部是智能制造。陵里路以南的大鹿，是中國(guó)多年來(lái)第一家擁有獨(dú)立產(chǎn)權(quán)的DRAM集成電路芯片工廠。建筑面積471968m，土地面積238553m2。該工廠主要用于生產(chǎn)12英寸晶圓。工業(yè)廠房生產(chǎn)車(chē)間區(qū)域的主要生產(chǎn)和制造是地下1層，地面4層；底板結(jié)構(gòu)的第三層是倒置的桶形華夫格板，它是由SMC玻璃纖維增強(qiáng)塑料防霉模殼制成的，作為非拆卸模板的混凝土澆筑而成。華夫格板總面積為38930m2，模具外殼應(yīng)用總數(shù)達(dá)到16954組，玻璃鋼防腐模具外殼平板電腦的總面積為13225m2。SMC模具外殼華夫板地板，該項(xiàng)目的SMC模具外殼規(guī)格為1200mm×1200mm×995mm，厚度公差為1mm的SMC模具殼預(yù)制件。

3 原料特性

SMC模殼的原材料為玻璃纖維材料（主要材料），是由鋁在140～160C壓鑄而成，屬于熱固性增強(qiáng)復(fù)合材料生成的原材料。SMC模具外殼分為兩部分：原材料和輔助資產(chǎn)。輔助資產(chǎn)包括不飽和脂肪醇酸樹(shù)脂、低收縮環(huán)氧樹(shù)脂、填料、玻璃纖維、密封固化劑、緩凝劑、金屬催化劑、內(nèi)部脫模劑。SMC模殼的特點(diǎn)是：①采用自動(dòng)機(jī)械制造，成型時(shí)間短；②可分批生產(chǎn)，產(chǎn)品可重復(fù)生產(chǎn)，規(guī)格精度高；③整體成型，無(wú)須電焊，外觀復(fù)雜；④材料無(wú)腐蝕，耐熱，高抗壓強(qiáng)度，耐工作電壓，阻燃，抗菌，防腐，防潮；⑤可以在纖維材料中添加導(dǎo)電劑，使產(chǎn)品具有導(dǎo)電性；⑥表面光滑清潔，無(wú)須添加噴涂漆，無(wú)掉漆問(wèn)題。

4 施工技術(shù)

4.1 施工方案

此新項(xiàng)目的SMC模具殼是在中國(guó)臺(tái)灣的加工廠生產(chǎn)的。選擇逆向工程，即在地下一樓施工后逐步建造鋼框架結(jié)構(gòu)和平屋頂層，然后再進(jìn)行三層華夫餅項(xiàng)目的施工。在華夫餅項(xiàng)目的建設(shè)過(guò)程中，一層混凝土樓板預(yù)先嵌入一條可提升的安全通道，然后使用車(chē)輛類(lèi)型的提升設(shè)備將諸如SMC模板之類(lèi)的原材料提升到第三層。

4.2 施工過(guò)程

SMC模板華夫板的構(gòu)建過(guò)程：①搭建固定支架主體；②鋪設(shè)下部主龍骨185鋁梁；③鋪設(shè)上部龍骨150鋁梁；④鋪設(shè)輔助主龍骨建筑木方；⑤鋪設(shè)服務(wù)平臺(tái)模板；⑥免費(fèi)安裝SMC模板；⑦鋼筋連接h鑄件地混凝土[2]。同時(shí)，架設(shè)模板工程框架，為了達(dá)到2mm/1m的平整度要求，引入了60法式圓盤(pán)扣無(wú)縫鋼管模板支撐系統(tǒng)，支撐設(shè)施以輕型鋁梁作為吊頂龍骨，建筑木料為天花板次龍骨。管理系統(tǒng)的安全系數(shù)高，易于構(gòu)建和拆卸。

4.3 攤鋪平臺(tái)模板

服務(wù)平臺(tái)模板需要使用15mm厚的雙層/單層子膜模板，以確保模板的平整度。不允許使用毛刺，擴(kuò)展和收縮模板。注意攤鋪服務(wù)平臺(tái)的模板：①模板表面的平整度應(yīng)達(dá)到2mm/1m的要求；②模板安裝縫的兩端應(yīng)對(duì)齊，不平整，整體高度差≤3mm；③模板攤鋪安裝后，再次用激光水平儀測(cè)量維修平臺(tái)板的平整度，并用1m水平尺和楔形塞尺重新測(cè)量模板的平整度。只有達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)后，它才能進(jìn)入下一個(gè)過(guò)程。

4.4 模殼攤鋪卸料線精確定位每組模殼位置，然后開(kāi)始攤鋪

首先將平板電腦鋪在模塊室中，然后在中間區(qū)域安裝華夫格板，并嚴(yán)格按照周?chē)膮⒖键c(diǎn)進(jìn)行鋪路。完成模塊的鋪裝后，檢查現(xiàn)場(chǎng)華夫格模板的邊緣是否與中心線一致。如果存在差異，請(qǐng)檢查周?chē)闹行木€，清除相鄰模塊中的差異，并且不要總計(jì)差異。注意異形模具殼之間的區(qū)別，在生產(chǎn)和加工過(guò)程中要單獨(dú)列出它們，以確保加工精度，并防止在布局過(guò)程中與周?chē)念A(yù)制組件發(fā)生沖突[3]。

將SMC模板布置在后蓋上，擰緊ABS背板，以防止模板在施工的中后期發(fā)生變形。運(yùn)輸前，SMC模板應(yīng)在模板的底桶內(nèi)用建筑木材和模板進(jìn)行加固，以免SMC模板在整個(gè)運(yùn)輸和安裝過(guò)程中變形。SMC模具殼和平板電腦通過(guò)自攻螺釘連接，每側(cè)固定在2～6個(gè)點(diǎn)上。SMC模具殼之間的間隙填充有密封膠；異形板，墻和柱的接縫處用透明膠帶密封。密封膠必須干燥1h，在此期間，應(yīng)防止人員爬行?，F(xiàn)場(chǎng)設(shè)置SMC模殼自動(dòng)切割機(jī)，用于異型模殼的封閉或修理。

4.5 鋼筋捆扎

連接梁和鋼筋時(shí)，由于室內(nèi)空間太小，必須將建筑鋼筋捆扎成空框架。在一個(gè)方向上完成所有梁的綁扎之后，將連接其他方位角梁的鋼筋[4]。順序是放置主鋼筋→放下熨斗和扎帶，固定放到熨斗上，扎緊并固定?；炷凉こ淌┕?，采用膨脹增強(qiáng)帶的方法依次澆筑混凝土，以免出現(xiàn)裂縫。地面平整混凝土澆筑的另一種地面平整方法是使用1m刮板將圓柱口平整，然后使用木制刮板將漿打漿以除去表面的石頭，并對(duì)機(jī)械設(shè)備進(jìn)行磨光和嵌入，以免磨損，約3mm厚。當(dāng)受光混凝土達(dá)到臨界值的初始設(shè)置時(shí)（足部劃痕的深度約為5mm），機(jī)械設(shè)備點(diǎn)亮，手動(dòng)收集光線。混凝土表面的平整度規(guī)定為2mm/1m。可以在拋光后4～6h進(jìn)行維護(hù)的人員，在中國(guó)貿(mào)易丈夫板上進(jìn)行灑水和亞膜的維護(hù)，維護(hù)時(shí)間≥14d。澆筑混凝土?xí)r的常見(jiàn)問(wèn)題：①澆筑混凝土之前，請(qǐng)確保ABS背板關(guān)閉且透明膠帶未損壞。如果發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，請(qǐng)立即修理；②不要長(zhǎng)時(shí)間指向混凝土澆筑，否則很容易造成過(guò)大的荷載，SMC模板會(huì)移動(dòng)或模制。外殼相互連接并斷裂，底部有一個(gè)混凝土縫隙；③從內(nèi)到外依次進(jìn)行施工，以確保有效的結(jié)構(gòu)承載力，防止施工負(fù)荷過(guò)分集中，并保證固定支架的承載力平衡。混凝土澆筑從中間散布到周?chē)?/p>

4.6 拆卸固定支架的模板

在混凝土強(qiáng)度達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)后，移開(kāi)模具。拆卸模板工程框架時(shí)，應(yīng)遵循“先支撐后拆除，先支撐后支撐”的原則[5]。首先拆卸非裝載部分位置，然后卸下“裝載位置”標(biāo)準(zhǔn)。取下鋼管腳手架和建筑木模板后，取下華夫格表面的保護(hù)膜，取下SMC模殼桶中的結(jié)構(gòu)加固模板，并填充華夫格與平板電腦之間的間隙以及用于潔凈室的專(zhuān)用密封膠。在潔凈室中使用專(zhuān)用密封劑填充異形板，墻壁和立柱之間的連接。質(zhì)量管理的四個(gè)關(guān)鍵點(diǎn)華夫格模板在整個(gè)施工過(guò)程中的變形小于3mm；模板上端的四個(gè)圓孔蓋的安裝平面度小于3mm；華夫格板已安裝，時(shí)間圈孔的軸線之間的差小于5mm；當(dāng)安裝了華夫格板時(shí)，控制線之間的差應(yīng)小于2mm。承重梁的鋼筋不能直接接觸華夫格板，特別是在圓孔上；在安裝和捆扎建筑鋼筋的整個(gè)過(guò)程中，不要碰到華夫板，這將導(dǎo)致華夫板移動(dòng)并損壞。澆筑混凝土?xí)r，禁止立即沖擊華夫格板上的圓孔；在振動(dòng)混凝土?xí)r，禁止振動(dòng)棒接觸華夫板。SMC膜殼項(xiàng)目的施工設(shè)計(jì)標(biāo)高和平面度符合數(shù)據(jù)加密基準(zhǔn)點(diǎn)和“四步測(cè)量方法”標(biāo)準(zhǔn)，即在模板工程框架的頂部，服務(wù)的模板表面平臺(tái)，建筑鋼筋的頂部，光亮的混凝土表面等。對(duì)零件的設(shè)計(jì)高低和平面度進(jìn)行精確測(cè)量。

5 結(jié)論

凈化車(chē)間的機(jī)械設(shè)備通常較重，并且都具有抗微振動(dòng)的規(guī)定，這為凈化室提供獨(dú)特的設(shè)計(jì)方案。在此階段，新技術(shù)工廠的潔凈室的混凝土樓板通常稱(chēng)為方梁華夫格板。將免拆卸倒桶式華夫格管理系統(tǒng)與可卸式模板工程施工方法的傳統(tǒng)施工方法進(jìn)行比較，減少模板的拆卸過(guò)程，縮短了施工周期，降低了施工難度系數(shù)。