微電子器件(簡稱“微器件”)“潛伏”在人們?nèi)粘I钪?,比如一部普通手機的CPU(中央處理器)里有多達百億個晶體管(微器件的一種)。中科院上海技術(shù)物理研究所研究員王建祿等人,通過新型制備方法,能按需定制微器件,有望加速未來的新型半導(dǎo)體材料的應(yīng)用。相關(guān)成果于近期在線發(fā)表于國際期刊《自然·電子學(xué)》上。
傳統(tǒng)的半導(dǎo)體微器件工藝過程十分繁瑣復(fù)雜。例如,要通過幾百道甚至上千道的工藝,才能獲得常用的計算機芯片,研究團隊探索的是:如何以簡單的工藝,按需定制微器件。
可以這么描述他們的制備方法:用“納米畫筆”在“畫布”上畫出微器件。這里的“納米畫筆”指的是納米尺度的針尖?!爱嫴肌眲t是一種特殊的納米薄膜——鐵電薄膜。
王建祿指出,這種制備方法適用于幾乎所有的半導(dǎo)體薄膜材料,但由于傳統(tǒng)材料的制備工藝已相對成熟,新方法更適用于未來新型低維半導(dǎo)體材料的應(yīng)用上。