邱海斌

（沈陽廣播電視大學(xué)，遼寧 沈陽 110003）

0 引言

目前，我國(guó)科學(xué)技術(shù)得到較好發(fā)展，晶圓表面平整度已達(dá)到納米級(jí)加工精度，但是傳統(tǒng)平坦化技術(shù)屬于局部平坦化工藝，很難實(shí)現(xiàn)全局平坦化。其中CMP能夠有效實(shí)現(xiàn)全局平坦化的一種技術(shù)，并且工藝控制可有效滿足加工要求。但是，隨著CMP 硬件與軟件系統(tǒng)相對(duì)較為復(fù)雜，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用過程中，用戶對(duì)CMP 系統(tǒng)提出了個(gè)性化要求，這就需要提升系統(tǒng)軟件控制程序的靈活性與復(fù)用性，所以需要將MVC 應(yīng)用在CMP 軟件系統(tǒng)中，能夠提高系統(tǒng)維護(hù)性與復(fù)用性，為CMP 軟件模塊開發(fā)質(zhì)量的提升奠定良好的基礎(chǔ)。

1 MVC 架構(gòu)原理

1.1 MVC 架構(gòu)

MVC 構(gòu)架在進(jìn)行代碼組織的過程中，需要通過截面顯示、數(shù)據(jù)以及業(yè)務(wù)邏輯分離方法來完成。MVC 架構(gòu)會(huì)使程序輸入、輸出以及處理分開，以此使應(yīng)用程序分為不同核心部件，也就是視圖、模型以及控制器，其中M 主要是業(yè)務(wù)數(shù)據(jù)，V 主要是視圖，C 是控制器，不同核心部件在運(yùn)行期間會(huì)對(duì)各自業(yè)務(wù)進(jìn)行處理，彼此相互獨(dú)立，以此為軟件工程管理與維護(hù)奠定良好的基礎(chǔ)。

MVC 具體功能主要表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：（1）視圖層。方便用戶進(jìn)行可視化操作的程序截面，并在此基礎(chǔ)上把數(shù)據(jù)與控制信號(hào)結(jié)果通過文字、圖像的方法呈現(xiàn)，開發(fā)者能夠?qū)Σ煌晥D進(jìn)行定義，主要是對(duì)信息與數(shù)據(jù)實(shí)施有效呈現(xiàn)；（2）控制層。控制層在控制系統(tǒng)中是核心內(nèi)容，主要完成計(jì)算機(jī)與用戶之間的交互，并對(duì)用戶輸入信息進(jìn)行處理，從模型層與視圖層對(duì)數(shù)據(jù)有效讀取，同時(shí)將數(shù)據(jù)發(fā)送至模型，是對(duì)用戶交互進(jìn)行處理的部分；（3）模型層。對(duì)邏輯有關(guān)的代碼進(jìn)行全面負(fù)責(zé)，并且對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行存儲(chǔ)與封裝。在模型層中實(shí)現(xiàn)用戶請(qǐng)求邏輯，同時(shí)將處理結(jié)果顯示在視圖層?？刂破髦饕?fù)責(zé)控制功能，通過用戶請(qǐng)求調(diào)用模型，再將處理結(jié)果傳遞到視圖層，以此完成具體功能[1-2]。

1.2 MVC 特點(diǎn)

MVC 特點(diǎn)主要表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：（1）能夠采用不同視圖對(duì)同一數(shù)據(jù)進(jìn)行有效的展開；（2）對(duì)不可視或者可視組件分離，可對(duì)模型實(shí)施獨(dú)立測(cè)試?？梢暯M件在分離的過程中，降低了對(duì)外部的依賴程度，這在較大程度上能夠完成測(cè)試。除此之外，控制器與視圖在分離的過程中，控制器是邏輯組件，具體展開與分離邏輯均會(huì)對(duì)邏輯實(shí)施有效的獨(dú)立測(cè)試。

由此可以看出，MVC 能夠把對(duì)象與控制進(jìn)行分離，這對(duì)提升軟件自身的靈活性具有較大促進(jìn)作用，為軟件運(yùn)行效率的提升奠定良好的基礎(chǔ)。此外，MVC 可將不同業(yè)務(wù)邏輯聚集，在用戶交互與改進(jìn)界面中，不用對(duì)業(yè)務(wù)邏輯進(jìn)行編寫，能夠有效使代碼復(fù)用性得到有效提升，以此使開發(fā)周期時(shí)間縮短，這為軟件開發(fā)效率的提高奠定良好的基礎(chǔ)。除此之外，MVC 可使程序具備對(duì)象化特點(diǎn)，在此過程中大大降低了維護(hù)難度，以此能夠提升軟件工程化管理質(zhì)量。

2 MVC 在CMP 軟件中的應(yīng)用

CMP設(shè)備是集成電路制造領(lǐng)域中較為重要的設(shè)備，其中控制邏輯在其中扮演著較為重要的作用，主要是由不同模塊構(gòu)成，不同模塊在運(yùn)行的過程中，不但會(huì)獨(dú)自運(yùn)行，而且模塊之間哈存在相應(yīng)的聯(lián)系，也就是模塊之間在消息機(jī)制的基礎(chǔ)上進(jìn)行數(shù)據(jù)的有效傳輸。在CMP 軟件控制程序的過程中，不同模塊之間進(jìn)行配合，以此為CMP 設(shè)備正常運(yùn)行奠定良好的基礎(chǔ)。

因CMP 控制模塊相對(duì)較多，并且在此基礎(chǔ)上模塊之間數(shù)據(jù)交互復(fù)雜，同時(shí)還需要滿足用戶自身的個(gè)性化需求。將CMP 軟件控制系統(tǒng)應(yīng)用MVC 對(duì)程序?qū)嵤┰O(shè)計(jì)，能夠使模塊之間的耦合性有效降低，同時(shí)可大大提升代碼的復(fù)用性與靈活性[3-5]。

在CMP 設(shè)備軟件控制模塊中，采用MVC 能夠使工藝參數(shù)、程序視圖以及運(yùn)行狀態(tài)等數(shù)據(jù)的有效分離，用戶再根據(jù)工藝需求對(duì)軟件中的GUI 界面與不同模塊界面組件進(jìn)行全面操作，其中控制器會(huì)接收相應(yīng)的動(dòng)作，控制再通過業(yè)務(wù)邏輯對(duì)數(shù)據(jù)層實(shí)施操作，以此使數(shù)據(jù)層的改變與視圖層進(jìn)行同步更新。

3 基于MVC 架構(gòu)的子模塊設(shè)計(jì)

在CMP 軟件中，模塊3 是一種報(bào)警收集管理程序，主要是把CMP 運(yùn)行過程中不同工作模塊報(bào)警信息以及工藝參數(shù)等數(shù)據(jù)實(shí)施有效匯總，并在此基礎(chǔ)上將其分成不同類別進(jìn)行存儲(chǔ)。若CMP 在運(yùn)行的過程中，產(chǎn)生故障的情況下，模塊3 會(huì)對(duì)設(shè)備實(shí)施控制，并在此基礎(chǔ)上發(fā)出報(bào)警，這就需要對(duì)CMP 軟件系統(tǒng)模塊3 在MVC 的基礎(chǔ)上進(jìn)行有效設(shè)計(jì)，模塊3 會(huì)接收模塊1 與模塊2 的報(bào)警信息以及工藝參數(shù)數(shù)據(jù)，此外還會(huì)對(duì)運(yùn)行狀態(tài)數(shù)據(jù)進(jìn)行有效的接收，同時(shí)把數(shù)據(jù)實(shí)施有效的分類，一般情況下將其分為Alarmdegree 1 以及Alarmdegree 2 等類型，其中前3 種類型屬于報(bào)警信息，當(dāng)CMP 在運(yùn)行的過程中，將其顯示在Active Alarms 視圖中，Alarmdegree 4 與Alarmdegree 5 是相關(guān)操作數(shù)據(jù)，將其顯示在Event 視圖中，Default是功能擴(kuò)展模塊[6-7]。

用戶需要根據(jù)自己需求對(duì)模塊視圖層實(shí)施有效的操作，之后控制層通過操作類型實(shí)施信息篩選，并在此基礎(chǔ)上通過信息類型對(duì)報(bào)警器進(jìn)行有效的控制。信息篩選后將其顯示在視圖層中，工作人員在此過程中對(duì)信息與報(bào)警類型進(jìn)行查閱，再進(jìn)行故障排除以及CMP 設(shè)備檢查。用戶對(duì)CMP 維修后，需要對(duì)截面報(bào)警信息實(shí)施清除，其中控制層會(huì)通過用戶需求會(huì)停止報(bào)警。

此外，工藝參數(shù)、報(bào)警信息以及運(yùn)行狀態(tài)均會(huì)通過文件形式進(jìn)行有效的儲(chǔ)存，用戶在對(duì)歷史信息進(jìn)行查閱的過程中，需要調(diào)用信息篩選界面。用戶會(huì)根據(jù)自身需求對(duì)信息時(shí)間以及類型等進(jìn)行有效的勾選，控制層在對(duì)信息勾選后實(shí)施數(shù)據(jù)篩選，再將其在視圖層中顯示，能夠?qū)MP 儲(chǔ)存信息類型多樣，并且信息篩選難度高的問題[8-10]。

隨著CMP 設(shè)備在應(yīng)用的過程中，逐漸商業(yè)化，這就需要根據(jù)用戶自身需求對(duì)CMP 軟件進(jìn)行針對(duì)性設(shè)計(jì)，以此最大程度上滿足用戶個(gè)性化需求，這在一定程度上會(huì)使工作人員工作難度有不同程度的增加。通過MVC 設(shè)計(jì)出的CMP 軟件系統(tǒng)的視圖層、模型層以及控制層等的運(yùn)行相互獨(dú)立，具有較高的可維護(hù)性，并且在此基礎(chǔ)上能夠使軟件工程化管理。比如，用戶在對(duì)視圖層進(jìn)行設(shè)計(jì)的過程中，主要是對(duì)視圖層中的布局、信息顯示方式等進(jìn)行個(gè)性化設(shè)計(jì)，開發(fā)者需要對(duì)視圖層進(jìn)行更改，在此過程中不需要對(duì)模型層與控制層進(jìn)行更改。

4 結(jié)論

綜上所述，CMP 設(shè)備在使用的過程中，存在系統(tǒng)相對(duì)復(fù)雜、工藝控制與運(yùn)行狀態(tài)參數(shù)比較多等問題，這就需要在MVC 基礎(chǔ)上對(duì)CMP 軟件模塊進(jìn)行有效的設(shè)計(jì)，把模型層、視圖層以及控制層之間彼此分離，進(jìn)行單獨(dú)設(shè)計(jì)，能夠有效提高系統(tǒng)的復(fù)用性，同時(shí)能夠使耦合性有不同程度的降低。在對(duì)模塊進(jìn)行設(shè)計(jì)的過程中，主要根據(jù)用戶自身需求對(duì)相應(yīng)模塊實(shí)施有效完善，能夠使開發(fā)周期不斷縮短，這在較大程度上可使生產(chǎn)效率得到有效提升。隨著集成電路的快速發(fā)展，對(duì)CMP 設(shè)備運(yùn)行期間的穩(wěn)定性有較高要求，因此將MVC 應(yīng)用在CMP 軟件系統(tǒng)意義重大。