王禎妍
摘要:設(shè)計(jì)了一種新型大行程X-Y二維微動(dòng)工作臺(tái)并完成減耦。該工作臺(tái)采用壓電驅(qū)動(dòng)器提供微位移,串聯(lián)構(gòu)型與柔性鉸鏈、杠桿機(jī)構(gòu)配合,實(shí)現(xiàn)二維大行程位移輸出。利用有限元仿真調(diào)節(jié)傳動(dòng)鉸鏈的位置,結(jié)合雙平行四桿柔性移動(dòng)副實(shí)現(xiàn)X和Y方向的運(yùn)動(dòng)解耦。仿真結(jié)果表明,該微動(dòng)臺(tái)的工作行程為370 μm×400 μm, X與Y向的耦合誤差均小于1%。該微動(dòng)臺(tái)具有運(yùn)動(dòng)行程大、耦合誤差小等優(yōu)點(diǎn),可與宏動(dòng)機(jī)構(gòu)配合用于大行程二維宏微定位等場(chǎng)合。
關(guān)鍵詞:大行程微動(dòng)工作臺(tái);雙平行四桿機(jī)構(gòu);運(yùn)動(dòng)解耦;有限元分析
1 前言
當(dāng)前,超精密加工技術(shù)在精密儀器儀表[1-2]、生物醫(yī)學(xué)工程[3]、集成電子[4-5]、先進(jìn)制造業(yè)等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用。微納米定位技術(shù)及系統(tǒng)作為超精密加工的重要研究?jī)?nèi)容之一,在微納米坐標(biāo)測(cè)量機(jī)[6]、原子力顯微鏡和衍射光柵刻劃?rùn)C(jī)等儀器設(shè)備中取得了極大的進(jìn)展,開(kāi)發(fā)大行程高精度的微定位系統(tǒng)已成為相關(guān)領(lǐng)域科研人員研究的熱點(diǎn)。
國(guó)內(nèi)外對(duì)一維、二維微動(dòng)工作臺(tái)已進(jìn)行了大量研究工作,但行程較小,在某些需要大行程微動(dòng)臺(tái)的場(chǎng)合應(yīng)用受限。因此,以壓電陶瓷為微位移器件,通過(guò)柔性鉸鏈、杠桿、雙平行四桿機(jī)構(gòu)配合,設(shè)計(jì)了一種新型大行程X-Y二維微動(dòng)工作臺(tái),借助有限元分析,減小了不同方向運(yùn)動(dòng)間的耦合。
2 二維微動(dòng)工作臺(tái)的設(shè)計(jì)
初步設(shè)計(jì)的X-Y二維微動(dòng)工作臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示。由壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),采用柔性鉸鏈傳動(dòng)和杠桿放大,實(shí)現(xiàn)大行程位移輸出。設(shè)計(jì)串聯(lián)構(gòu)型,結(jié)構(gòu)緊湊,但存在不可避免的耦合誤差,因此采用雙平行四桿機(jī)構(gòu),有效減小工作臺(tái)的耦合。
3 Y向運(yùn)動(dòng)中消除耦合的研究
3.1串聯(lián)構(gòu)型存在角位移和線位移耦合
對(duì)初步設(shè)計(jì)的工作臺(tái)進(jìn)行Y向運(yùn)動(dòng)的有限元仿真,得到工作臺(tái)平行于X軸的端面由1到2各點(diǎn)處Y向位移均不相同,即存在角位移耦合,如圖2所示。同時(shí)發(fā)現(xiàn)工作臺(tái)Y向運(yùn)動(dòng)時(shí)的X向位移不為零,即存在線位移耦合。耦合運(yùn)動(dòng)可導(dǎo)致工作臺(tái)輸出位移的精度大大降低。
3.2角位移和線位移耦合的原因及消除方法
將耦合可能的原因歸為:一是整體工作臺(tái)是非對(duì)稱結(jié)構(gòu),二是杠桿的彎曲形變導(dǎo)致傳遞位移存在X向分量。通過(guò)改變N鉸鏈的位置消除結(jié)構(gòu)不對(duì)稱所產(chǎn)生的耦合,通過(guò)增加杠桿剛度消除杠桿彎曲形變所產(chǎn)生的耦合。目前工作臺(tái)的Y向杠桿已達(dá)到最小彎曲,下面主要通過(guò)改變N鉸鏈位置進(jìn)行耦合誤差的消除。從大量的模擬分析中發(fā)現(xiàn),N鉸鏈在不同位置時(shí)工作臺(tái)角位移和線位移耦合正負(fù)方向均發(fā)生了改變,推測(cè)存在兩個(gè)N鉸鏈的位置,分別使工作臺(tái)Y向運(yùn)動(dòng)的角位移和線位移耦合為零。
如圖3所示建立N鉸鏈移動(dòng)位置的一維X坐標(biāo)系,得到幾個(gè)N鉸鏈位置坐標(biāo)與相應(yīng)的角位移耦合繪制如圖4所示折線圖。根據(jù)圖4中角位移為0時(shí)橫坐標(biāo)的取值估算N鉸鏈此時(shí)的位置坐標(biāo)在39000 μm附近,得到如表1所示結(jié)果。
考慮加工方便,取N鉸鏈位置坐標(biāo)為40000 μm,X-Y二維微動(dòng)工作臺(tái)Y向運(yùn)動(dòng)時(shí)的角位移耦合最小。采用同樣的方法確定線位移耦合最小時(shí)的N鉸鏈位置,并利用有限元仿真,在兩個(gè)位置之間尋找Y向整體位移耦合最小的位置,如圖5所示,其運(yùn)動(dòng)參數(shù)如表2所示。
4二維X-Y微動(dòng)臺(tái)模型及仿真結(jié)果
將Y向N鉸鏈由單軸改為雙軸,減小杠桿彎曲。并將X向結(jié)構(gòu)參照Y向結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化,得到最終X-Y二維微動(dòng)工作臺(tái)結(jié)構(gòu)如圖6所示。為更直觀的表達(dá)二維工作臺(tái)中的角位移耦合,將角位移耦合的參數(shù)由位移量換算為角度。工作臺(tái)總體參數(shù)如表3所示。
5 結(jié)論
設(shè)計(jì)了一種壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的新型X-Y二維微動(dòng)工作臺(tái),采用柔性鉸鏈與杠桿放大實(shí)現(xiàn)二維大行程位移輸出。利用有限元仿真尋找傳動(dòng)鉸鏈最佳位置,結(jié)合雙平行四桿柔性移動(dòng)副實(shí)現(xiàn)X和Y方向的運(yùn)動(dòng)解耦。仿真結(jié)果表明,該微動(dòng)工作臺(tái)的工作行程為370 μm×400 μm,X與Y向的耦合誤差均小于1%。該工作臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊、運(yùn)動(dòng)行程大、耦合誤差小,對(duì)納米科技、半導(dǎo)體、精密機(jī)械加工及測(cè)量等領(lǐng)域均有參考價(jià)值。
6 參考文獻(xiàn)
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