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用于揮發(fā)性氣體檢測(cè)的聲表面波器件的環(huán)境特性研究

2020-02-22 19:14:14王文
應(yīng)用聲學(xué) 2020年4期
關(guān)鍵詞:高靈敏防化表面波

聲表面波在氣敏應(yīng)用中具有快速、高靈敏、微型、輕質(zhì)的獨(dú)特優(yōu)勢(shì),因而在單兵防化、公共安全及工業(yè)流程監(jiān)控等領(lǐng)域極具應(yīng)用前景。中國(guó)科學(xué)院聲學(xué)研究所王文團(tuán)隊(duì)與軍事科學(xué)院防化研究院潘勇團(tuán)隊(duì)在長(zhǎng)期聲表面波氣敏機(jī)理與器件優(yōu)化研究的基礎(chǔ)上,為推進(jìn)聲表面波氣敏技術(shù)的實(shí)用化進(jìn)程,持續(xù)開(kāi)展了聲表面波氣敏器件及系統(tǒng)環(huán)境適應(yīng)性的研究。

相關(guān)成果相繼發(fā)表在領(lǐng)域內(nèi)知名國(guó)際期刊Sensors and Actuators B(IF:6.3)及RSC Advances(IF:3.0)。

研究人員通過(guò)六氟異丙醇基聚硅氧烷(Fluoroalcoholpolysiloxane,SXFA)和聚環(huán)氧氯丙烷(Polyepichlorohydrin,PECH)的合成與薄膜制備方法及聲表面波器件優(yōu)化研究,設(shè)計(jì)并研制出了針對(duì)含膦含硫毒害氣體快速檢測(cè)的高性能聲表面波氣敏器件,并對(duì)其環(huán)境適應(yīng)性開(kāi)展了實(shí)驗(yàn)研究。測(cè)試結(jié)果顯示,傳感器針對(duì)甲基磷酸二甲酯(Dimethyl methyl phosphonate,DMMP)和二氯乙基硫醚(2-chloroethyl ethyl sulfide,CEES)的檢測(cè)下限可達(dá)0.12 mg/m3和1.5 mg/m3;它具有可靠的寬溫高濕環(huán)境適應(yīng)能力;給大多數(shù)氣敏技術(shù)帶來(lái)困擾的煙霧并沒(méi)有對(duì)該傳感器造成明顯影響。

研究成果表明,聲表面波氣體傳感技術(shù)可為復(fù)雜應(yīng)用環(huán)境中毒害氣體快速、高靈敏的監(jiān)測(cè)預(yù)警提供良好的解決方案。

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