(清華大學(xué)精密儀器系，北京 100084)

納型衛(wèi)星泛指質(zhì)量為10千克級(jí)的航天器，最早的發(fā)射可追溯到20世紀(jì)50年代[1-2]。近年來(lái)，微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的蓬勃發(fā)展極大地推動(dòng)了航天器微型化與高度集成的進(jìn)程，而納型衛(wèi)星因其體積功耗小、研發(fā)快捷、應(yīng)用靈活等優(yōu)勢(shì)，展現(xiàn)出廣闊的發(fā)展和應(yīng)用前景[3-4]。當(dāng)前，納型衛(wèi)星不但在空間態(tài)勢(shì)感知、遙感監(jiān)測(cè)、測(cè)控通信、科學(xué)探測(cè)和新技術(shù)試驗(yàn)中發(fā)揮著重要的作用，而且已經(jīng)從單星應(yīng)用向多元化、高性能、分布式空間系統(tǒng)應(yīng)用發(fā)展[5-6]。因此，以微型化技術(shù)和智能技術(shù)為核心，以輕量化、低成本與高性能為特征的納型衛(wèi)星，是目前航天技術(shù)發(fā)展的重要方向之一[7]。

國(guó)內(nèi)外相繼開(kāi)展了大量微納型衛(wèi)星研制和在軌試驗(yàn)，例如“同步定位、執(zhí)行、重定向試驗(yàn)衛(wèi)星”(SPHERES)[8]、“無(wú)線電探索者”(RAX)衛(wèi)星[9]、“教育衛(wèi)星”(EduSAT)[10]、“迷你衛(wèi)星”(FITSAT)[11]及納星1號(hào)(NS-1)，取得了眾多理論和實(shí)踐成果。2015年，長(zhǎng)征六號(hào)首飛的“一箭二十星”項(xiàng)目，是我國(guó)微納型衛(wèi)星試驗(yàn)的里程碑事件，將工業(yè)部門(mén)、商業(yè)公司及高校等多家單位研制的衛(wèi)星成功送入軌道。隨后的長(zhǎng)征十一號(hào)運(yùn)載火箭實(shí)現(xiàn)了快速響應(yīng)發(fā)射，同樣搭載了納型衛(wèi)星。包括西北工業(yè)大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)等多所高校參與的QB50計(jì)劃，是一項(xiàng)全球性的納型衛(wèi)星研發(fā)活動(dòng)，再次推動(dòng)了國(guó)內(nèi)納型衛(wèi)星技術(shù)的發(fā)展。

納型衛(wèi)星具有突出的性能優(yōu)勢(shì)和組網(wǎng)的巨大潛力，在航天活動(dòng)中發(fā)揮著不可替代的作用，具有極高的戰(zhàn)略意義[12-13]。但是，其低成本研制與長(zhǎng)期可靠運(yùn)行之間構(gòu)成了一對(duì)矛盾；微型化的迫切需求與現(xiàn)有空間光機(jī)電部組件/分系統(tǒng)的體積功耗水平相互制約；同時(shí)，納型衛(wèi)星的資源限制與遙感、通信、導(dǎo)航等高性能載荷應(yīng)用[14]之間形成了掣肘。針對(duì)上述3項(xiàng)工程問(wèn)題，本文對(duì)多學(xué)科優(yōu)化和總體架構(gòu)設(shè)計(jì)、微機(jī)電部件原理和研制以及高性能空間載荷應(yīng)用的3個(gè)層次進(jìn)行分析，提出利用多學(xué)科優(yōu)化結(jié)合模塊化設(shè)計(jì)的低成本衛(wèi)星研制方法，配合最小系統(tǒng)與即插即用架構(gòu)，提高衛(wèi)星在軌運(yùn)行的可靠性；通過(guò)自主研制基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的星上器/部件，實(shí)現(xiàn)在納型衛(wèi)星平臺(tái)上的在軌驗(yàn)證與應(yīng)用；針對(duì)微納型衛(wèi)星在空間任務(wù)中的相對(duì)測(cè)量及對(duì)地遙感等需求，進(jìn)行了新型有效載荷的設(shè)計(jì)及研究。相關(guān)研究成果通過(guò)成功研制的納星2號(hào)(NS-2)得到驗(yàn)證，并在吉林1號(hào)衛(wèi)星星座、珠海1號(hào)衛(wèi)星星座等80余顆商業(yè)衛(wèi)星，以及探月工程、高分專項(xiàng)等10余個(gè)航天器上進(jìn)行了批量化應(yīng)用。

1 基于多學(xué)科優(yōu)化的納型衛(wèi)星平臺(tái)研制

相比而言，納型衛(wèi)星在體積、質(zhì)量、功耗、成本等方面存在苛刻約束，需要面對(duì)長(zhǎng)期高性能在軌工作的挑戰(zhàn)。為解決這一問(wèn)題，在設(shè)計(jì)過(guò)程中，要打破傳統(tǒng)衛(wèi)星分系統(tǒng)式的設(shè)計(jì)建造模式，采用涵蓋力、熱、光、電、磁和空間輻照等的多學(xué)科綜合優(yōu)化手段。結(jié)合納型衛(wèi)星多使用高性能商用器件，以提高系統(tǒng)性能、功能密度和降低成本，以及在軌運(yùn)行時(shí)通常以短時(shí)高性能需求為主的基本特點(diǎn)，提出了一種全時(shí)運(yùn)行基本功能高可靠和任務(wù)期間擴(kuò)展功能高性能的優(yōu)化設(shè)計(jì)方法，建立了以最小系統(tǒng)為核心，以即插即用為手段的納型衛(wèi)星平臺(tái)開(kāi)放型、擴(kuò)展式設(shè)計(jì)理念，見(jiàn)圖1。

注：PCB為印制電路板。

圖1 基于最小系統(tǒng)的衛(wèi)星平臺(tái)結(jié)構(gòu)

Fig.1 Satellite architecture based on the minimum system

本文搭建了航天器分布式設(shè)計(jì)優(yōu)化環(huán)境系統(tǒng)(SDIDE)，利用通用多學(xué)科優(yōu)化設(shè)計(jì)環(huán)境iSIGHT集成各學(xué)科分析工具，如STK、Matlab、UG NX、I-DEAS、ANSYS等軟件(如圖2[15]所示)。將不同學(xué)科的設(shè)計(jì)工具集成起來(lái)協(xié)同工作，通過(guò)設(shè)計(jì)過(guò)程的自動(dòng)化來(lái)縮短研制周期，系統(tǒng)在設(shè)計(jì)方案自動(dòng)尋優(yōu)的過(guò)程中同時(shí)也提高了設(shè)計(jì)質(zhì)量。

圖2 SDIDE系統(tǒng)架構(gòu)Fig.2 System structure of SDIDE

構(gòu)建基于體裝太陽(yáng)電池陣及供配電、遙測(cè)遙控和射頻一體化的高可靠標(biāo)準(zhǔn)化的最小系統(tǒng)，以擺脫衛(wèi)星系統(tǒng)對(duì)姿態(tài)控制、熱控制等的過(guò)分依賴，保證其在衛(wèi)星全生命周期的高可靠工作。在最小系統(tǒng)的基礎(chǔ)上，衛(wèi)星可擴(kuò)展高性能星務(wù)、姿態(tài)軌道控制、有效載荷等分系統(tǒng)。這些子系統(tǒng)不再是單純追求以高等級(jí)器件保證系統(tǒng)的高可靠性，而是以任務(wù)需求為牽引，通過(guò)系統(tǒng)級(jí)冗余設(shè)計(jì)和故障可恢復(fù)設(shè)計(jì)保障高性能任務(wù)的執(zhí)行。衛(wèi)星發(fā)射入軌后，先進(jìn)行最小系統(tǒng)的遙測(cè)遙控，確認(rèn)正常工作后，再開(kāi)啟星上計(jì)算機(jī)、姿態(tài)軌道控制與有效載荷等分系統(tǒng)完成任務(wù)。當(dāng)衛(wèi)星運(yùn)行出現(xiàn)故障時(shí)，則退回最小系統(tǒng)并重新進(jìn)入衛(wèi)星啟動(dòng)的初始化步驟。這樣的設(shè)計(jì)簡(jiǎn)化了測(cè)試流程，提高了系統(tǒng)的魯棒性。

為實(shí)現(xiàn)衛(wèi)星綜合電子系統(tǒng)的模塊化設(shè)計(jì)，使設(shè)計(jì)流程更為平滑，并與多學(xué)科優(yōu)化方法充分結(jié)合，提出一種基于即插即用技術(shù)的方法，可實(shí)現(xiàn)由能源單元、遙測(cè)遙控單元及射頻單元組成的高可靠最小系統(tǒng)。突破傳統(tǒng)通信通道“一對(duì)一”的數(shù)據(jù)傳輸模式，采用通信設(shè)備上電自舉識(shí)別方法，建立穩(wěn)定的“一對(duì)多”拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的物理層到系統(tǒng)層鏈路。該方法在NS-2納型衛(wèi)星任務(wù)中完成在軌試驗(yàn)，實(shí)現(xiàn)了硬件接口、衛(wèi)星功能部件級(jí)的即插即用，有效保證了綜合電子系統(tǒng)的應(yīng)用靈活性和可擴(kuò)展性，滿足快速研制和空間任務(wù)快速響應(yīng)的需求，能促進(jìn)納型衛(wèi)星的標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì)和開(kāi)發(fā)建造。

基于高可靠最小系統(tǒng)的即插即用衛(wèi)星平臺(tái)，以微機(jī)電部件實(shí)現(xiàn)微型化高性能的系統(tǒng)擴(kuò)展，如加入姿態(tài)軌道測(cè)量與控制分系統(tǒng)、有效載荷分系統(tǒng)等，在納型衛(wèi)星上實(shí)現(xiàn)角秒級(jí)的姿態(tài)測(cè)量和0.05(°)/s的三軸穩(wěn)定控制，能確保在納型衛(wèi)星上完成遙感、通信、空間攻防等系列高性能任務(wù)，并為編隊(duì)飛行、分布式遙感、全球覆蓋等戰(zhàn)略性任務(wù)奠定基礎(chǔ)。

基于多學(xué)科優(yōu)化研制的NS-2納型衛(wèi)星(見(jiàn)圖3[16])，于2015年發(fā)射并成功開(kāi)展了多項(xiàng)新技術(shù)試驗(yàn)，在軌運(yùn)行時(shí)間超過(guò)了2年。

圖3 NS-2納型衛(wèi)星Fig.3 NS-2 nanosatellite

2 面向空間應(yīng)用的高性能微機(jī)電器/部件技術(shù)

納型衛(wèi)星平臺(tái)要求搭載的器件體積小、質(zhì)量輕、功耗低，以MEMS器件為代表的微機(jī)電技術(shù)的應(yīng)用，為航天活動(dòng)提供了新的可能。針對(duì)空間光學(xué)敏感器、慣性敏感器及MEMS開(kāi)關(guān)等典型微機(jī)電器/部件，開(kāi)展原理研究、樣機(jī)試制與搭載測(cè)試，成功實(shí)現(xiàn)在軌應(yīng)用。

2.1 空間高性能低功耗MEMS陀螺

本文設(shè)計(jì)一種帶應(yīng)力抑制結(jié)構(gòu)的MEMS陀螺，結(jié)合特有的熱平衡設(shè)計(jì)及振動(dòng)隔離技術(shù)，相比傳統(tǒng)陀螺耐受振動(dòng)和沖擊影響的能力提高了30倍，同時(shí)能有效降低慣性測(cè)量系統(tǒng)的串?dāng)_噪聲；提出了基于IP核的全數(shù)字化測(cè)控硅基MEMS陀螺技術(shù)，相比模擬電路溫度穩(wěn)定性提高一個(gè)數(shù)量級(jí)以上，可實(shí)現(xiàn)高性能的內(nèi)部復(fù)雜控制算法，針對(duì)該陀螺研究的標(biāo)度因數(shù)自補(bǔ)償技術(shù)，可使標(biāo)度因數(shù)全溫變化減小到0.1%[17]。上述設(shè)計(jì)面向空間熱應(yīng)力、發(fā)射高沖擊、標(biāo)定高精度等衛(wèi)星平臺(tái)對(duì)MEMS陀螺的需求開(kāi)展，相比常規(guī)產(chǎn)品更具有在軌應(yīng)用潛力。

圖4 硅基MEMS陀螺樣機(jī)及在軌測(cè)試曲線

2.2 MEMS扭擺諧振式磁強(qiáng)計(jì)

本文提出并實(shí)現(xiàn)了一種新的具有對(duì)稱式結(jié)構(gòu)及多層線圈的高靈敏度扭擺諧振式磁強(qiáng)計(jì)，通過(guò)折疊梁結(jié)構(gòu)、雙層激勵(lì)線圈等設(shè)計(jì)提高了系統(tǒng)靈敏度及品質(zhì)因數(shù)(Q值)。研制時(shí)突破了基于系統(tǒng)集成的雙層結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)工藝，采用聚酰亞胺作為絕緣層，解決了硅-玻璃鍵合后淀積氮化硅等一系列工藝難題?；诓顒?dòng)電容放大、高頻信號(hào)調(diào)制及同步解調(diào)原理，研制完成高精度信號(hào)檢測(cè)電路；基于自激振蕩和線圈反饋的雙重閉環(huán)，實(shí)現(xiàn)大諧振頻率范圍內(nèi)的鎖頻驅(qū)動(dòng)，以減小靈敏度溫漂，提高線性度和穩(wěn)定性，降低功耗。

圖5[18]為研制的MEMS磁強(qiáng)計(jì)工程樣片，基于此樣片研制了MEMS磁強(qiáng)計(jì)工程樣機(jī)，質(zhì)量44 g，體積42 mm×42 mm×20 mm，功耗0.35 W。圖6(a)[19]為樣機(jī)地面測(cè)試曲線，測(cè)試結(jié)果顯示：磁場(chǎng)分辨率優(yōu)于30 nT，量程大于30 μT，靈敏度優(yōu)于400 mV/μT。該樣機(jī)成功在NS-2納型衛(wèi)星上開(kāi)展了搭載試驗(yàn)，與星上姿態(tài)控制系統(tǒng)中的商用磁強(qiáng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)對(duì)比分析結(jié)果表明，變化趨勢(shì)一致(見(jiàn)圖6(b))，相關(guān)度達(dá)0.996 6，功能滿足空間應(yīng)用要求。

圖5 MEMS磁強(qiáng)計(jì)結(jié)構(gòu)及樣片F(xiàn)ig.5 Structure and sample of MEMS magnetometer

注：APS為主動(dòng)像素傳感器。圖6 MEMS磁強(qiáng)計(jì)樣機(jī)測(cè)試結(jié)果Fig.6 Test results of MEMS magnetometer prototype

2.3 高性能納/皮型光學(xué)敏感器

高精度的光學(xué)姿態(tài)測(cè)量技術(shù)是衛(wèi)星提升性能的核心和關(guān)鍵，決定著衛(wèi)星的能力和技術(shù)水平。太陽(yáng)敏感器、星敏感器等傳統(tǒng)光學(xué)姿態(tài)敏感器體積尺寸比較大，很難在納型衛(wèi)星上應(yīng)用。針對(duì)光學(xué)成像視場(chǎng)和分辨率相互制約的難題，本文提出在單一感光探測(cè)器(感光邊長(zhǎng)為ld)上實(shí)現(xiàn)多視場(chǎng)(FOV)n編碼復(fù)用的高精度大視場(chǎng)成像原理，設(shè)計(jì)集256個(gè)視場(chǎng)編碼孔徑(掩膜層相鄰視場(chǎng)的間距為dm，單個(gè)視場(chǎng)寬度為lm)與16 384個(gè)目標(biāo)成像孔徑于一體的MEMS光線調(diào)制與目標(biāo)識(shí)別方法(見(jiàn)圖7[20])，解決了120°大視場(chǎng)角下空間目標(biāo)角秒級(jí)定位的難題；針對(duì)空間多目標(biāo)高分辨率成像與高更新率讀出無(wú)法兼容的難題，提出一種卷簾式多目標(biāo)成像與姿態(tài)測(cè)量方法(見(jiàn)圖8)，通過(guò)每顆恒星在探測(cè)器上的成像位置和時(shí)間(xk，yk，Tk)的關(guān)系來(lái)進(jìn)行姿態(tài)遞推，每當(dāng)獲取第k+1個(gè)星點(diǎn)，即獲得了第k+1個(gè)觀測(cè)矢量wk+1及其對(duì)應(yīng)恒星的參考矢量vk+1，再結(jié)合上一個(gè)(第k個(gè))星點(diǎn)所獲取的姿態(tài)四元數(shù)及角速率的信息狀態(tài)(Kk/k，wk)，實(shí)現(xiàn)最優(yōu)的當(dāng)前姿態(tài)和角速率狀態(tài)的估計(jì)(Kk+1/k+1，wk+1)，從而達(dá)到姿態(tài)測(cè)量更新率提升10倍以上(1000 Hz)。研制的太陽(yáng)敏感器和星敏感器(見(jiàn)圖9)質(zhì)量皆小于100 g，精度均能達(dá)到角秒水平。

注：n為視場(chǎng)編號(hào)；lpattern為光線調(diào)制器上孔徑區(qū)域的總長(zhǎng)度；h為光線調(diào)制器與圖像探測(cè)器的距離。

圖7 MEMS光線調(diào)制與目標(biāo)識(shí)別方法原理

Fig.7 Principle of MEME light modulation and target identification method

圖9 原理實(shí)現(xiàn)與產(chǎn)品應(yīng)用Fig.9 Principle implementations and production applications

2.4 低功耗高可靠空間應(yīng)用MEMS開(kāi)關(guān)

作為電氣系統(tǒng)中最基本的一類重要器件，開(kāi)關(guān)在各類航天器，特別是衛(wèi)星系統(tǒng)中發(fā)揮著重要的功能和作用。MEMS開(kāi)關(guān)，尤其是靜電驅(qū)動(dòng)MEMS開(kāi)關(guān)優(yōu)異的性能，能夠很好地滿足衛(wèi)星平臺(tái)與載荷等各分系統(tǒng)模塊對(duì)大量開(kāi)關(guān)器件提出的體積小、質(zhì)量輕、功耗低和可靠性等需求。本文通過(guò)拓?fù)鋬?yōu)化等方法對(duì)MEMS開(kāi)關(guān)器件的驅(qū)動(dòng)電極進(jìn)行綜合優(yōu)化設(shè)計(jì)，提高其驅(qū)動(dòng)力，研制了具有驅(qū)動(dòng)力增強(qiáng)特性的靜電驅(qū)動(dòng)MEMS開(kāi)關(guān)器件，解決了衛(wèi)星總線標(biāo)準(zhǔn)電壓無(wú)法可靠驅(qū)動(dòng)MEMS開(kāi)關(guān)的難題；同時(shí)，通過(guò)低剛度微結(jié)構(gòu)緩沖MEMS開(kāi)關(guān)的機(jī)械彈跳，可基本消除開(kāi)關(guān)電極觸點(diǎn)的機(jī)械彈跳對(duì)其電學(xué)性能的負(fù)面影響。研制的MEMS開(kāi)關(guān)器件結(jié)構(gòu)及樣片如圖10[21]所示，封裝后質(zhì)量為3 g，驅(qū)動(dòng)功耗為0.1 nW，斷開(kāi)電阻優(yōu)于100 GΩ，耐壓指標(biāo)優(yōu)于28 V。在額定電流100 mA時(shí)，其電學(xué)壽命超過(guò)了10萬(wàn)次(見(jiàn)圖11[22])。

圖10 MEMS開(kāi)關(guān)器件結(jié)構(gòu)及樣片F(xiàn)ig.10 Structure and sample of MEMS switch

圖11 MEMS開(kāi)關(guān)100 mA工作電流壽命測(cè)試曲線Fig.11 Lifetime test curve of MEMS switch under working current of 100mA

3 適用于納型衛(wèi)星平臺(tái)搭載的有效載荷技術(shù)

3.1 空間MEMS掃描鏡

針對(duì)空間目標(biāo)探測(cè)的應(yīng)用需求，本文提出一種雙壓電差分驅(qū)動(dòng)杠桿式MEMS掃描鏡結(jié)構(gòu)(如圖12[23]所示)，通過(guò)并聯(lián)電感阻抗匹配降低雙頻驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷功耗的方法，實(shí)現(xiàn)MEMS掃描鏡在不高于5 V驅(qū)動(dòng)電壓下的大掃描角驅(qū)動(dòng)。針對(duì)微型二維掃描鏡扭轉(zhuǎn)和彎曲運(yùn)動(dòng)角度測(cè)量耦合問(wèn)題，建立微型二維掃描鏡在二維運(yùn)動(dòng)時(shí)柔性梁的力學(xué)分析模型，提出一種基于壓阻傳感器的偏轉(zhuǎn)角解耦測(cè)量方法，分別實(shí)現(xiàn)微型二維掃描鏡在扭轉(zhuǎn)和彎曲2個(gè)方向上偏轉(zhuǎn)角的高精度測(cè)量。針對(duì)高應(yīng)力、循環(huán)載荷的諧振式MEMS掃描鏡疲勞失效問(wèn)題，設(shè)計(jì)一種光楔式放大MEMS掃描鏡光學(xué)掃描角的封裝結(jié)構(gòu)，在同樣光學(xué)掃描角情況下，可有效降低掃描鏡機(jī)械擺角，從而降低器件實(shí)際工作應(yīng)力，有利于提高M(jìn)EMS掃描鏡的壽命。

基于MEMS掃描鏡，設(shè)計(jì)一種微型化的激光掃描探測(cè)系統(tǒng)(如圖13所示)，采用粗精測(cè)尺相結(jié)合的相位式激光測(cè)距法，實(shí)現(xiàn)對(duì)空間非合作目標(biāo)的方位與距離的探測(cè)與測(cè)量。研制的微型掃描探測(cè)系統(tǒng)樣機(jī)質(zhì)量313 g，功耗2.85 W。其測(cè)試及分析表明：掃描角度達(dá)41.2°×41.0°，角度測(cè)量精度最高可優(yōu)于0.1°，1 km以內(nèi)測(cè)距精度達(dá)3.1 m。

圖12 杠桿式MEMS掃描鏡結(jié)構(gòu)及樣機(jī)Fig.12 Structure and prototype of lever MEMS scanning mirror

圖13 微型掃描探測(cè)系統(tǒng)樣機(jī)Fig.13 Prototype of micro scanning detection system

3.2 一體化智能載荷

面向納型衛(wèi)星光學(xué)遙感等任務(wù)需求，本文提出微納光學(xué)姿態(tài)敏感器與遙感相機(jī)一體化的智能載荷技術(shù)(見(jiàn)圖14)。利用十二等星的提取識(shí)別和亞秒級(jí)恒星探測(cè)與姿態(tài)測(cè)量技術(shù)，開(kāi)展星敏感器與遙感相機(jī)同時(shí)星空成像與在軌定位試驗(yàn)。

圖14 星敏感器與遙感相機(jī)同時(shí)星空成像識(shí)別技術(shù)及一體化標(biāo)定Fig.14 Imaging identification technology and integrated calibration based on star of star sensor and remote sensing camera

在傳統(tǒng)的應(yīng)用中，多采用星敏感器姿態(tài)測(cè)量與相機(jī)地面靶標(biāo)場(chǎng)測(cè)試相結(jié)合的標(biāo)定方式。地面靶標(biāo)場(chǎng)受到地理位置、大氣環(huán)境的影響比較嚴(yán)重，同時(shí)，衛(wèi)星也需要進(jìn)行側(cè)擺機(jī)動(dòng)等測(cè)試，測(cè)試時(shí)間少，效果很難得到保證。本文通過(guò)對(duì)在軌飛行過(guò)程中智能載荷的工作特點(diǎn)進(jìn)行分析，發(fā)現(xiàn)利用衛(wèi)星的姿態(tài)調(diào)整，使星敏感器和遙感相機(jī)同時(shí)對(duì)背景星空成像，可實(shí)現(xiàn)兩者的一體化背景星空的內(nèi)外方元素自主標(biāo)定。通過(guò)理論分析和試驗(yàn)驗(yàn)證，成功實(shí)現(xiàn)了遙感成像系統(tǒng)焦距、主點(diǎn)、畸變等的亞角秒級(jí)自標(biāo)定，以及遙感相機(jī)自身與星敏感器的外方元素角秒級(jí)互標(biāo)定，解決了長(zhǎng)期以來(lái)一直無(wú)法擺脫地面靶標(biāo)系統(tǒng)的難題，使納型遙感成像系統(tǒng)的定位水平提升了1個(gè)數(shù)量級(jí)，達(dá)到10米級(jí)水平。

4 結(jié)束語(yǔ)

本文利用微機(jī)電系統(tǒng)、集成電路等領(lǐng)域的最新成果以及設(shè)計(jì)理念與方法，通過(guò)研究新型微型化功能器/部件，探索以MEMS技術(shù)為代表的微納型技術(shù)在航天領(lǐng)域的應(yīng)用。同時(shí)，自主發(fā)展以納型衛(wèi)星為代表的微型航天器及其應(yīng)用技術(shù)，開(kāi)展納型衛(wèi)星的設(shè)計(jì)、制造、測(cè)試技術(shù)研究。針對(duì)資源嚴(yán)重受限條件下納型衛(wèi)星高性能應(yīng)用需求，基于低功耗高性能微機(jī)電器/部件，開(kāi)展基于多學(xué)科優(yōu)化的納型衛(wèi)星平臺(tái)研制，并實(shí)現(xiàn)了在軌高效運(yùn)行，為納型衛(wèi)星的高集成度和輕量化打下基礎(chǔ)，推動(dòng)了納型衛(wèi)星走上遙感成像、通信導(dǎo)航等高精度主戰(zhàn)場(chǎng)的進(jìn)程。