范偉 林瑜陽 李鐘慎

摘 要：針對(duì)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的蠕變誤差隨時(shí)間呈現(xiàn)非線性變化，會(huì)嚴(yán)重影響其定位精度的問題，提出遺傳算法優(yōu)化BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的壓電陶瓷蠕變預(yù)測算法。采用遺傳算法優(yōu)化了BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的權(quán)值和閾值，構(gòu)建了基于遺傳算法的BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)（GA-BP算法）的蠕變預(yù)測模型。用GA-BP算法對(duì)壓電陶瓷蠕變進(jìn)行了預(yù)測仿真，并將結(jié)果與實(shí)測數(shù)據(jù)進(jìn)行了對(duì)比。結(jié)果表明，獲得的蠕變預(yù)測結(jié)果與實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的最大絕對(duì)誤差均不超過0.2 μm，最大蠕變誤差均小于1.5%，最大均方誤差僅為0.004 6，因此，GA-BP預(yù)測模型可作為預(yù)測壓電陶瓷蠕變誤差的一種有效手段。

關(guān)鍵詞：壓電陶瓷；蠕變；神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)；遺傳算法；預(yù)測

中圖分類號(hào)：TN 384

文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A

文章編號(hào)：1007-449X（2018）07-0091-06