游恒果，蔡道民

（中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所，河北石家莊，050051）

0 引言

我國(guó)自主研發(fā)的衛(wèi)星通信系統(tǒng)逐步完善，其性能與國(guó)外系統(tǒng)相媲美，導(dǎo)致各種圍繞衛(wèi)星通信系統(tǒng)的應(yīng)用層出不窮。而地面手持終端的射頻前端模組，尤其是其包含的功率放大器，則是非常關(guān)鍵的核心器件，制約著終端產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

InGaP/GaAs異質(zhì)結(jié)晶體管(HBT)因其材料體系和垂直結(jié)構(gòu)等多方面的特點(diǎn)，具有功率密度大、線性好和閾值電壓一致性好等優(yōu)勢(shì)，成為無(wú)線通信領(lǐng)域，尤其是手持終端功率放大器的寵兒[1-2]，也是衛(wèi)星通信終端放大器首選。目前，該類終端放大器國(guó)外主要有SKYWORKS,QARVO和BROADCOM 等射頻巨頭[3-4]，但針對(duì)國(guó)內(nèi)衛(wèi)星通信的產(chǎn)品較少；國(guó)內(nèi)該類研究和產(chǎn)品則更少，主要有蘇州英若訊、中科微電子所[5-6]等，其性能有待提升。

本文介紹了基于自主的GaAs HBT制程，實(shí)現(xiàn)急需的大功率、高線性和高效率的射頻功率放大器的研究工作，主要包括InGaP/GaAs HBT 器件工藝、放大器設(shè)計(jì)和制作，放大器性能測(cè)試等，該功率放大器可廣泛應(yīng)用于衛(wèi)星通信等無(wú)線終端領(lǐng)域。

1 InGaP/GaAs HBT工藝和器件特性

InGaP/GaAs HBT工藝沿用傳統(tǒng)的三臺(tái)面工藝，工藝主要流程主要包括有源器件制作和無(wú)源器件制作兩部分。其中有源器件制作工藝是核心工藝，包含發(fā)射極、基極和集電極三臺(tái)面形成，以及各低歐姆接觸電極制作，多重離子注入隔離和臺(tái)面之間的SiN側(cè)墻保護(hù)等;無(wú)源部分工藝則主要包括金屬薄膜電阻、MIM電容、金屬互聯(lián)線和鈍化隔離保護(hù)的SiN及覆聚酰亞胺(PI)。圖1(a)和（b）分別是發(fā)射極面積為3×12×4μm2器件的共發(fā)射極I-V特性曲線和無(wú)諧波的Laodpull曲線，直流增益約為80（Ib 電流從 10μA～100μA），補(bǔ)償電壓 Vceoあset約為 0.1V，膝點(diǎn)電壓約為0.5V (Ic 電流為30mA),集電極-發(fā)射極擊穿電壓BVCEO≥14V(電流為10μA);從圖1（b）中可知，該面積器件的PAE大于62%（沒(méi)有考慮諧波調(diào)諧），輸出功率大于20dBm,功率增益大于13dB。

圖1

2 放大器設(shè)計(jì)和制作

■2.1 設(shè)計(jì)目標(biāo)

針對(duì)通信應(yīng)用，擬達(dá)到目標(biāo)如表1所示。

表1 設(shè)計(jì)指標(biāo)

矢量誤差信號(hào)ACPR（%） ≤5 PI/4 QPSK，21.6kHz滾降系數(shù)0.35領(lǐng)道抑制比ACPR(dBc) ≤-25增益S21（dB） ≥37 VCC=5V，ICQ=300mA駐波VSWR ≤2

■2.2 電路架構(gòu)

首先根據(jù)表1所示的技術(shù)指標(biāo)進(jìn)行指標(biāo)分解，對(duì)于難點(diǎn)指標(biāo)，如效率、線性和輸出功率，重點(diǎn)關(guān)注。

首先根據(jù)單元HBT器件的最大增益MAXGAIN和設(shè)計(jì)目標(biāo)需要達(dá)到的增益，選用三級(jí)放大結(jié)構(gòu)；其次確保HBT器件長(zhǎng)期、可靠工作，尤其是防止HBT器件發(fā)生熱斑效應(yīng)（熱正反饋），選擇各級(jí)合適的工作電流密度。據(jù)此，末級(jí)工作電流密度0.15mA/μm2，確保高的效率，同時(shí)選用前面所述的64個(gè)3×12×4μm2單元器件并聯(lián)，不僅實(shí)現(xiàn)總輸出功率大于38dBm,而且增益大于13dB;驅(qū)動(dòng)級(jí)工作電流為0.2mA/μm2，采用8個(gè)3×12×4μm2器件并聯(lián)，提供線性輸出功率27dBm，提供13-14dB增益；前級(jí)工作電流為0.25mA/μm2，采用2個(gè)3×12×4μm2器件并聯(lián)，并借助RC負(fù)反饋，提升穩(wěn)定性，線性輸出功率大于17dBm并提供13-15dB增益，圖2是采用的電路示意圖。

圖2 功率放大器電路圖

■2.3 電路偏置和匹配實(shí)現(xiàn)

偏置電路是HBT類放大器的難點(diǎn)之一，采用如圖3所示的自適應(yīng)偏置電路實(shí)現(xiàn)線性提升和寬溫度域的電流補(bǔ)償。該電路具有以下特點(diǎn)：其一調(diào)節(jié)RP和CP的數(shù)值大小，實(shí)現(xiàn)信號(hào)分流，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)自適應(yīng)調(diào)節(jié)偏置狀態(tài)，提升線性；其二，通過(guò)電容CIN，實(shí)現(xiàn)良好射頻到地；其三，調(diào)整晶體管QA1和QA2尺寸，實(shí)現(xiàn)溫度補(bǔ)償。

匹配電路不僅實(shí)現(xiàn)阻抗變換，而且具有波形整形，確保電路在全頻帶和寬溫度領(lǐng)域內(nèi)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定，無(wú)自激。整個(gè)電路包括輸出匹配、二三級(jí)級(jí)間匹配、一二級(jí)級(jí)間匹配和輸入匹配。其中輸出匹配對(duì)輸出功率、效率影響最大，由于工作頻段相對(duì)低，導(dǎo)致片上電感的Q值較低，大約5～8左右，導(dǎo)致?lián)p耗大。故采用片外匹配，實(shí)現(xiàn)低損耗匹配。輸出匹配電路拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)采用LCLC兩節(jié)低通匹配，并在晶體管輸出根部通過(guò)LC諧振于二次諧波，實(shí)現(xiàn)諧波調(diào)諧，提升P_1dB下的效率提升。圖4是仿真結(jié)果，損耗大約0.6dB,阻抗大約用 1.5～2Ω。

圖3 自適應(yīng)偏置偏置電路

最后，借助仿真軟件，實(shí)現(xiàn)基于PCB板的外匹配和GaAs基的MMIC鏈路仿真,實(shí)現(xiàn)原理圖到版圖的轉(zhuǎn)換,圖5是完成制作的整個(gè)電路照片。

圖4 輸出匹配損耗

圖5 放大器芯片(1.3mm×1.7mm)

3 放大器測(cè)試結(jié)果和分析

■3.1 小信號(hào)特性

放大器偏置條件為Vcc=5 V，Icc=300mA，利用矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀和CASCADE微波探針臺(tái)，結(jié)合微波探針，采用TRL傳輸校準(zhǔn)方法，測(cè)試器件的S參數(shù)。其中S21大于39,S11小于-14dB，S22小于-10dB，達(dá)到目標(biāo)要求。

圖6 測(cè)試放大器小信號(hào)性能在VCC=5V，ICC=300mA

■3.2 輸出功率和效率

放大器偏置條件為Vcc=5 V，Icc=300mA，利用信號(hào)源和功率計(jì)測(cè)試功率放大器的大信號(hào)相關(guān)特性，主要包括飽和輸出功率（Pout）、功率附加效率（PAE）和大信號(hào)增益（Gp）等技術(shù)指標(biāo)。測(cè)試結(jié)果表明，在整個(gè)頻率范圍內(nèi)，功率放大器的Pout≥38 dBm，PAE≥55%，Gp≥38 dB，圖7為輸出功率和效率隨頻率變化曲線。

圖7 測(cè)試放大器輸出功率和功率附加效率隨頻率變化曲線在VCC=5V，ICC=300mA

■3.3 放大器線性特性

放大器偏置條件為 VCC=5V，ICC=300mA，利用矢量信號(hào)源，頻譜儀測(cè)試功率放大器的線性相關(guān)特性。波頻率為1.615GHz,采用PI/4QPSK調(diào)制信號(hào)，頻率間隔21.6kHz和濾波器滾降系數(shù)0.35，在調(diào)制輸出功率為36dBm下，測(cè)試其EVM指標(biāo)小于5%，第一臨道抑制比小于-27dBc。圖8（a）和（b）分別是EVM和ACPR隨輸入功率變化曲線。

圖8

從上述測(cè)試圖表可以得到，研制的終端放大器具有高功率、高效率和高線性特性，相關(guān)測(cè)試結(jié)果與設(shè)計(jì)指標(biāo)吻合度較高，滿足調(diào)制帶寬通信要求。

表2為國(guó)外同類產(chǎn)品性能對(duì)比數(shù)據(jù)，表中f為頻率，G為增益，ACPR1為輸出三階互調(diào)點(diǎn)。通過(guò)對(duì)比分析，本款功率放大器芯片在功率、效率和線性等核心技術(shù)指標(biāo)方面達(dá)到國(guó)際主流水平。

表2 國(guó)內(nèi)外同類產(chǎn)品對(duì)比分析

4 結(jié)論

采用自主InGaP/GaAs HBT技術(shù)，借助GaAs MMIC和輔助PCB板外匹配架構(gòu)，通過(guò)選擇合適的器件尺寸和偏置條件以及匹配，實(shí)現(xiàn)高性能的終端放大器，其POUT≥38 dBm，PAE≥ 55%，P_1≥ 37dBm，PAEP_1≥ 50%，ACPR≤-27dBm，EVM≤5%，滿足PI/4QPSK調(diào)制信號(hào)下的衛(wèi)星通信協(xié)議，該放大器可廣泛應(yīng)用于無(wú)線通信等領(lǐng)域。

* [1] Kyung Ai Lee, Dong Ho Lee, and Hyun—Min Park,Sang—Hoon Cheon, Jae—Woo Park, Hyung—Mo Yoo and Songcheol Hong, An InGaP/GaAs HBT WLAN power amplifier for power detector[C],//34th European Microwave Conference, vol.1, pp 345—347,Oct.2004.

* [2] Tohru Oka, Masatomo Hasegawa, Koichiro Fujita,Masaharu Yamashita, Michitoshi Hirata, Hiroshi Kawamura, and Keii—chi Sakuno, Enhanced linearity and efficiency of HBT power amplifier for 5—GHz wireless—LANs [C], 2005 IEEE MTT—S Int Microwave Symp. Dig., vol. 2, pp 649—652. June, 2005

* [3]http://www.skyworksinc.com/products/product—detail/SKY77778—51.

* [4]http://www.skyworksinc.com/products/product—detail/SKY77761—11.

* [5]http://www.innotion.com.cn/products/product—detail/YPM162437.

* [6]馮威，戚偉，等.5W ISM 波段InGaP/GaAs HBT 功率放大器MMIC[J].半導(dǎo)體技術(shù)，2010，3：286—290.