焦建超 蘇云 王保華 王超 張月 金建高 (北京空間機(jī)電研究所)
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地球靜止軌道膜基衍射光學(xué)成像系統(tǒng)的發(fā)展與應(yīng)用
焦建超 蘇云 王保華 王超 張月 金建高 (北京空間機(jī)電研究所)
地球靜止軌道高分辨率光學(xué)成像可以同時獲取具有高時間和高空間分辨率的圖像,可以長期駐留固定區(qū)域上空,根據(jù)需要快速調(diào)整成像監(jiān)視區(qū)域,進(jìn)行靈活的任務(wù)編排,對災(zāi)害環(huán)境和熱點(diǎn)地區(qū)進(jìn)行持續(xù)監(jiān)測,在較窄的時間窗口內(nèi)對時效要求高的目標(biāo)進(jìn)行監(jiān)視和觀測,可以滿足環(huán)境、資源、氣象、減災(zāi)、應(yīng)急以及軍事等多項(xiàng)業(yè)務(wù)系統(tǒng)的需求,是航天光學(xué)遙感的重要發(fā)展方向。
實(shí)現(xiàn)地球靜止軌道高分辨率光學(xué)成像通常要求光學(xué)系統(tǒng)口徑巨大,尤其對于具有重大意義的地球靜止軌道1米級成像,要求光學(xué)系統(tǒng)口徑約20m。如果采用傳統(tǒng)反射式光學(xué)成像系統(tǒng),將帶來質(zhì)量、公差、尺寸等一系列顛覆性問題。國外從20世紀(jì)末開始研發(fā)新型光學(xué)成像技術(shù),以解決巨型口徑光學(xué)成像系統(tǒng)面臨的系列問題,提出的新技術(shù)包括光學(xué)合成孔徑成像技術(shù)、稀疏孔徑成像技術(shù)以及膜基衍射光學(xué)成像技術(shù)等。上述三項(xiàng)技術(shù)均涉及到子孔徑或子鏡拼接、對準(zhǔn)這一關(guān)鍵問題。由于地球靜止軌道高分辨率光學(xué)成像系統(tǒng)工作于可見光譜段,對于光學(xué)合成孔徑成像技術(shù)和稀疏孔徑成像技術(shù),拼接、對準(zhǔn)精度要求高,工程實(shí)現(xiàn)難度極大。而膜基衍射光學(xué)成像技術(shù)是以薄膜基底衍射光學(xué)元件作為光學(xué)成像系統(tǒng)主鏡的一種新型成像技術(shù),具有公差寬松的突出優(yōu)勢,同時具有質(zhì)量超輕、大折疊比的特點(diǎn),為解決地球靜止軌道1m分辨率對地觀測問題提供了一種新途徑。由于膜基衍射光學(xué)成像技術(shù)的巨大技術(shù)優(yōu)勢和應(yīng)用潛力,已成為目前光學(xué)遙感領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。
衍射光學(xué)成像技術(shù)作為實(shí)現(xiàn)巨型口徑光學(xué)成像系統(tǒng)的一種可行技術(shù)途徑,國外多個國家已針對該項(xiàng)技術(shù)開展研究,包括美國、日本、英國以及法國。其中,美國自1996年前后開始開展基于衍射光學(xué)的高分辨率對地成像技術(shù)研究,通過實(shí)施“眼鏡”(Eyeglass)計劃和“薄膜光學(xué)成像器實(shí)時開發(fā)”(MOIRE)計劃,快速推動了技術(shù)發(fā)展。
“眼鏡”計劃
1996年,美國勞倫斯利弗莫爾國家實(shí)驗(yàn)室(LLNL)提出利用衍射光學(xué)元件實(shí)現(xiàn)大口徑空間光學(xué)系統(tǒng)。1997年,實(shí)驗(yàn)室從高分辨率對地觀測、大型激光武器以及天文觀測等方面的應(yīng)用需求出發(fā),提出“眼鏡”計劃,利用衍射光學(xué)元件實(shí)現(xiàn)口徑大于25m的空間望遠(yuǎn)鏡,解決傳統(tǒng)大口徑光學(xué)系統(tǒng)受光學(xué)精度和發(fā)射條件制約的問題,并針對這一計劃開展了概念研究工作。
至2002年,勞倫斯利弗莫爾國家實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)完成了膜基衍射光學(xué)元件加工方法、寬譜段色差校正方法、拼接衍射光學(xué)元件成像性能以及折疊展開方案的驗(yàn)證工作。但是由于當(dāng)時微細(xì)加工水平較低,采用濕法刻蝕工藝,導(dǎo)致所研制的200mm口徑原理樣機(jī)長度大于20m,實(shí)際應(yīng)用受限。在此后幾年重點(diǎn)開展了微細(xì)加工技術(shù)攻關(guān)。
折疊展開試驗(yàn)?zāi)P褪疽鈭D
800mm口徑拼接衍射光學(xué)主鏡示意圖
獵鷹衛(wèi)星-7計劃
美國空軍學(xué)院(USAFA)從2010年開始研制薄膜衍射空間望遠(yuǎn)鏡,即獵鷹衛(wèi)星-7(FalconSat-7)微衛(wèi)星計劃,原計劃2013年發(fā)射,目前推遲,具體時間未定。獵鷹衛(wèi)星-7采用波音公司為美國國家偵察局制造的殖民地-2(Colony-2)3U立方體衛(wèi)星為平臺,尺寸約為30cm×10cm×10cm,搭載一臺口徑20cm、焦距為1m的“光子篩”薄膜衍射望遠(yuǎn)鏡,工作波長為656.28nm,質(zhì)量低于5kg。該系統(tǒng)為單波長系統(tǒng),主要用于太陽觀測。
“光子篩”是近10年發(fā)展起來的一種新型衍射光學(xué)成像器件,同樣是實(shí)現(xiàn)衍射光學(xué)成像的一種方式,由于其加工難度較菲涅耳波帶片類型的衍射光學(xué)元件低很多,因此得到了一定的關(guān)注。但是其衍射效率較低,在目前對地光學(xué)遙感應(yīng)用的項(xiàng)目研究中主要采用菲涅耳類型的衍射光學(xué)元件。
獵鷹衛(wèi)星-7微衛(wèi)星搭載的“光子篩”成像系統(tǒng)示意圖
美國空軍學(xué)院研制的“光子篩”(左圖為實(shí)物;右圖為測試結(jié)果示意圖)
米級膜基衍射光學(xué)元件示意圖
5m口徑地面樣機(jī)的1/8部分示意圖
“薄膜光學(xué)成像器實(shí)時開發(fā)”計劃
2010年,美國國防高級研究計劃局(DARPA)啟動“薄膜光學(xué)成像器實(shí)時開發(fā)”計劃,繼承勞倫斯利弗莫爾國家實(shí)驗(yàn)室的“眼鏡”計劃,正式開始地球靜止軌道膜基衍射光學(xué)成像技術(shù)研究。由于膜基衍射光學(xué)成像系統(tǒng)涉及多個關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域,鮑爾宇航公司牽頭并聯(lián)合多家單位共同開展研究。其中,鮑爾宇航公司負(fù)責(zé)總體研究,包括整機(jī)結(jié)構(gòu)、在軌控制等技術(shù)研究;NeXolve負(fù)責(zé)低熱膨脹系數(shù)聚酰亞胺薄膜材料技術(shù)研究;勞倫斯利弗莫爾國家實(shí)驗(yàn)室負(fù)責(zé)膜基衍射光學(xué)元件加工;軌道-阿連特技術(shù)系統(tǒng)公司(簡稱軌道-ATK公司)負(fù)責(zé)折疊與展開技術(shù)攻關(guān)、支撐結(jié)構(gòu)設(shè)計等?!氨∧す鈱W(xué)成像器實(shí)時開發(fā)”計劃的設(shè)計指標(biāo):①光學(xué)系統(tǒng)口徑20m;②地面分辨率1m;③數(shù)據(jù)更新率1Hz;④成像面積100km2;⑤圖像質(zhì)量NIIRS 3.5+(即地面分辨率優(yōu)于1m)。
該項(xiàng)目研究分3個階段,已經(jīng)完成系統(tǒng)概念研究、米級膜基衍射光學(xué)元件研制與測試以及5m口徑地面樣機(jī)成像試驗(yàn),目前正在開展10m口徑飛行試驗(yàn)產(chǎn)品研制工作。經(jīng)過4年的研究,將相關(guān)技術(shù)的成熟度從1級提升至3~5級。
美國在膜基衍射光學(xué)成像技術(shù)方面的發(fā)展趨勢
(1)項(xiàng)目組織形式多元化
利用衍射光學(xué)元件實(shí)現(xiàn)大口徑空間光學(xué)系統(tǒng)是由勞倫斯利弗莫爾國家實(shí)驗(yàn)室在1996年提出并開展研究的,由于該實(shí)驗(yàn)室具有較強(qiáng)的微細(xì)加工能力,在衍射光學(xué)元件加工、拼接衍射光學(xué)元件試驗(yàn)等方面取得了一定研究成果。然而由于該系統(tǒng)涉及多領(lǐng)域、多學(xué)科,而實(shí)驗(yàn)室獨(dú)自開展研究工作,只涉及到光學(xué)和微細(xì)加工領(lǐng)域,無法覆蓋所有關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域。并且缺乏任務(wù)總體規(guī)劃,組織形式單一,2003-2010年,該項(xiàng)目并未取得突破進(jìn)展,仍然停留在衍射光學(xué)元件加工層面。
2010年,美國國防高級研究計劃局啟動“薄膜光學(xué)成像器實(shí)時開發(fā)”計劃,從頂層規(guī)劃了地球靜止軌道膜基衍射光學(xué)成像技術(shù)的發(fā)展。由于膜基衍射光學(xué)成像系統(tǒng)涉及多個關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域,因此,由鮑爾宇航公司牽頭并聯(lián)合多家單位共同開展研究,各家單位專注于自身優(yōu)勢領(lǐng)域開展相關(guān)技術(shù)的深入攻關(guān),使該項(xiàng)目得到快速推進(jìn)。其中,勞倫斯利弗莫爾國家實(shí)驗(yàn)室只承擔(dān)膜基衍射光學(xué)元件研制工作,集中力量開展加工技術(shù)攻關(guān),2年內(nèi)就取得關(guān)鍵突破。目前該項(xiàng)目經(jīng)過4年攻關(guān),已完成系統(tǒng)級測試,正在開展飛行試驗(yàn)產(chǎn)品研制。對于涉及多領(lǐng)域的地球靜止軌道膜基衍射光學(xué)成像技術(shù)研究,多元的項(xiàng)目組織形式可以快速推進(jìn)技術(shù)進(jìn)步。
(2)系統(tǒng)單平臺化
衍射光學(xué)成像系統(tǒng)的長度,主要取決于衍射光學(xué)主鏡的焦距長短,同衍射光學(xué)元件的加工能力直接相關(guān)。基于當(dāng)時所采用的濕法刻蝕加工工藝,最初由勞倫斯利弗莫爾國家實(shí)驗(yàn)室提出的“眼鏡”計劃中的系統(tǒng)長度約2~3km,因此需要采用雙平臺構(gòu)型方案。這種構(gòu)型方案的特點(diǎn)是系統(tǒng)長、主鏡研制難度低、編隊飛行。
上述雙平臺方案需要采用編隊飛行策略,實(shí)現(xiàn)難度較大。2010年,干法刻蝕加工工藝的發(fā)展使得最小環(huán)帶寬度的加工水平大幅提高,可以在一定程度上縮短衍射光學(xué)主鏡焦距。因此,“薄膜光學(xué)成像器實(shí)時開發(fā)”項(xiàng)目在前期“眼鏡”項(xiàng)目研究基礎(chǔ)上提出了單平臺構(gòu)型方案,該方案的特點(diǎn)是系統(tǒng)短、主鏡研制難度大、雙平臺桁架支撐。
系統(tǒng)長度縮短,采用桁架結(jié)構(gòu)支撐,無需編隊飛行,實(shí)現(xiàn)難度大幅降低,并且系統(tǒng)可單次發(fā)射入軌。膜基衍射光學(xué)主鏡采用干法刻蝕加工工藝,提升了主鏡研制水平。相比于雙平臺構(gòu)型方案,單平臺系統(tǒng)更具可行性。
美國國防高級研究計劃局先期開展的“光子篩”系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)示意圖
(3)衍射主鏡發(fā)展成菲涅爾形式
2009年,在“薄膜光學(xué)成像器實(shí)時開發(fā)”項(xiàng)目立項(xiàng)階段,曾采用振幅型光子篩形式衍射光學(xué)元件開展技術(shù)驗(yàn)證,但衍射效率只有0.35%,理論衍射效率約16%,而相位型光子篩的理論衍射效率會有所提升,但同樣難以滿足應(yīng)用需求。
2010年,由勞倫斯利弗莫爾國家實(shí)驗(yàn)室加工并測試了口徑800mm的離軸圓環(huán)非拼接菲涅爾形式的衍射光學(xué)元件,臺階級數(shù)為2級,衍射效率達(dá)到35%,如果提高加工工藝水平,衍射效率還可以得到大幅提升。因此,隨著微細(xì)加工水平的提升,未來將采用菲涅爾形式的衍射光學(xué)元件作為地球靜止軌道1m分辨率膜基衍射光學(xué)成像系統(tǒng)主鏡。
(4)衍射微結(jié)構(gòu)多臺階化
“薄膜光學(xué)成像器實(shí)時開發(fā)”項(xiàng)目在2012年加工了2臺階微結(jié)構(gòu)的膜基衍射光學(xué)元件,衍射效率達(dá)到33%,但是聚焦能量相對較低,仍然達(dá)不到NIIRS 3.5的成像質(zhì)量要求。并且會產(chǎn)生較大的背景光,影響成像質(zhì)量。
通過改進(jìn)加工工藝,勞倫斯利弗莫爾國家實(shí)驗(yàn)室于2014年成功在4μm寬度上上加工了4臺階微結(jié)構(gòu),最小加工線寬1μm,使衍射效率提升至約60%,滿足了成像要求。并且使衍射光學(xué)主鏡F數(shù)降低至3.2,大大縮短系統(tǒng)長度。
由此分析,膜基衍射光學(xué)元件單個周期上加工的臺階微結(jié)構(gòu)數(shù)越多,衍射效率越高,并且至少要加工4臺階微結(jié)構(gòu),才能使其衍射效率滿足成像要求。隨著微細(xì)加工水平的提升,多臺階化是膜基衍射光學(xué)元件的發(fā)展趨勢。
(5)膜基衍射光學(xué)元件支撐結(jié)構(gòu)圓形化
“薄膜光學(xué)成像器實(shí)時開發(fā)”項(xiàng)目在2012年采用梯形薄膜支撐結(jié)構(gòu)開展試驗(yàn),經(jīng)測試,由于結(jié)構(gòu)變形導(dǎo)致膜基衍射光學(xué)元件表面受力不均,對面形影響很大。
2014年,通過仿真分析,改用圓環(huán)形支撐結(jié)構(gòu),消除表面受力不均的影響,大大提升了膜基衍射光學(xué)元件面形精度。
由于膜基衍射光學(xué)成像技術(shù)的巨大應(yīng)用前景,國內(nèi)多家單位開展了研究,研究重點(diǎn)主要是膜基衍射光學(xué)元件加工技術(shù),目前已有相關(guān)成果。但是在空間光學(xué)級薄膜材料、微細(xì)加工工藝、系統(tǒng)集成測試等方面仍與國外有較大差距。在這些領(lǐng)域,可以充分借鑒國外發(fā)展思路及研究成果,推動國內(nèi)相關(guān)技術(shù)進(jìn)步。
4臺階膜基衍射光學(xué)元件示意圖
10m飛行試驗(yàn)樣機(jī)部分組件示意圖
膜基衍射光學(xué)成像系統(tǒng)是基于衍射光學(xué)成像技術(shù)原理,以平面形膜基衍射光學(xué)元件代替?zhèn)鹘y(tǒng)透射或反射式光學(xué)元件,作為巨型口徑光學(xué)成像系統(tǒng)主鏡的新型光學(xué)成像系統(tǒng)。
衍射光學(xué)元件具有獨(dú)特的色散特點(diǎn),色散只與波長有關(guān),工作譜段越寬,色散距離就越大,這是與傳統(tǒng)光學(xué)系統(tǒng)之間存在的最大不同,也是導(dǎo)致系統(tǒng)設(shè)計難度大幅增加的關(guān)鍵。系統(tǒng)必須具備寬譜段色差校正功能,才能滿足成像要求。
膜基衍射光學(xué)成像系統(tǒng)組成主要包括膜基衍射光學(xué)主鏡、后端成像子系統(tǒng)以及探測子系統(tǒng),各部分功能為:
1)膜基衍射光學(xué)主鏡為拼接巨型口徑(≥20m)膜基衍射光學(xué)元件,作用是收集并會聚光線。
2)后端成像子系統(tǒng)主要實(shí)現(xiàn)寬譜段色差校正及再成像功能。其中,中繼模塊為傳統(tǒng)透鏡/反射鏡組,作用是將主鏡收集的光線重新聚焦于校正鏡表面的相應(yīng)點(diǎn);校正模塊為小口徑衍射光學(xué)元件,作用是消除主鏡的色散,使成像系統(tǒng)具有較寬的光譜范圍;聚焦模塊為傳統(tǒng)透鏡/反射鏡組,作用是將經(jīng)過色差校正后的光線重新聚焦成像。
3)探測子系統(tǒng)的作用是光電轉(zhuǎn)換并進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。
由于這種巨型口徑光學(xué)成像系統(tǒng)的主鏡采用平面薄膜衍射光學(xué)元件,將帶來一系列技術(shù)優(yōu)勢,具有能夠解決地球靜止軌道1m分辨率成像系統(tǒng)研制遇到的顛覆性問題的潛力,主要體現(xiàn)在:
1)采用平面薄膜基底,實(shí)現(xiàn)超低面密度。膜基衍射光學(xué)主鏡可加工在厚度小于50μm的薄膜基底上,面密度小于0.05kg/m2,從而極大降低系統(tǒng)質(zhì)量。
2)面形公差寬松。相比反射式系統(tǒng),衍射光學(xué)成像系統(tǒng)對公差要求更寬松。例如對于F#=8的系統(tǒng),衍射主鏡面形公差是反射式系統(tǒng)約1000倍,將傳統(tǒng)反射式系統(tǒng)10~20nm的面形精度要求降低到10~20μm。
3)易實(shí)現(xiàn)巨型口徑。膜基衍射光學(xué)主鏡可以分塊加工,易拼接形成巨型口徑(≥20m),且拼接精度要求較低,同時可采用地面收攏、在軌展開方式滿足發(fā)射運(yùn)載包絡(luò)要求。
面向地球靜止軌道1m分辨率對地觀測應(yīng)用的膜基衍射光學(xué)成像系統(tǒng),由于受衍射光學(xué)成像原理、薄膜材料、大型剛?cè)狁詈峡臻g結(jié)構(gòu)等問題制約,要實(shí)現(xiàn)地球靜止軌道應(yīng)用,需要針對多個領(lǐng)域的多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)開展攻關(guān),主要包括以下幾個方面。
膜基衍射光學(xué)成像系統(tǒng)組成示意圖
系統(tǒng)總體技術(shù)
地球靜止軌道1m分辨率膜基衍射光學(xué)成像系統(tǒng)作為大型空間設(shè)施,系統(tǒng)復(fù)雜度高,需要進(jìn)行系統(tǒng)級優(yōu)化設(shè)計以解決構(gòu)型選擇、資源能源分配、對地觀測策略等問題,指導(dǎo)系統(tǒng)的設(shè)計。同時,需要開展載荷-平臺一體化設(shè)計攻關(guān),以滿足巨型口徑膜基衍射光學(xué)成像系統(tǒng)的在軌應(yīng)用。通過系統(tǒng)設(shè)計,梳理對各分系統(tǒng)的需求,建立指標(biāo)需求體系,指導(dǎo)分系統(tǒng)設(shè)計。
此外,由于衍射光學(xué)元件的特殊色散特點(diǎn),突破具有寬譜段色差校正能力的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計,是系統(tǒng)設(shè)計需重點(diǎn)關(guān)注的關(guān)鍵問題。
膜基衍射光學(xué)主鏡技術(shù)
主要包括空間光學(xué)級薄膜材料及薄膜制備、衍射微結(jié)構(gòu)加工、主鏡折疊展開與在軌調(diào)整三個方面。
1)用于光學(xué)成像的膜基衍射光學(xué)元件基底材料,必須能夠克服發(fā)射環(huán)境、地球靜止軌道輻照環(huán)境、地球靜止軌道熱環(huán)境等的影響,需要在材料的工作譜段、透過率、厚度均勻性、表面光潔度、雙折射率、熱膨脹系數(shù)、空間環(huán)境耐受性、力學(xué)強(qiáng)度等多項(xiàng)性能指標(biāo)上進(jìn)行提升。
2)衍射微結(jié)構(gòu)的加工難易通常與系統(tǒng)長度、衍射效率有關(guān),為縮短系統(tǒng)長度、提升衍射效率,要求衍射微結(jié)構(gòu)的加工能力達(dá)到亞微米,同時要滿足大尺寸以及離軸微結(jié)構(gòu)的加工要求。目前加工能力尚不滿足,需要針對微細(xì)結(jié)構(gòu)加工開展攻關(guān)。
3)地球靜止軌道1m分辨率膜基衍射光學(xué)成像系統(tǒng)主鏡口徑約20m,為滿足發(fā)射條件,必須采取“折疊發(fā)射-入軌展開”的方式實(shí)施,折疊展開方式的選擇要充分平衡發(fā)射尺寸與展開復(fù)雜度的矛盾。此外,由于主鏡口徑巨大,展開精度難以達(dá)到光學(xué)成像要求,需要為子鏡配置微調(diào)機(jī)構(gòu),制定自適應(yīng)像質(zhì)閉環(huán)校正方案。
大型可展開伸展臂支撐結(jié)構(gòu)技術(shù)
單平臺構(gòu)型是膜基衍射光學(xué)成像系統(tǒng)平臺構(gòu)型的發(fā)展趨勢,而伸展臂支撐結(jié)構(gòu)是單平臺構(gòu)型中用于連接主鏡與后端成像系統(tǒng)的重要組件。主鏡沿光軸方向的收攏和展開、主鏡的徑向收攏展開以及展開后的支撐都是由伸展臂支撐結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn),伸展臂支撐結(jié)構(gòu)對于整個系統(tǒng)的折疊展開功能及穩(wěn)定成像發(fā)揮至關(guān)重要的作用,是重點(diǎn)關(guān)鍵技術(shù)之一。相關(guān)研究內(nèi)容包括:①大伸縮比可展開支撐結(jié)構(gòu)技術(shù);②高精度展開執(zhí)行機(jī)構(gòu)技術(shù);③鎖定機(jī)構(gòu)技術(shù);④伸展臂結(jié)構(gòu)空間特性在軌測量技術(shù)。
在軌高精度控制技術(shù)
地球靜止軌道1m分辨率膜基衍射光學(xué)成像系統(tǒng)作為大型空間結(jié)構(gòu)體,在軌工作時存在多模式、多目標(biāo)、大慣量、大撓性的特點(diǎn),在軌高精度控制是該系統(tǒng)的重點(diǎn)關(guān)鍵技術(shù)之一。由于系統(tǒng)涉及到入軌展開、指向機(jī)動、受擾恢復(fù)等多種復(fù)雜在軌動作,因此,控制技術(shù)需要解決在軌展開過程控制、在軌動作下高精度控制問題。
根據(jù)國內(nèi)外研究,膜基衍射光學(xué)成像技術(shù)是實(shí)現(xiàn)地球靜止軌道1m分辨率成像的一種重要、可行技術(shù)途徑。鑒于地球靜止軌道1m分辨率對地成像的巨大應(yīng)用前景,國內(nèi)應(yīng)盡快開展膜基衍射光學(xué)成像技術(shù)研究,尤其是在微細(xì)加工、大型空間結(jié)構(gòu)體控制等方面,提升基礎(chǔ)能力,為實(shí)現(xiàn)地球靜止軌道1m分辨率膜基衍射光學(xué)成像系統(tǒng)提供創(chuàng)新解決方案。同時,探索該項(xiàng)技術(shù)在天文觀測、激光雷達(dá)以及空間太陽能收集等領(lǐng)域的應(yīng)用,充分發(fā)揮膜基衍射光學(xué)成像技術(shù)的特殊優(yōu)勢。
Development and Application of GEO Membrane Based Diffraction Optical Imaging System