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美國(guó)研發(fā)出金剛石 氮化硼晶體層可用于高功率器件

2016-03-12 05:26
電子工業(yè)專用設(shè)備 2016年5期
關(guān)鍵詞:氮化硼高功率金剛石

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美國(guó)研發(fā)出金剛石 氮化硼晶體層可用于高功率器件

北卡羅來(lái)納州立大學(xué)的材料研究人員已經(jīng)開(kāi)發(fā)出一種新技術(shù),將金剛石沉積在立方體氮化硼表面(c-BN),結(jié)合成一個(gè)新的單晶體結(jié)構(gòu)。

“這種材料可以用來(lái)制造大功率設(shè)備,如創(chuàng)建下一代智能電網(wǎng)所需的固態(tài)變壓器,”,北卡州立大學(xué)材料科學(xué)與工程特聘講席教授及本研究論文的主要作者Jay Narayan說(shuō)。

“它也可以用來(lái)制造刀具、高速切削加工和深海鉆井設(shè)備,”Narayan說(shuō)?!敖饎偸軋?jiān)硬但也容易氧化成柔軟的石墨。c-BN包覆層可以防止氧化。金剛石也與鐵相互作用,使其難以用于鋼工具。再次,c-BN會(huì)解決這個(gè)問(wèn)題。”

c-BN是一種具有立方晶體結(jié)構(gòu)的氮化硼(BN)。它與金剛石性能相似,但有幾個(gè)優(yōu)點(diǎn):c-BN具有較高的帶隙,這使其用于大功率器件極具吸引力;c-BN可以被“摻雜”,使其具有正、負(fù)電荷層,這意味著它可以被用來(lái)制造晶體管;當(dāng)暴露在氧氣中時(shí),其表面形成穩(wěn)定的氧化層,使它在高溫條件下穩(wěn)定。今年早些時(shí)候,Narayan公布了一種更快、更便宜的制造c-BN的技術(shù)。

研究人員首先創(chuàng)建c-BN基體,用來(lái)創(chuàng)建外延、或單晶的金剛石/c-BN結(jié)構(gòu)。使用了Narayan今年早些時(shí)候發(fā)布的新技術(shù)。然后利用脈沖激光沉積法-在500℃和優(yōu)化的大氣壓力下-將金剛石沉積在c-BN表面。使用脈沖激光技術(shù)能夠控制金剛石層的厚度。

“在一個(gè)單腔室內(nèi)便可完成所有工作,過(guò)程更加節(jié)能,更有時(shí)效性,”Narayan說(shuō),“只需使用固態(tài)碳和氮化硼即可,它比傳統(tǒng)技術(shù)更環(huán)保?!?/p>

研究人員還能夠利用傳統(tǒng)的化學(xué)氣相沉積技術(shù)將金剛石沉積在c-BN表面,但這需要利用甲烷氣、氫氣和900°C的鎢燈絲。“化學(xué)氣相沉積的方法能夠完成這些工作,但我們的脈沖激光沉積方法效果更好,不涉及有毒氣體,可在較低的溫度下完成?!盢arayan說(shuō)。

Narayan已經(jīng)與人共同創(chuàng)立了一家公司,q-carbon有限責(zé)任公司。該公司擁有該項(xiàng)技術(shù)的授權(quán),致力于將該技術(shù)在多個(gè)應(yīng)用程序中實(shí)現(xiàn)商業(yè)化使用。

(來(lái)源:科學(xué)網(wǎng))

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