劉 洋

(中國電子科技集團公司第四十六研究所，天津300000)

隨著便攜式電子產(chǎn)品的飛速發(fā)展，在硅片趨向大直徑化的同時，對芯片的厚度也要求越來越薄，并且需要對單晶半導體硅片的背面進行減薄加工。集成電路（IC）是現(xiàn)代信息產(chǎn)業(yè)和信息社會的基礎。作為IC 發(fā)展的基礎和半導體芯片的理想襯底材料，硅片的表面質量直接影響著IC 器件的性能、成品率以及壽命。隨著硅片直徑的增大和器件尺寸的減小，對硅片表面加工質量的要求日益增高，不僅要求極高的平面度，極小的粗糙度，而且要求表面無變質層、無劃傷。目前，固結磨料的超精密磨削技術是加工大尺寸硅片的主要方法，但傳統(tǒng)的磨削技術會對硅片表面帶來一定程度的損傷，進而影響后道化學腐蝕及化學機械拋光（CMP）工藝的加工時間及成品率。對硅片磨削表面狀態(tài)的研究，有助于最終實現(xiàn)硅片的高效率、高精度、無損傷的光滑表面加工有著重要意義。本文針對目前存在的問題，對硅片磨削表面進行較深入研究，以解決部分現(xiàn)存問題。

1 單晶硅片的加工流程

對于單晶硅片，傳統(tǒng)的加工技術流程為：單晶生長 磨外圓及平邊（Flat/Notch）切片 倒圓角研磨 腐蝕 清洗 拋光。由于采用內(nèi)圓金剛石鋸片切割的硅片會產(chǎn)生較大的翹曲變形，硅片表面還會殘留切痕和微裂紋。在大直徑硅片的研磨過程中，為了得倒穩(wěn)定的，低粗糙度及低損傷的表面，一般應用超精密磨削來代替?zhèn)鹘y(tǒng)研磨和腐蝕。

2 單晶硅片表面產(chǎn)生的不同損傷

2.1 單晶硅片損傷層形成原因

單晶硅片切割、研磨、磨削、拋光等超精密加工過程中，在刀具（磨料）的機械作用下，硅片表面將產(chǎn)生非晶化、多晶化、微裂紋、塑性變形等，表面層結構相對于基體材料發(fā)生明顯變化，基體材料明顯不同，一般將發(fā)生結構變化的表面層稱為損傷層或變質層。硅片切割、研磨、磨削過程中會不可避免的給硅片表面帶來損傷層，該損傷層會影響下一道工序的加工時間，成品率等。為了提高生產(chǎn)效率，要盡量減小各工序所產(chǎn)生的表面損傷。硅片表面任何損傷都會導致最后得到的器件失效，為了提高IC 的成品率，就需要最后拋光后得到的是無損的，光滑的表面。

2.2 硅片加工表面層損傷形式

硅片加工表面層損傷分為表面損傷和亞表面損傷。表面損傷有劃痕、微裂紋、破碎、橘皮和凹坑等。亞表面損傷有非晶層、多晶層、微裂紋、位錯、層錯、彈性畸變和殘余應力等。

2.3 相變引起的損傷

相變，是指相的數(shù)目或相的性質變化。由于溫度、壓力各種物理參數(shù)的改變而引起的結構狀態(tài)的變化稱為結構相變。自從Jamieson 發(fā)現(xiàn)單晶硅的高壓相變現(xiàn)象以后，有關單晶硅的高壓相變的研究越來越多。非晶層和多晶層的存在說明硅片表面發(fā)生了相變。

2.3.1 磨削實驗

硅片的磨削加工以DAG810 型磨床為實驗平臺，砂輪和工作臺同時轉動，砂輪主軸有一個軸向進給，如圖1所示。實驗選用直徑為100 mm 的直拉（CZ）法生長的〈100〉單晶硅片，該硅片是經(jīng)過腐蝕的研磨硅片，表面無損傷。

圖1 磨削機工作原理

硅片的超精密磨削工藝通常分為粗磨（600號砂輪）、半精磨（1000 號砂輪）和精磨（2000 號砂輪），粗磨用來快速去除大部分加工余量并使硅片達到一定的表面平整度，然后通過半精磨來去除部分加工余量并減少硅片表面層損傷深度，最后用精磨來去除剩余加工余量和半精磨后的表面損傷，保證磨削后硅片的亞表面損傷深度較小，從而減小后續(xù)拋光工序的拋光時間。實驗采用的砂輪為DAG 公司生產(chǎn)的樹脂結合型金剛石砂輪。粗磨、半精磨和精磨時硅片的去除厚度分別為200，100 和50 微米，磨削時采用去離子水進行冷卻。實驗參數(shù)如表1。

表1 不同型號砂輪的磨削參數(shù)

2.3.2 不同型號砂輪磨削后的光譜掃描

由于硅片磨削表面各點的狀態(tài)并不完全一致，所以測量某一點的相變不具有代表性?？紤]到硅片磨削表面磨紋有一定的分布規(guī)律，所以采用顯微Raman 光譜儀對粗磨、半精磨和精磨硅片表面沿垂直于磨紋的方向進行線掃描。

（1）粗磨磨削的掃描光譜

從圖2可以看出粗磨硅片表面上各點的拉曼光譜區(qū)別不大。

（2）半精磨硅片的掃描光譜

圖2 粗磨硅片表面的拉曼光譜

半精磨硅片表面各點拉曼光譜區(qū)別較大，如圖3，光譜中存在多個Si 相的特征峰。多出來的Si 相的存在，表明相變強度很大，硅片表面有較高的局部壓應力。而Si-IV 相則表示該位置出現(xiàn)Si的六方金剛石結構。

圖3 半精磨硅片表面的拉曼光譜

（3）精磨硅片的表面掃描光譜

精磨硅片表面上各點的拉曼光譜比較一致，如圖4。經(jīng)2000 號砂輪磨削的硅片表面雖然也存在多個Si 相，但相變強度較小。精磨硅片的相變強度比半精磨硅片的相變強度小很多。

圖4 精磨硅片表面的拉曼光譜

2.3.3 結論

磨削條件不同，硅片表層的相變強度不同，半精磨和精磨硅片表面層發(fā)生了相變。在加載時單晶硅首先發(fā)生由非晶相變而產(chǎn)生的塑性屈服，進而再發(fā)生由硅原子晶格變形而引起的形變。加載過程中，局部應力不同會轉變?yōu)椴煌南唷Ｐ遁d時部分相是不可逆的，另一部分是可逆的會變回Si-I 相，如圖5所示。

圖5 硅片半精磨和精磨過程中單晶硅的相變

總之，磨粒尺寸和形狀不同，磨削壓力和磨削深度也有所不同，從而導致材料的去除機理不同。壓力致使單晶硅由脆性性質（容易發(fā)生斷裂）轉變?yōu)樗苄孕再|，有利于改善單晶硅的切削加工性能。隨著磨粒尺寸減小，單晶硅磨削時的去除方式由脆性斷裂向著塑性斷裂方式改變。

2.4 由塑性形變引起的損傷

磨削加工是通過磨料對被加工材料有限度的損傷而實現(xiàn)的，材料的去除是通過塑性變形微觀裂紋的形成與擴展來實現(xiàn)的。由于單晶硅材料的高脆性，表面層會有微裂紋存在。在表面應力的作用下，微裂紋會對材料的強度產(chǎn)生很大的影響，進而使得硅片斷裂。所以在實際生產(chǎn)中要盡量避免微裂紋的產(chǎn)生。生產(chǎn)中應通過調(diào)整磨削去除量、磨削主軸轉速（砂輪轉速）及砂輪進行及時調(diào)整，以避免產(chǎn)生過大的磨削應力，確保冷卻水的供應從而減小熱應力，從而使得硅片在磨削時表面盡可能少的產(chǎn)生微裂紋。

2.5 由殘余應力引起的損傷

單晶硅片經(jīng)機械加工后常常會處于明顯且復雜的殘余應力狀態(tài)，這些殘余應力對硅片的疲勞性能、腐蝕性能、脆性及尺寸穩(wěn)定性等有很大的影響。隨著硅片的直徑增大，硅片中硅片中的殘余應力會對所生產(chǎn)的IC 器件的各項性能產(chǎn)生極大的沖擊。單晶硅片的磨削所產(chǎn)生的殘余應力對磨削微裂紋的產(chǎn)生無直接影響，但會影響微裂紋的生長及放大。從而降低硅片的使用性能，所以說硅片中的殘余應力會影響IC 的性能和可靠性。因此在硅片磨削的過程中，應保證硅片受力均勻，磨削時盡量保證溫度恒定。

3 總 結

硅片的磨削技術已經(jīng)廣泛應用于硅片的加工，了解硅片磨削表面產(chǎn)生各種不同損傷的原理更有助于在生產(chǎn)過程中提高硅片磨削表面層質量，減少后續(xù)拋光時間，提高硅片成品率及質量。

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