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新型低電壓大變形微驅(qū)動器數(shù)值求解及仿真

2014-03-11 17:01:41田文超,陳志強(qiáng),山磊
計算物理 2014年2期
關(guān)鍵詞:低電壓驅(qū)動器數(shù)值

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