曹婭

摘 要：文章概述了多弧離子鍍TiAlN涂層的研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)，詳細(xì)分析了Al元素含量和弧電流、N2流量、基體偏壓、溫度等工藝參數(shù)對(duì)TiAlN涂層的結(jié)構(gòu)、硬度、結(jié)合力、耐磨性等性能的影響。目前，多弧離子鍍TiAlN涂層存在液滴數(shù)量多，為了進(jìn)一步促進(jìn)多弧離子鍍TiAlN涂層的應(yīng)用，需進(jìn)一步優(yōu)化工藝，發(fā)展納米TiAlN涂層。

關(guān)鍵詞：多??；離子鍍；TiAlN涂層；研究

多弧離子鍍屬于離子鍍的一種改進(jìn)方法，最早是由蘇聯(lián)人開發(fā)，上世紀(jì)80 年代初， 美國的Multi- Arc 公司和Vac- Tec 公司首先把這種技術(shù)實(shí)用化[1]。其基本原理[2]是在真空腔內(nèi)，基底與蒸發(fā)源施加一電場(chǎng)，當(dāng)腔體壓力適當(dāng)時(shí)，蒸發(fā)源與基底之間會(huì)產(chǎn)生輝光放電或弧光放電，在和電子碰撞過程中，會(huì)形成氣體離子和靶材（薄膜材料）的離子，這些離子在電場(chǎng)中被加速飛向基底，于是在離子轟擊影響下發(fā)生凝結(jié)而形成薄膜。多弧離子鍍TiAlN涂層是在TiN涂層的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種新型三元復(fù)合涂層，TiAlN涂層具有更高的硬度、抗高溫氧化性、熱疲勞性能、耐磨性等特點(diǎn)，目前在模具制造、航空發(fā)動(dòng)機(jī)和生物醫(yī)學(xué)等方面已有應(yīng)用[3-5]。因此，多弧離子鍍TiAlN涂層近年來受到廣泛地關(guān)注。

1 TiAlN涂層的性能

1.1 Al元素對(duì)涂層結(jié)構(gòu)的影響

1.3 Al元素對(duì)涂層結(jié)合力的影響

1.4 Al元素對(duì)耐磨性的影響

Al元素對(duì)TiAlN 涂層耐磨性的作用具有雙重性[16]，研究表明，摩擦系數(shù)隨著Al含量的增加而減小，耐磨性能提高。

1.5 靶材的選擇

Al元素的引入可改善涂層結(jié)構(gòu)，提高硬度、結(jié)合力和耐磨性，為了在沖壓模具上獲取更優(yōu)質(zhì)性能的涂層，首先應(yīng)考慮基材與TiAlN涂層的關(guān)系，其次最重要的是靶材的選擇和工藝參數(shù)的優(yōu)化。張德元[17]研究表明分離靶（Ti靶、Al靶）不利于整爐產(chǎn)品涂層的均勻性，因此，一般來說選擇TiAl合金靶作為靶材。

2 多弧離子鍍工藝參數(shù)對(duì)TiAlN涂層的影響

2.1 弧電流對(duì)TiAlN涂層的影響

試驗(yàn)研究發(fā)現(xiàn)，弧電流與涂層厚度呈正比關(guān)系，同時(shí)硬度也隨著弧電流的增加而增加。但是對(duì)于一定的靶材，增加弧電流，意味著靶材整體溫度的升高，相應(yīng)的液滴的產(chǎn)生會(huì)隨之增多，而且液滴的尺寸也會(huì)增大，在沉積的過程中會(huì)形成大顆粒，大大降低涂層的各種性能。

圖3 不同弧流條件下TiAlN膜層的表面形貌

從圖3可以看出，當(dāng)電流從60 A增大到100 A時(shí)，薄膜表面的顆粒尺寸越大，數(shù)量也越多，涂層表面的大顆粒缺陷也就越嚴(yán)重，因此，在不影響涂層厚度的情況下，盡量采用低電流。

2.2 N2流量對(duì)TiAlN涂層的影響

3 結(jié)束語

3.1 多弧離子鍍TiAlN涂層由于Al元素的引入可改善涂層結(jié)構(gòu)，提高硬度、結(jié)合力和耐磨性。

3.2 選擇TiAl合金靶作為陰極靶材，有望獲得更加均勻的涂層。

3.3 弧電流為60A，基體偏壓為-800V時(shí)，TiAlN涂層表面液滴密度和直徑較小。

3.4 N2流量為200sccm時(shí)，TiAlN涂層硬度高達(dá)3300HV。

3.5 為了進(jìn)一步研究多弧離子鍍TiAlN涂層的性能及應(yīng)用，還需進(jìn)一步優(yōu)化工藝參數(shù)，獲得納米涂層。

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