曾毅波，陳觀生，趙祖光，劉 暢，劉 俊，王婷婷，郭 航*

(1．廈門大學(xué)薩本棟微米納米科學(xué)技術(shù)研究院，福建 廈門361005;2．廈門大學(xué)機(jī)電工程系，福建 廈門361005)

基于MEMS技術(shù)的μ-DMFC具有能量密度高、操作簡單、啟動(dòng)速度快、環(huán)保清潔等優(yōu)點(diǎn)，能有效解決目前限制微小型電子器件發(fā)展的供能問題，所以是當(dāng)前微能源領(lǐng)域中一個(gè)研究熱點(diǎn)[1]。

流場板是μ-DMFC的重要組件。目前流場板主要采用3種材料:硅、不銹鋼和聚合物(以PDMS為主)。Kelly[2]等在2000年最早提出了利用硅片制作μ-DMFC的陽極和陰極流場板，其輸出功率密度小于0．2 mW/cm2。清華大學(xué)王曉紅教授等[3]在硅片上刻蝕出流道，并認(rèn)為溝道寬度和溝脊寬度為1∶1時(shí)，μ-DMFC輸出性能最優(yōu)，同時(shí)研制堆棧式硅基自呼吸式μ-DMFC，甲醇溶液通過共享模式在 μ-DMFC中傳輸，其最大輸出功率為4.52 mW，幾乎是單體μ-DMFC最大輸出功率的兩倍[4]。哈爾濱工業(yè)大學(xué)劉曉為教授等[5]認(rèn)為硅基流場板上采用單蛇形流場結(jié)構(gòu)μ-DMFC的輸出性能要優(yōu)于采用點(diǎn)形、平行流場結(jié)構(gòu)μ-DMFC的輸出性能，在此基礎(chǔ)上，為了改善反應(yīng)物到催化層的傳質(zhì)效率，提出了一種漸縮式單蛇形流場結(jié)構(gòu)，其輸出性能比傳統(tǒng)等寬式單蛇形流場提高了將近35%。香港科技大學(xué)趙天壽教授等[6]利用線切割工藝獲得流道寬度為500 μm的不銹鋼流場板，并認(rèn)為當(dāng)流道深度為500 μm時(shí)，μ-DMFC在30℃可獲得最大的功率輸出密度為34 mW/cm2。他們認(rèn)為采用不銹鋼作為流場板材料的μ-DMFC其輸出性能要優(yōu)于硅基μ-DMFC，主要是由于不銹鋼比硅具有更好的電導(dǎo)率和熱導(dǎo)率。劉曉為教授等[7]采用高溫微型沖壓技術(shù)制作不銹鋼流場板，并在其表面濺射Au和TiN來防止電化學(xué)腐蝕和減少接觸電阻，其μ-DMFC在室溫條件下最高輸出功率密度可達(dá)到24 mW/cm2。得益于LIGA和深反應(yīng)離子刻蝕DRIE(Deep Reactive Ion Etching)工藝的成熟，聚合物作為流場板材料開始應(yīng)用于μ-DMFC中。最為典型的聚合物材料是PDMS。通過LIGA或DRIE工藝，可以在硅片上獲得高深寬比(5∶1～20∶1)微通道，以此微通道硅片作為微模具，把液狀的PDMS注入微模具中，加熱固化，就可以得到相應(yīng)的以 PDMS材料制成的流場板[8]。Shah等[9]于2004年首次報(bào)道了利用軟光刻技術(shù)制作基于PDMS材料的微型氫氧燃料電池，其最大輸出功率僅為0．35 mW/cm2。雖然基于 PDMS材料的 μ-DMFC的相關(guān)報(bào)道比較少，但其流場板制作方式與微型氫氧燃料電池的流場板制作方式一致。硅、不銹鋼和聚合物三種材料作為μ-DMFC流場板的特性如表1所示。

硅基的微納器件，在充分利用了硅的電子和機(jī)械性能的基礎(chǔ)上，實(shí)現(xiàn)了微電子與微機(jī)械的系統(tǒng)集成。但是，如表1所示，硅的機(jī)械強(qiáng)度不良，脆性高，封裝硅基μ-DMFC時(shí)，當(dāng)鎖緊力過大，容易導(dǎo)致流場板的破裂，使得甲醇溶液從陽極滲漏到陰極。

基于良好的電導(dǎo)率和熱導(dǎo)率，采用不銹鋼作為流場板的μ-DMFC其輸出性能最佳。但不銹鋼流場板也存在明顯的不足，其一，流道采用線切割工藝完成，500 μm線寬則是線切割加工極限，所以流道寬度最小只能達(dá)到500 μm，這不利于實(shí)現(xiàn)μ-DMFC整體的小型化;其二，如表1所示，純不銹鋼耐化學(xué)腐蝕能力較差，μ-DMFC的陽極氧化反應(yīng)會(huì)產(chǎn)生甲醛、甲酸等物質(zhì)，對流場板產(chǎn)生一定程度的腐蝕，因此不銹鋼流場板的μ-DMFC工作4～5 h之后，其性能會(huì)明顯下降。

采用微模具制備PDMS流場板生產(chǎn)效率高，但是由于PDMS表面能低，與金屬粘結(jié)能力差，導(dǎo)致其輸出性能偏低。最常用的改善方式是:在未固化的PDMS液體中加入硅烷偶聯(lián)劑，通過自催化交聯(lián)，改善固化后PDMS表面的極性，增強(qiáng)PDMS與金屬的粘結(jié)能力[10－12]。但是PDMS固化收縮時(shí)，由于催化交聯(lián)的作用，在PDMS界面上將產(chǎn)生附加應(yīng)力。當(dāng)應(yīng)力集中到一定程度時(shí)即可引起黏接鍵斷裂，反而會(huì)破壞金屬與PDMS的粘附性能[13]。

目前，無論是單體還是堆棧式的μ-DMFC，流場板材料的選用都是唯一的。能否選用其中的某兩種材料作為流場板，相互彌補(bǔ)自身所存在的不足，從而提升μ-DMFC的輸出性能，是值得關(guān)注和研究的一個(gè)課題。另外，本文在陽極流場板上設(shè)計(jì)了3種不同結(jié)構(gòu)的流道模式，分別是:流道全為通孔，所有流道上保存有凸臺，一半的流道上全為通孔、一半流道保存有凸臺，將比較和分析不同結(jié)構(gòu)下堆棧式μ-DMFC的輸出性能。

1 直接甲醇燃料電池的原理與結(jié)構(gòu)

直接甲醇燃料電池DMFC(Direct Methanol Fuel Cell)主要由3部分構(gòu)成:膜電極MEA(Membrane Electrode Assembly)、陽極流場板和陰極流場板，如圖1所示。反應(yīng)方程式如下:

甲醇在陽極催化層被氧化產(chǎn)生CO2、質(zhì)子(H+)和電子(e－)，H+通過質(zhì)子交換膜 PEM(Proton Exchange Membrane)，在陰極催化層與氧氣和e－發(fā)生還原反應(yīng)而生成水?？偡磻?yīng)為甲醇與氧氣發(fā)生反應(yīng)生成CO2和水，并放出熱量。

圖1 DMFC結(jié)構(gòu)

由于各種損耗的存在，實(shí)際應(yīng)用中的DMFC開路電壓低于其熱力學(xué)平衡電壓1．199 V[14]。對于μ-DMFC而言，微流道需承受更大的甲醇溶液流動(dòng)所產(chǎn)生的靜壓力，甲醇溶液滲漏到陰極的現(xiàn)象比大型DMFC更為嚴(yán)重，因此，實(shí)際工作電壓在0．3 V～0．5 V之間。所以，為了滿足用戶的要求，需將多個(gè)單體μ-DMFC串聯(lián)或并聯(lián)起來組成電池堆，以達(dá)到提高μ-DMFC的總電流或者總電壓的目的。

2 采用硅和PDMS堆棧式μ-DMFC的結(jié)構(gòu)

圖2是堆棧式μ-DMFC的結(jié)構(gòu)。陽極采用主動(dòng)進(jìn)料方式，陰極采用被動(dòng)式自呼吸空氣輸入。該堆棧式μ-DMFC備有一片硅基陽極流場板和兩片PDMS陰極流場板。陽極流場板被左右兩個(gè)單體μ-DMFC共用，其蛇形流道上開設(shè)通孔，以利甲醇溶液同時(shí)在兩片MEA上并行流動(dòng)。測試時(shí)，陽極流場板作為負(fù)極，兩片陰極流場板連接后作為正極。其結(jié)構(gòu)類似于兩個(gè)單體μ-DMFC并聯(lián)，從而增加堆棧式μ-DMFC的輸出電流。

圖2 堆棧式μ-DMFC結(jié)構(gòu)

采用硅和PDMS兩種材料所制造的堆棧式μ-DMFC優(yōu)點(diǎn)為:

(1)簡化結(jié)構(gòu)，PDMS陰極流場板將傳統(tǒng)的硅基陰極流場板和PDMS墊片合二為一;

(2)有效保護(hù)硅基陽極流場板，避免其破裂。采用硅基作為流場板的μ-DMFC，即使配備了PDMS墊片來緩解擠鎖緊力，但仍舊無法避免陽極和陰極流場板之間相互擠壓，所產(chǎn)生的擠壓應(yīng)力過大致使流場板破裂的現(xiàn)象。與墊片相比，具有一定的厚度PDMS陰極流場板，可有效緩沖鎖緊力，同時(shí)通過PDMS膠塊的微變形，更大的鎖緊力也能通過微變形的PDMS膠塊均勻地施加于陽極流場板，避免陽極流場板由于受力不均而導(dǎo)致的破裂。

(3)加工簡單，生產(chǎn)效率高。通過微模具即可以快速方便地直接成型PDMS流場板。

3 流場板的設(shè)計(jì)和制作

3．1 硅基陽極流場板的設(shè)計(jì)

3種陽極流場板結(jié)構(gòu)，分別是:流道全為通孔，所有流道上保存有凸臺，一半的流道上全為通孔、一半流道保存有凸臺，如圖3(a)～圖3(c)所示。

圖3 陽極流場板結(jié)構(gòu)

流場板外形尺寸為40 mm×29 mm，流道寬度為400 μm，流場有效面積為11 mm×11 mm。凸臺高度為200 μm，凸臺長度為 1．5 mm，間距為 3．1 mm。通過在流道中布置凸臺，能夠避免流道與流道之間的溝脊懸空，增加流場板的機(jī)械強(qiáng)度。而且，如圖4所示，由于凸臺能夠?qū)状既芤浩鸬筋愃朴跈C(jī)械攪拌的作用，因此能夠有效降低流道深度方向上甲醇溶液濃度的梯度差，提升甲醇溶液在陽極擴(kuò)散層上有效梯度，提高陽極反應(yīng)的動(dòng)力[15]。

圖4 流道中凸臺提升溶液在擴(kuò)散層上的梯度

3．2 硅基陽極流場板的制作

以圖3(c)陽極流場板為例，運(yùn)用MEMS工藝制作流場板，具體工藝步驟如表2所示。圖5是通過運(yùn)用MEMS工藝獲得的陽極流場板。

表2 陽極流場板的制作

圖5 硅基陽極流場板(未濺射金屬)

3．3 PDMS陰極流場板的設(shè)計(jì)和制作

陰極流場板采用 PDMS材料制成。把液狀PDMS倒入圖6(a)所示的模具，加熱固化，制成陰極流場板。圖6(b)是成型后的陰極流場板，外形尺寸為40 mm×29 mm，厚度為4 mm。通孔大端尺寸為1．8 mm×1．8 mm，小端尺寸為1．6 mm×1．6 mm，孔與孔之間的間距為4．9 mm。成型和固化PDMS陰極流場板的基本工藝步驟如下:

(1)PDMS的配比:預(yù)聚體∶固化劑=10∶1;

(2)常溫下，抽真空60 min，排出液狀PDMS內(nèi)的氣體;

(3)倒入模具，模腔預(yù)先噴涂上一層脫模劑;

(4)固化:把盛有液體PDMS的模具放置在常溫環(huán)境抽真空中2 h，后在120℃真空烘箱中熱烘1 h固化，最后在真空中冷卻至室溫狀態(tài)。

圖6 PDMS陰極流場板的制作

3．4 PDMS陰極流場板的金屬化

成型后的陰極流場板需要金屬化，以利收集電流。在流場區(qū)域?yàn)R射Cr/Au，并采用銀膠固化以粘結(jié)銅箔膠帶。封裝測試后，發(fā)現(xiàn)堆棧式μ-DMFC輸出性能低于單體μ-DMFC的輸出性能。拆開檢查，發(fā)現(xiàn)流場板上的大部分Cr/Au以及銅箔都已經(jīng)脫落，如圖7所示。

圖7 陰極流場板金屬化失敗

PDMS流場板金屬化失敗的原因如下:

(1)PDMS潤濕能力差。當(dāng)粘接件表面為超疏水時(shí)，潤濕能力差。PDMS表面呈現(xiàn)出超疏水性，銀膠膠液難浸潤到PDMS的原子基團(tuán)中，只能是停留在PDMS表面。

(2)結(jié)晶度高。PDMS是高結(jié)晶度物質(zhì)，當(dāng)與金屬、導(dǎo)電銅箔、銀膠粘接時(shí)，難發(fā)生高聚物分子鏈的擴(kuò)散和相互纏結(jié)，無法形成很強(qiáng)的粘附力。

(3)存在弱的邊界層。類似于脫模劑的這種弱邊界層的存在大大降低了PDMS與金屬、導(dǎo)電銅箔、銀膠的粘接強(qiáng)度。

針對PDMS的特性，為了實(shí)現(xiàn)陰極流場板的有效金屬化，提出了如下改進(jìn)措施:

(1)銅箔與陰極流場板一體成型。針對PDMS與銅箔和銀膠難以有效粘合的問題，提出銅箔與流場板一體成型的改進(jìn)措施，圖8(a)所示，將銅箔粘性面貼在模具上，后把液狀的PDMS倒入模具中。固化成型后的陰極流場板如圖8(b)所示。銅箔以“嵌件”的形式嵌入到陰極流場板中，不僅實(shí)現(xiàn)銅箔與流場板的牢固粘合，同時(shí)流場板在金屬化的過程中，Cr/Au能夠同時(shí)濺射到流場區(qū)域和銅箔上，使之形成良好的電導(dǎo)性。

圖8 銅箔與流場板一體成型

(2)有機(jī)清洗。針對由于脫模劑所導(dǎo)致的弱的邊界層，有效的去除方式就是采用有機(jī)溶液清洗帶有銅箔的陰極流場板。目前最常用的有機(jī)溶劑是甲苯、丙酮和乙醇。甲苯的去油脂的能力強(qiáng)，所以陰極流場板先采用甲苯清洗，清洗時(shí)間為3 min。甲苯可溶解于丙酮，甲苯清洗后，采用丙酮清洗，不僅可以把殘余的油脂去除掉，也可以把甲苯溶解。丙酮易溶解于乙醇，所以后續(xù)接著用乙醇清洗。最后用大量的去離子水把乙醇溶除，清洗后的陰極流場板放在真空烘箱內(nèi)烘干。甲苯對于陰極流場板具有一定的腐蝕作用，因此必須嚴(yán)格控制甲苯清洗陰極流場板的時(shí)間。通過腐蝕，使PDMS表面被扯去部分分子，就可以在PDMS表面就導(dǎo)入了羰基極性基團(tuán)，增加了表面與金屬的粘附性，所以用甲苯清洗陰極流場板，不僅可以有效去除PDMS表面的油脂，而且在一定程度上提升PDMS的潤濕能力。

(3)活化，用低溫氧氣等離子體法改善PDMS表面極性。低溫氧氣等離子體中的活性粒子具有的能量一般都接近或超過碳－氫的鍵能，能與導(dǎo)入系統(tǒng)的PDMS表面發(fā)生物理或化學(xué)的相互作用?；钚粤Ｗ釉陔妶龅淖饔?，轟擊PDMS表面，由于其能量超過碳－氫的鍵能，碳－氫斷裂，形成大量的懸掛鍵，如圖9(a)和9(b)所示。

圖9 轟擊后，C—H鍵斷裂

懸掛鍵引入大量的氧基團(tuán)，使得PDMS表面分子鏈上產(chǎn)生極性，表面張力明顯提高，從而改善PDMS表面的接觸角和表面能，提高PDMS與Cr/Au的粘附性能和粘接強(qiáng)度?；罨に噮?shù)為:射頻功率為40 W，直流電壓為8 V，氧氣流速為100 sccm，活化時(shí)間為5 min。

圖10是采用上述改進(jìn)工藝重新制備的陰極流場板，流場板金屬化的能力得到了極大的改善。

圖10 改進(jìn)工藝重新制備的陰極流場板

4 封裝和測試

4．1 封裝

以流道都為通孔的陽極流場板為例，進(jìn)行堆棧式μ-DMFC的封裝。如圖11(a)和11(b)所示。其中MEA中的PEM型號為Nafion117，擴(kuò)散層碳紙型號為Toray－90，陽極電極層材料為Pt/Ru(質(zhì)量百分比為3∶2)，載量為2 mg/cm2，陰極電極層材料為 Pt/C(質(zhì)量百分比為2∶3)，載量為1 mg/cm2。PEM的面積為23 cm×23 cm，碳紙的面積為15 cm×15 cm。

封裝后整體尺寸為50 mm×36 mm×13．5 mm。

圖11 堆棧式μ-DMFC的封裝

4．2 測試

分別對3種不同結(jié)構(gòu)的陽極流場板所封裝后的堆棧式 μ-DMFC進(jìn)行測試，甲醇溶液的濃度為1 mol/L，流速為2 mL/min。測試結(jié)果表明，陽極板上的流道結(jié)構(gòu)一半為通孔，一半為凸臺的堆棧式μ-DMFC的輸出性能最優(yōu)，而流道結(jié)構(gòu)全部為通孔的堆棧式μ-DMFC的輸出性能最低。具體數(shù)據(jù)如表3和圖12(a)、圖12(b)所示。

表3 堆棧式μ-DMFC的最大輸出性能

圖12 堆棧式μ-DMFC的輸出性能

5 分析

(1)流道中帶有凸臺的堆棧式μ-DMFC的輸出性能優(yōu)于流道全為通孔堆棧式μ-DMFC的輸出性能。對于流道全為通孔的堆棧式μ-DMFC而言，由于有不斷新鮮的甲醇溶液的輸入，甲醇溶液在通孔流道內(nèi)濃度分布是比較均勻，不會(huì)出現(xiàn)濃度梯度。由于電化學(xué)反應(yīng)的緣故，在催化層與PEM界面的甲醇溶液的消耗導(dǎo)致了甲醇溶液在電極層(包含擴(kuò)散層和催化層)內(nèi)部的耗盡，濃度下降，從流道內(nèi)的濃度值下降到催化層一個(gè)低得多的濃度值，如圖13所示。

圖13 甲醇溶液在完全通孔的流道和電極層中的濃度分布

其中n為反應(yīng)中傳輸?shù)碾娮訑?shù)，F(xiàn)為亥姆霍茲自由能，Deff為有效擴(kuò)散系數(shù)，δ為擴(kuò)散層的厚度。在MEA 的屬性與結(jié)構(gòu)，和甲醇溶液的濃度和流速確定的前提下，提升擴(kuò)散層和流道界面的濃度，能有效提高μ-DMFC的最大輸出電流密度。

如圖14是采用Fluent軟件對于甲醇溶液在帶有凸臺的流道中傳輸進(jìn)行模擬。溶液在流道通孔區(qū)域傳輸時(shí)流動(dòng)狀態(tài)為層流，主要是沿著流道開設(shè)的主流動(dòng)方向傳輸。而后通過擴(kuò)散層的毛細(xì)管作用力把溶液輸送到催化層。當(dāng)流道上布置凸臺時(shí)，凸臺對溶液傳輸起到了類似于機(jī)械攪拌的作用，使得流動(dòng)由層流轉(zhuǎn)換化為紊流。甲醇溶液不僅沿著流道開設(shè)的主流動(dòng)方向傳輸，還會(huì)沿著垂直于主流動(dòng)方向傳輸，從而把更多的甲醇溶液輸送到催化層。依據(jù)圖13，凸臺的開設(shè)，有效提升擴(kuò)散層和流道界面的濃度，而根據(jù)式(1)的增加，其最大輸出電流密度必然也會(huì)增加。所以陽極流場板設(shè)計(jì)為全凸臺和一半凸臺、一半通孔的兩種結(jié)構(gòu)的堆棧式μ-DMFC其最大輸出電流密度要優(yōu)于陽極流場板設(shè)計(jì)全為通孔的堆棧式μ-DMFC。

圖14 甲醇溶液在帶有凸臺的流道中流動(dòng)

圖15 甲醇溶液在全凸臺流道傳輸時(shí)產(chǎn)生的壓降

(3)流道中的凸臺所引起的壓降。凸臺的開設(shè)使得甲醇溶液的流動(dòng)由層流轉(zhuǎn)化為紊流。紊流的一個(gè)主要特點(diǎn)是耗能性。流體流經(jīng)邊壁急劇變化的區(qū)域時(shí)，會(huì)在局部范圍受到一個(gè)較大的阻力，即局部阻力。流體克服局部阻力產(chǎn)生的能量損失為局部損失，用壓降表示[16]。如圖15所示，采用Fluent軟件對甲醇溶液在全凸臺陽極流場板傳輸壓降進(jìn)行模擬。凸臺區(qū)域的壓降約為23．1 Pa，而通孔區(qū)域的壓降約為3．57 Pa。凸臺的開設(shè)雖然有利于提高擴(kuò)散層和流道界面的濃度，但同時(shí)也減少了生成物CO2的排出空間，由于蛇形流道只有一個(gè)傳動(dòng)路徑，傳輸空間的減小，造成CO2局部淤積，在甲醇溶液的流速不變的前提下，流道壓降迅速增加，直至最終把生成物從流道中排出。壓降的增加，增大了流道內(nèi)的傳輸能耗，抑制了生成物的及時(shí)排出，局部產(chǎn)生了氣阻效應(yīng)。特別是在高電流密度區(qū)域，處于全凸臺陽極板的流道后段，由于能耗的不斷累積增加，氣阻效應(yīng)會(huì)比較明顯，這反而不利于甲醇溶液傳輸進(jìn)入擴(kuò)散層。所以，比較3種不同結(jié)構(gòu)流場板的堆棧式μ-DMFC的最大輸出電流密度可以發(fā)現(xiàn)，全凸臺堆棧式μ-DMFC比全通孔的堆棧式μ-DMFC最大輸出電流密度僅提高了3．21 mA/cm2，而一半通孔與一半凸臺的堆棧式μ-DMFC則是提高了11．44 mA/cm2。因此，陽極流場板設(shè)計(jì)成一半通孔與一半凸臺，其堆棧式μ-DMFC的輸出性能最優(yōu)。

6 總結(jié)

(1)通過銅箔與陰極流場板一體成型、有機(jī)清洗和PDMS表面活化等改進(jìn)措施顯著提升了PDMS陰極流場板的金屬化能力，其流場板與硅基材料一樣具有良好的電流收集能力。

(2)陽極流場板中開設(shè)凸臺有利于提高擴(kuò)散層和流道界面的濃度，從而提升了堆棧式μ-DMFC反應(yīng)動(dòng)力，但凸臺的開設(shè)，增大了流道內(nèi)的傳輸能耗，抑制了生成物的及時(shí)排出，局部產(chǎn)生了氣阻效應(yīng)。通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，陽極流場板設(shè)計(jì)成一半通孔和一半凸臺的結(jié)構(gòu)，其堆棧式μ-DMFC的輸出性能最優(yōu)，最大輸出電壓約為0．5 V，最大輸出電流密度為81．25 mA/cm2，最大輸出功率為7．73 mW/cm2。

[1]Kamarudina S K，Achmada F，Daud W R W．Overview on the Application of Direct Methanol Fuel Cell(DMFC)for Portable Electronic Devices[J]．International Journal of Hydrogen Energy，2009，34(16):6902－6916．

[2]Kelley S C，Deluga G A，Smyrl W H．A Miniature Methanol/Air Polymer Electrolyte Fuel Cell[J]．Electrochem Solid-State Letter，2000，3(9):407－409．

[3]鐘凌燕，王曉紅，姜英琪，等．微型自吸氧直接甲醇燃料電池的陽極極板設(shè)計(jì)研究[J]．傳感技術(shù)學(xué)報(bào)，2006，19(5):2163－2166．

[4]Wang X H，Zhou Y A，Zhang Q，et al．An Air-Breathing Micro Direct Methanol Fuel Cell Stack Employing a Single Shared Anode Using Silicon Microfabrication Technologies[J]．J Micromech Microeng，2009，19:1－8．

[5]張鵬，張宇峰，蓋琪琦，等．微型直接甲醇燃料電池陽極流場結(jié)構(gòu)[J]．納米技術(shù)與精密工程，2012，10(3):204－210．

[6]Wong C W，Zhao T S，Ye Q，et al．Experimental Investigations of the Anode Flow Field of a Micro Direct Methanol Fuel Cell[J]．Journal of Power Sources，2006，155:291－296．

[7]張博，張宇峰，苑振宇，等．自呼吸式微型直接甲醇燃料電池的設(shè)計(jì)與性能分析[J]．納米技術(shù)與精密工程，2011，9(5):432－435．

[8]劉 波，吳一輝，張平，等．基于微模塑復(fù)制技術(shù)的平面線圈研制[J]．傳感技術(shù)學(xué)報(bào)，2006，19(5):1963－1969．

[9]Shah K，Shin W C，Besser R S．A PDMS Micro Proton Exchange Membrane Fuel Cell by Conventional and Non-Conventional Microfabrication Techniques[J]．Sensors and Actuators，2004，97(2－3):157－167．

[10]Bu J L，Wang P C，Ai L Q，et al．Effect of a Filler Surface Treatment on the Properties of Conductive Silicone Rubber Filled with Ag-Coated Cu Flakes for EMI Shielding[J]．Advanced Materials Research，2011，15:157－167．

[11]Liu C X，Choi J W．Patterning Conductive PDMS Nanocomposite in an Elastomer Using Microcontact Printing[J]．J Micromech Microeng，2011，15:1992－1999．

[12]Lee K J，F(xiàn)osser K A，Nuzzo R G．Fabrication of Stable Metallic Patterns Embedded in Poly(Dimethylsiloxane)and Model Applications in Non-Planar Electronic and Lab-on-a-Chip Device Patterning[J]．J Micromech Microeng，2011，15:1992－1999．

[13]鐘仙芳，林濱梅，衛(wèi)中領(lǐng)，等．金屬表面硅烷表面處理技術(shù)研究進(jìn)展[C]//耐蝕金屬材料第十一屆學(xué)術(shù)年會(huì)論文集，包頭，中國:C－10，2008:346－340．

[14]O’Hayre R，Colella W，Prinz F B，et al．Fuel Cell Fundamentals[M]．Hoboken，N．J．:John Wiley ＆ Sons，2006．

[15]Wang Q，Wang X H，Zhong L Y，et al．Design，Optimization and Microfabrication of a Micro Direct Methanol Fuel Cell with Microblocks in Anode Structure[J]．Sensors and Actuators A:Physical，2009，154(2):247－254．

[16]韓國軍．流體力學(xué)基礎(chǔ)與應(yīng)用[M]．北京:機(jī)械工業(yè)出版社，2012．