上海卓晶半導(dǎo)體科技有限有限公司（Shang-Hai Bestity Semiconductor Technology Co.,Ltd以下簡稱BESTITY）位于張江高科技園區(qū)，是一家自主研發(fā)生產(chǎn)高精度高品質(zhì)半導(dǎo)體制造、LED制造設(shè)備的高科技企業(yè)，公司已經(jīng)申請(qǐng)多項(xiàng)專利。目標(biāo)是為客戶提供性價(jià)比更好的設(shè)備。

BESTITY公司擁有一批在半導(dǎo)體設(shè)備制造行業(yè)有多年經(jīng)驗(yàn)的員工，在自動(dòng)控制、軟件控制及機(jī)械設(shè)計(jì)方面擁有雄厚科研實(shí)力，并能根據(jù)客戶的需求進(jìn)行非標(biāo)設(shè)備的設(shè)計(jì)和制造能力。公司首個(gè)自主研發(fā)產(chǎn)品——LED基片平整度翹曲度檢測(cè)分選機(jī)各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平，填補(bǔ)國內(nèi)空白。本產(chǎn)品是對(duì)襯底片逐片檢測(cè)分選的高精度、高效率設(shè)備，是為提高最終產(chǎn)品良率、降低成本而開發(fā)的新概念的產(chǎn)品?？梢詭椭鶳SS生產(chǎn)廠提高良率20%以上，對(duì)于襯底制造的廠家，本產(chǎn)品亦可幫其高效篩選出合格片里面的高規(guī)格片子(一般為10%)。見圖1。

關(guān)鍵技術(shù)：

圖1 整機(jī)圖

1）使用激光位移傳感器檢測(cè)技術(shù)，通過無接觸檢測(cè)技術(shù)，能有效減少對(duì)基片的污染，損傷。

2）通過上下位機(jī)設(shè)計(jì)，能夠有效提高生產(chǎn)效率。上位機(jī)主要進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，下位機(jī)主要進(jìn)行運(yùn)動(dòng)控制和IO處理。

3）采用多片盒結(jié)構(gòu)，根據(jù)檢測(cè)結(jié)果定義不同片盒來放置檢測(cè)后的基片，方便客戶進(jìn)行刪選或下道工序。

4）自主研發(fā)基于PC的多線程上位機(jī)軟件，可以實(shí)時(shí)顯示當(dāng)前檢測(cè)結(jié)果并能以3D圖顯示結(jié)果。出現(xiàn)異常情況時(shí)，可自動(dòng)及時(shí)提醒操作員。

5）通過嚴(yán)謹(jǐn)?shù)臋C(jī)械設(shè)計(jì)和計(jì)算機(jī)仿真技術(shù)保證系統(tǒng)剛性、穩(wěn)定性和可靠性。

產(chǎn)品性能優(yōu)勢(shì)：

1）新概念：a、集檢測(cè)與分選于一體是本產(chǎn)品一大創(chuàng)新，填補(bǔ)國內(nèi)空白，與國外設(shè)備（僅有檢測(cè)沒有分選功能）也有很大不同；b、結(jié)合光刻工藝的要求，更加貼近實(shí)際生產(chǎn)。

2）高效率：該設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)（4英寸）100片/h的檢測(cè)效率，相對(duì)國外同類設(shè)備效率是60片/h（不含分選功能），客戶的投資回報(bào)率更高。

3）方案合理：有效地將光刻機(jī)中的技術(shù)創(chuàng)造性地借鑒過來，精度高，可靠性好。

4）高精度：廠家對(duì)襯底片的檢測(cè)精度要求是um級(jí)，我們檢測(cè)精度為0.1um，和國外廠家基本一致。

5）檢測(cè)方式：掃描檢測(cè)更加精細(xì)化，符合光刻工藝的要求。

6）兼容性好：可測(cè)試2～4英寸的襯底片，稍作擴(kuò)充能達(dá)到對(duì)6英寸襯底片的測(cè)試。可以配置成3、4、5、6多個(gè)片盒裝載系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。

7）準(zhǔn)確率高：通過逐片檢測(cè)解決了抽檢造成的隨機(jī)性誤差，掃描檢測(cè)提高了LTV的準(zhǔn)確性。

8）功能齊全：除平整度的檢測(cè)分選外，本產(chǎn)品還可用于翹曲度的檢測(cè)等沉底檢測(cè)的常規(guī)功能。