付耀斌，李書恒

(北京慧摩森電子系統(tǒng)技術有限公司，北京 100083)

1 MicroE圓光柵簡介

MicroE圓光柵尺是具有20μm柵距（見圖1），多種外形尺寸，最小直徑為12mm,最大直徑可達121mm,體積輕薄的一種高精度、高性價比的光柵尺產(chǎn)品。結合Mecurry系列高性能編碼器可以解決客戶各方面的應用需求（見圖2）；因其具有體積小巧、安裝方便、多種Mecurry讀數(shù)頭可互換的特性，客戶可以靈活多變的進行產(chǎn)品設計。同時MicroE還可以根據(jù)客戶需求提供定制要求的產(chǎn)品。

圖1 圓光柵

圖2 編碼器

MicroE圓光柵尺是運用光刻技術在熱膨脹系數(shù)接近于零的玻璃基材上加工而成，具有很高的刻劃精度。MicroE提供外形尺寸從12mm到108mm系列標準產(chǎn)品及客戶特殊需求尺寸產(chǎn)品；同時所有光柵尺上都具有零位標志。

2 MicroE圓光柵光學測量工作原理

MicroE圓光柵產(chǎn)品采用了PurePrecision光學結構（見圖3），擁有多項專利技術。該項技術保證MicroE編碼器周期高倍差補細分情況下信號的高強度和準確性，使其細分倍數(shù)可以達到16384；而且測量范圍大，對安裝調整公差要求很寬松；實現(xiàn)了編碼器讀數(shù)頭的微型化。

圖3 PurePrecisionTM光學技術

◆保證高倍差補細分情況下的高強度、精密信號

◆測量范圍大、安裝調整公差寬松

◆微型編碼器讀數(shù)頭

◆多項專利技術

3 MicroE圓光柵的特性

◆外形輕薄，最大厚度只有2.67mm，質量輕——低慣量

◆系統(tǒng)占用空間小，裝配好的編碼器讀數(shù)頭和圓光柵的總高度不超過13.5mm——省空間

◆提供帶安裝輪轂的圓光柵結合MicroE編碼器寬泛的安裝誤差范圍——便于安裝

配合不同的差值編碼器可達到從6600到67.1M CPR的分辨率——高分辨率

標準產(chǎn)品的系統(tǒng)精度最高達2.1角秒——高精度

4 MicroE圓光柵的應用領域

例一：MicroE圓光柵在數(shù)控轉臺上的應用（見圖 4）。

在許多應用場合需要依賴于精密回轉運動：如回轉方式的計算機制版印刷系統(tǒng)、插裝機、輪廓測量、轉臺、機床的A、B和C軸、晶片處理和測角儀等，均使用角度測量系統(tǒng)。在高精度的應用場合，傳動系統(tǒng)會帶來定位誤差、反向間隙、噪音，必須進行更嚴格的維護。然而，設計者現(xiàn)在可以開發(fā)具備高扭矩及極小行程的內精密伺服控制轉臺，因為加載設備牢固地耦合在轉臺上，由傳動引起的各種誤差得以消除，每種應用各不相同，但均得益于MicroE圓光柵所提供的一些本質特征：高精度，高分辨率，高重復性，輕便，省空間，易于安裝和可靠性。使得產(chǎn)品設計工程師很容易在原有產(chǎn)品上進行升級改造。

圖4 數(shù)控轉臺內部搭載MicroE圓光柵及編碼器

裝備MicroE超高分辨率的編碼器與MicroE圓光柵的完美組合，進行以納米為單位的插補和反饋，進行高速，高精度，高效率的加工和測量。精密轉軸需要可靠、高精度的圓光柵作為角度位置反饋。輕巧的MicroE圓光柵提供優(yōu)異的精度的同時，它結構緊湊、易于安裝。簡化了電纜和其它設備通過轉臺的路徑。同樣，由于MicroE圓光柵是開放式圓光柵，它消除了軸的扭矩誤差、反向間隙、機械滯后或密封和軸承的摩擦。另外，直接安裝的圓光柵與轉臺內部，可使轉臺的結構設計緊湊，實現(xiàn)零耦合誤差的最佳伺服控制。滿足汽車，電子，機械，醫(yī)療等各個領域的客戶需求。

圖5 裝備MicroE圓光柵的DDR直驅電機在數(shù)控機床上進行加工 （下圖為轉臺下的直驅電機）

例二：MicroE圓光柵在DDR直驅電機上的應用（見圖5）采用無中間傳遞機構的直接驅動方式，直驅電機相比傳統(tǒng)電機有更好的動態(tài)性能、更好的高低速特性，并能簡化裝備結構，降低故障率等。直驅電機廣泛應用于高精度機床、半導體設備，自動化生產(chǎn)線等相關裝備。目前它的應用場合也越來越多，在要求高精度，高重復性，高效率的場合上國產(chǎn)品牌的反饋系統(tǒng)遇到了挑戰(zhàn)，美國MicroE公司的反饋系統(tǒng)，圓光柵和高性能編碼器很好的解決了這一技術難題，將MICROE圓光柵與高性能編碼器直接嵌入電機內部，所帶來的反向間隙和其它機械滯后誤差均得以消除。DDR直驅電機與MicroE圓光柵的組合，提供了最佳匹配的旋轉運動系統(tǒng)，它具備了高精度，高重復性，高效率得特點。精度可達到15角秒，分辨率為2角秒，是一個最為理想的反饋元件。

5 小 結

目前，美國GSI集團公司Microe圓光柵及編碼器已經(jīng)廣泛被用于直驅電機和精密數(shù)控轉臺設備上。其低慣量、小空間、安裝誤差寬泛等的特點大大提高了在其相關設備上的使用率，滿足了設備制造商對反饋系統(tǒng)的多項要求，如分辨率，定位精度，安裝空間和條件適應性等。