黃虎　趙宏偉　萬順光　耿春陽　米杰

納米壓痕測試技術(shù)是近些年發(fā)展起來的一項(xiàng)具有微納米級精度的力學(xué)測試新技術(shù)，由于具有操作方便、樣品制備簡單、測試分辨率高、測試內(nèi)容豐富等眾多優(yōu)點(diǎn)，納米壓痕測試技術(shù)逐步發(fā)展成為微納米力學(xué)測試的主流技術(shù)，在材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體技術(shù)、鋼鐵冶金、表面工程、納米技術(shù)、微機(jī)電系統(tǒng)等領(lǐng)域發(fā)揮著越來越重要的作用，它可以對各類固態(tài)材料或器件的力學(xué)性能做出評價，從而對其設(shè)計和使用提供指導(dǎo)。