華南理工大學(xué)材料科學(xué)學(xué)院彭俊彪教授課題組負(fù)責(zé),并與南開大學(xué)、創(chuàng)維集團(tuán)聯(lián)合開發(fā)的國家“863計(jì)劃”新型平板顯示重大項(xiàng)目“基于低溫多晶硅TFT基板的有源OLED關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)”,于2012年7月1日通過由科技部主持的結(jié)題驗(yàn)收會(huì)。驗(yàn)收專家組在聽取匯報(bào)后,對(duì)項(xiàng)目驗(yàn)收資料進(jìn)行了審查,并就相關(guān)問題進(jìn)行了質(zhì)詢和探討,實(shí)地考察了基地建設(shè)情況和中試實(shí)驗(yàn)室。
該課題建設(shè)完成了AMOLED技術(shù)研發(fā)的中試基地,自主研制了用于非晶硅薄膜晶化的半導(dǎo)體激光晶化系統(tǒng),研究了晶化激光光斑的調(diào)制技術(shù),表征了晶化多晶硅薄膜結(jié)構(gòu),完成了低溫多晶硅TFT材料和7英寸基板的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),以及顯示屏驅(qū)動(dòng)技術(shù);自主設(shè)計(jì)了新型的五元素體系新型金屬氧化物半導(dǎo)體材料,突破了金屬氧化物薄膜制備技術(shù);自主完成TFT器件結(jié)構(gòu)與陣列基板設(shè)計(jì),打通了制備金屬氧化物TFT陣列的整套工藝,突破了有機(jī)發(fā)光薄膜與TFT集成技術(shù);自主研發(fā)了顯示屏驅(qū)動(dòng)技術(shù),研制完成了可圖像顯示的5~7英寸全彩色AMOLED顯示屏。專家組一致認(rèn)為,該課題綜合技術(shù)實(shí)力居于國內(nèi)領(lǐng)先水平,一致同意通過驗(yàn)收。
該課題取得的科技成果已經(jīng)開始在廣州新視界光電科技有限公司進(jìn)行轉(zhuǎn)化,將在2~3年內(nèi)實(shí)現(xiàn)規(guī)模量產(chǎn),廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)、平板電腦、大尺寸電視等高端顯示領(lǐng)域。