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《電子工業(yè)專用設備》第40卷(2011)目次總匯編

2011-04-01 20:27
電子工業(yè)專用設備 2011年12期
關鍵詞:硅片設備系統(tǒng)

測試測量技術與設備

自動缺陷分類系統(tǒng)在超聲掃描顯微鏡中的應用.......................................................................連軍莉,魏 鵬1-1

Verigy 93000 SoC測試系統(tǒng)及測試中偏置電流的實現(xiàn).........................................................................陶新萱1-4

裝片機丟片檢測響應時間分析....................................................................................任紹彬,徐品烈,郎 平1-7

旋轉式預邦定機圖像對位方案的改進....................................................................................................趙 瑩1-11

CAM在飛針測試文件轉換中的運用......................................................................................................譚立杰2-1

埋置型疊層微系統(tǒng)封裝技術..................................................................................................................楊建生5-15

COSMOS在LED粘片機芯片拾取臂振動分析中的應用.........................................................郎 平,郭 東5-21

0.5mm間距CSP/BGA器件無鉛焊接工藝技術研究............................................................孫國清,李承虎5-25

存儲芯片測試的研究................................................................................................................譚永良,吳文仕5-28

超聲掃描技術及設備................................................................................................................張繼靜,連軍莉5-32

LED探針臺重疊區(qū)域的圖像處理..........................................................................霍 杰,田洪濤,劉國敬,等5-37

在線式等離子清洗在封裝中的應用................................................................................劉 暢,馬 斌,馬 良5-40

PCB基板測試數(shù)據(jù)提取與圖形重繪......................................................................劉國敬,田洪濤,霍 杰,等5-44

熱聲焊機超聲系統(tǒng)的設計和優(yōu)化..............................................................................馬生生,孫麗娜,井文麗5-48

晶片映射系統(tǒng)原理及實現(xiàn)算法研究..........................................................................宮 晨,高小虎,侯為萍10-37

硅單晶片的激光標識技術研究..................................................................................于 妍,張殿朝,楊洪星10-41

一種LED環(huán)形照明的設計方法...........................................................................................................于麗娜11-26

X-ray檢測技術在PCB組裝領域中的應用...........................................................................................鮮 飛11-31

大直徑探針臺的晶圓自動傳輸系統(tǒng)........................................................................譚立杰,王洪宇,王文舉11-36

清洗技術與設備

單晶圓兆聲清洗技術研究及兆聲噴頭方案優(yōu)化....................................................劉永進,杜建科,馮小強1-15

氣動增壓泵在單片晶圓清洗過程中的應用............................................................杜建科,劉永進,馮小強1-18

面向硅片清洗技術的高濃度臭氧產(chǎn)生裝置................................................................白敏菂,冷 宏,李超群7-14

多結太陽電池用P型鍺單晶片去蠟技術研究....................................................楊洪星,張偉才,陳亞楠,等7-17

模塊化設計在半導體濕法清洗設備中的應用......................................................................................張雅麗7-20

清洗液溫度及濃度對硅研磨片清洗效果的影響....................................................陳琪昊,呂 菲,劉 峰,等7-23

硅芯硅棒自動清洗設備的研制......................................................................................衛(wèi)曉沖,張 峰,田 娜7-28

300mm全自動去膠清洗設備的研制........................................................................曹秀芳,曹穎杰,祝福生7-31

IC制造技術與設備

大角度離子注入機的束純度控制............................................................................................王迪平,孫 勇1-21

集成電路塑封模具錯位、偏心問題探討................................................................................................魏存晶1-24

多晶制絨工藝與設備的研究........................................................................................于皓潔,林立,姚雁林1-27

光纖拉絲機一機兩爐的設計改造..........................................................................................................劉立起2-24

固晶機整機布局與效率研究........................................................................................周慶亞,郝 靜,石藝楠2-27

LED全自動粘片機系統(tǒng)軟件結構和控制時序設計..........................................侯為萍,周慶亞,高建利,等2-30

基于Canopen協(xié)議的運動控制系統(tǒng)設計...............................................................劉玉倩,張文,靳衛(wèi)國,等2-33

基于COSMOS的鍵合機推料托架的分析及優(yōu)化................................................................................王雙全2-38

ATE射頻測試板低成本解決方案.........................................................................................................孫佳焱3-38

先進MEMS制造技術.......................................................................................................................Erw in Hell3-43

面向IC封裝的視覺定位系統(tǒng)設計.........................................................................劉曉斌,涂佃柳,柴斌,等3-46

硅片濕法清洗工藝技術及設備發(fā)展趨勢..............................................................曹秀芳,姚立新,祝福生,等4-9

平臺+插件式軟件框架模型的研究........................................................................................付純鶴,王君鋒4-14

提高PCB基板通斷測試效率的研究..................................................................田洪濤,宋婉貞,劉國敬,等4-17

計及網(wǎng)絡動態(tài)特性的電-氣-熱綜合能源系統(tǒng)日前優(yōu)化調度//董帥,王成福,徐士杰,張利,查浩,梁軍//(13):12

自動排片機在IC芯片分選中的應用研究..................................................................................郭 東,郎 平4-21

基于FP0-C14 PLC的自動阻抗匹配器的研制............................................................................王登偉,夏 洋6-1

太陽能電池生產(chǎn)線中新型等離子體刻蝕機刻蝕工藝探討............................陳特超,馬度·巴布,李健志,等6-5

投影光刻中相位光柵對準標記變形解決方案..........................................................................殷履文,蓋玉喜6-7

掩模版升降定位存取機構........................................................................................................馬喜寶,董同社6-10

雙高斯復雜化結構顯微物鏡設計............................................................................................劉金榮,李玉敏6-13

柔性結構技術在精密工件臺中的應用..................................................................齊芊楓,鄭椰琴,吳立偉,等9-1

光刻設備中硅片預對準的算法模型分析....................................................................................張鵬遠,楊 林9-7

生長系統(tǒng)對高阻區(qū)熔硅單晶徑向電阻率變化的影響................................................閆 萍,索開南,龐炳遠9-11

基于CANopen現(xiàn)場總線的在線制絨清洗機控制系統(tǒng)........................................王 達,胡彩豐,李建國,等9-14

半導體專用設備的真空系統(tǒng)維修..............................................................................殷履文,刁振國,王振亞9-18

300mm硅片CMP設備裝載技術研究.........................................................................高文泉,陳威,陳波,等11-1

碳化硅金剛線切割表面粗糙度的研究....................................................................................袁立偉,張文斌11-4

超薄硅片的剝膜研究..................................................................................................張文斌,袁立偉,張敏杰11-8

6R機械手在CMP設備中的運動空間分析........................................................徐存良,陳 波,高文泉,等11-11

化學腐蝕對超薄鍺片機械強度的影響..................................................................................竇連水,劉曉偉11-15

光學光刻機的未來技術........................................................................................................................程建瑞11-18

AZ4620光刻膠的噴霧式涂膠工藝..........................................................................................邢 栗,汪明波12-43

先進封裝技術

三維疊層DRAM封裝中硅通孔開路缺陷的模擬......................................Li Jiang,Yuxi Liu,Lian Duan,等1-29

電子封裝中的固相焊接:引線鍵合........................................................................宗 飛,黃美權,葉德洪,等7-34

局部增強壓焊塊鋁層厚度的工藝方法....................................................................................馬萬里,趙文魁7-40

電子封裝工藝及過程管控體系................................................................................................張華洪,鄢勝虎7-44

新技術應用

C/S與B/S模式相結合的標準化管理信息系統(tǒng)結構設計....................................................楊曉靜,宋秀敏1-42

復雜腔體零件的數(shù)控加工工藝研究..........................................................................................屈海蛟,高 偉4-36

基于ARM的視頻監(jiān)控系統(tǒng)...........................................................................................曾 瀑,王 微,詹傳棟4-42

基于模糊自適應控制的硫化系統(tǒng)設計與研究........................................................................................朱 雋4-47

方艙板冷線切割機的切割精度控制......................................................................................................張世偉4-53

雙工位FOG邦定機的設計............................................................................................司 超,菅衛(wèi)娟,馬 兵6-41

整合型液晶邦定機........................................................................................................李 鐵,潘強強,李春艷6-45

基于C8051F單片機的鋼絲斷線檢測裝置...............................................................................吳 旭,張志軍6-49

精密絲網(wǎng)印刷機結構設計..............................................................................................張志耀,張 燕,白 璐6-53

SMT虛擬樣機可視化建模與仿真.......................................................................崔曉璐,龍緒明,李新茹,等7-48

全自動鋰電池卷繞機的設計......................................................................................楊振宇,何佳兵,姜無疾7-53

溫度系數(shù)測試儀的研制..........................................................................................林 波,趙乃輝,趙子龍,等7-57

伺服運動系統(tǒng)控制參數(shù)在線調節(jié)算法研究..............................................................................方 強,宋福民8-27

方形鋰電池卷繞機構的設計......................................................................................何佳兵,楊振宇,姜無疾8-31

基于QD75D4定位模塊點膠圖形的開發(fā).............................................................趙乃輝,趙子龍,林 波,等8-34

投影光刻機中PDP-11主控制計算機系統(tǒng)的替換...............................................................................曾美芹8-38

光纖定位技術在LCD貼附設備中的應用..........................................................胡欽華,黃立勇,井文麗,等8-41

電鍍工藝主要參數(shù)對氨基磺酸鎳鍍層的影響........................................................................................鄒 森8-44

空氣靜壓電主軸過盈聯(lián)接研究..................................................................................賈月明,王明權,李戰(zhàn)偉8-47

半導體設備中鋁合金精密零件尺寸穩(wěn)定性工藝研究..........................................................................張雅麗8-51

繞制精密螺旋線的系統(tǒng)技術..................................................................................................................文祖祥8-54

用于硅片傳輸系統(tǒng)的機械手設計................................................................................呂 磊,胡曉霞,王洪宇9-34

切割機空氣靜壓電主軸徑向承載力及剛度的設計..................................................李戰(zhàn)偉,王明權,賈月明9-39

耐壓強度試驗中漏電流的測試方法..............................................................................侯 宇,陳執(zhí)銘,王 瓊9-42

淺談液晶摩擦技術的發(fā)展........................................................................................................劉永立,王建雄9-46

伺服運動系統(tǒng)CMAC神經(jīng)網(wǎng)絡算法研究................................................................................方 強,宋福民9-49

空氣彈簧在機械振動臺中的應用..........................................................................................................趙曉敏9-54

設備管理在安全生產(chǎn)中的作用淺析........................................................................................................劉 劍9-58

半導體專用設備中機械結構的方案設計及發(fā)展前景..........................................................董同社,馬喜寶10-45

半導體設備異常處理機制方法的研究......................................................................宮 晨,宋麗娟,劉玉倩10-51

線性功率放大器模型設計及其系統(tǒng)辨識..............................................................................謝珺耀,李久芳10-55

在線式多晶制絨清洗設備數(shù)據(jù)質量控制................................................................楊筱娟,高麗穎,王青松11-41

高速空氣靜壓電主軸的振動及控制策略................................................................王明權,李戰(zhàn)偉,賈月明11-46

一種新型的步進電機控制系統(tǒng)..........................................................................田知玲,譚立杰,胡曉霞,等11-52

塑封模具材料和熱處理........................................................................................................................汪宗華11-57

泰瑞達降低前期開發(fā)成本,加快量產(chǎn)之路.............................................................................Leida Bourgeois11-60

硅片傳輸機器人的分析設計................................................................................................................馬喜寶12-15

運動規(guī)劃在擺臂機構上的應用分析.....................................................................莊文波,王兵鋒,李愷,等12-21

SMT優(yōu)化系統(tǒng)的設計與實現(xiàn).................................................................................................................鮮 飛12-26

高精度模糊自整定溫度控制系統(tǒng)研究..............................................................李金濤,顏向乙,尚美杰,等12-34

回歸分析在電機冷卻系統(tǒng)中的應用......................................................................................李朝軍,牛偉光12-38

CMP技術與設備

化學機械拋光中的顆粒技術.................................................................................................涂佃柳,劉曉斌譯2-1

高頻線圈坡面對生長FZ單晶的影響.....................................................................................董軍恒,劉洪飛4-25

碳/碳復合材料應用于直拉硅單晶生長的研究.........................................................王世援,韓煥鵬,劉 鋒4-29

真空/可控氣氛共晶爐控制系統(tǒng)的優(yōu)化設計.............................................................井文麗,焦子建,劉 虎4-34

區(qū)熔硅單晶摻雜技術概述......................................................................................................................龐炳遠5-52

全自動氮氣保護AB復合式推板窯的研制...............................................................................魏武帥,鄧 驪5-55

新型全自動氮氣推板爐在磷酸鐵鋰燒結中的應用..................................................................黃 晨,李柳芽5-58

切割機直線導軌安裝座的加工工藝研究.................................................................佀海燕,呂榮華,王春婷6-16

砂輪劃片機主軸系統(tǒng)裝配精度對劃切槽質量的影響........................................閆啟亮,田知玲,郎小虎,等6-20

LPCVD制備二氧化硅薄膜工藝研究..................................................................王儉峰,佟麗英,李亞光,等6-24

生瓷帶打孔機伺服運動系統(tǒng)的誤差分析及補償..................................................白 璐,趙喜清,張志耀,等6-27

生瓷帶打孔機控制系統(tǒng)的開發(fā)..............................................................................董永謙,張 燕,馬生生,等6-31

切割機主軸電機技術研究........................................................................................................王兵鋒,周建生6-37

300mm硅片化學機械拋光壓力控制技術研究......................................................王東輝,郭強生,柳 濱,等8-1

化學機械拋光(CMP)過程中拋光盤溫度控制的分析研究..........................................孫振杰,劉 濤,費玖海8-5

CMP中真空供應系統(tǒng)的設計...................................................................................................................周國安8-9

全自動晶圓劃切設備之可靠性分析............................................................................張 偉,王宏智,閆啟亮9-21

晶圓減薄機的研發(fā)及應用現(xiàn)狀..............................................................................................................張文斌9-25

多線切割工藝中切割速度對晶片翹曲度的影響......................................................趙文華,馬玉通,楊士超9-28

基于PLC和觸摸屏的XUV-5000光固化爐控制系統(tǒng)...........................................................王建雄,劉永立9-31

化學機械拋光在MEMS中的應用.......................................................................................................高慧瑩10-19

CMP拋光機拋光臺溫度控制的研究...........................................................................王 偉,王東輝,李 偉10-24

基于SolidWorkS的基座有限元分析.......................................................................陳 威,王 偉,李 偉,等10-29

SDB-SOI晶片減薄技術綜述....................................................................................................孫 濤,張偉才10-33

趨勢與展望

技術創(chuàng)新成為集成電路封測產(chǎn)業(yè)發(fā)展主旋律........................................................................................于燮康3-1

中國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展回顧與產(chǎn)業(yè)新政解讀...........................................................................................李珂3-5

2010中國光伏再續(xù)傳奇...............................................................................................................馮莉,余甜甜3-8

3D-TSV技術——延續(xù)摩爾定律的有效通途..........................................................................趙璋,童志義3-10

微機電系統(tǒng)技術的研究現(xiàn)狀和展望...........................................................................................嚴宇才,張 端4-1

光伏產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀及其面臨的挑戰(zhàn)................................................................................................................童志義5-1

拋光盤、拋光頭轉速比對化學機械拋光效果的影響分析........................................................高慧瑩,費玖海5-9

國內(nèi)LED襯底材料的應用現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢...........................................................................................高慧瑩7-1

藍寶石晶體生長工藝及設備....................................................................................................................紀秀峰7-7

硅片脫膠技術的現(xiàn)狀及發(fā)展研究.................................................................................................張 峰,司 超7-11

光伏制造與設備

紫外激光在精細加工中的應用研究.........................................................................韓微微,楊松濤,高愛梅3-17

超薄硅雙面拋光片拋光工藝技術........................................................................趙權,楊洪星,劉春香,等3-21

鋁漿在晶體硅太陽電池上的應用討論...................................................................................丁冰冰,毛毅強3-24

堿性腐蝕工藝條件對硅片表面腐蝕形貌的影響.................................................................................孫 儉 3-28

空間太陽能電池用超薄鍺單晶片的清洗技術........................................................林 健,趙 權,劉春香,等3-31

生瓷帶打孔機打孔路徑的優(yōu)化設計...........................................................................張 燕,張志耀,趙喜清3-35

國外太陽能電池鑄錠及切片設備概況....................................................................................................李 震8-12

全自動太陽能電池測試分選設備的研制..............................................................唐超凡,魏 唯,寧宗娥,等8-19

直拉單晶硅中堝跟比的精確計算研究....................................................................................................王 蕾8-23

材料加工與設備

355 nm激光新型陶瓷加工研究.............................................................................楊松濤,韓微微,張文斌,等2-8

砂輪劃片機顯微鏡自動聚焦系統(tǒng)的設計與分析...................................................劉曉斌,涂佃柳,柴斌,等2-12

激光劃切機的光束傳遞系統(tǒng)設計..............................................................................高愛梅,韓微微,趙志偉2-16

重摻襯底硅外延層雜質來源及控制方法分析......................................................................................索開南10-1

MCVD料溫控制系統(tǒng)的改進.................................................................................................................劉立起10-4

在線式多晶制絨清洗設備軟件控制系統(tǒng)設計與實現(xiàn)..........................................高麗穎,胡彩豐,王 達,等10-7

全自動晶圓劃片機S運動曲線規(guī)劃與分析............................................................................張 偉,閆啟亮10-11

基于六維機械手的硅片傳輸系統(tǒng)............................................................................李 偉,陳 威,王 偉,等10-15

全自動網(wǎng)絡單晶爐系統(tǒng)設計與應用............................................................................李潤源,何茂棟,楊 偉12-1

全自動單晶爐控制系統(tǒng)方案設計...............................................................................................王慶,張婷曼12-5

全自動太陽能制絨設備的工藝淺談.....................................................................馮小強,陳 平,趙永進,等12-9

硼擴散技術研究..................................................................................................王春梅,佟麗英,史繼祥,等12-12

專用設備研制

薄膜電容開邊機關鍵技術............................................................................................朱躍紅,任劍,鄭海紅12-47

鋰電池打包機整形定位和拉膠帶結構的設計......................................................................朱江濤,黃 永12-51

市場透視

“十二五”我國電子專用設備市場分析和發(fā)展設想...........................................................................................1-47

2010年太陽能光伏行業(yè)分析與2011年展望....................................................................................................1-49

2011年光伏市場四大關鍵詞..............................................................................................................................1-53

2010年中國集成電路市場大幅反彈市場規(guī)模達7 349.5億元.......................................................................3-50

兩岸電子設備協(xié)會共同簽屬合作協(xié)議共創(chuàng)兩岸電子設備商機.......................................................................4-56

2011年2Q'臺灣廠商NB出貨量季成長將反彈6.1% 2011年全球NB市場成長僅5.8%......................4-57

兩2011年MOCVD設備廠營收優(yōu)于2010年全球需求量將達900~1 000臺...............................................4-58

光伏元件規(guī)范有助于降低太陽能電池制造成本.............................................................................................11-62

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