朱升成　王　昭　趙　宏

摘要：針對共焦測量中單點(diǎn)掃描速度慢、機(jī)構(gòu)復(fù)雜、光能利用率低的問題，介紹了一種利用結(jié)構(gòu)光和共焦顯微術(shù)相結(jié)合來實現(xiàn)多光束測量的新方法．通過改裝顯微照明光路，投射一結(jié)構(gòu)光到被測物體上，獲得了物體的層析像與普通顯微鏡成像的疊加像．該疊加像經(jīng)過解碼算法，實現(xiàn)了非零頻分量的層析成像，并利用互強(qiáng)度理論，對該層析顯微鏡的層析能力和解碼算法從理論上給出了表達(dá)式．?dāng)?shù)值模擬表明，該系統(tǒng)與針孔陣列、微透鏡陣列和孔徑相關(guān)相比，不僅簡便可行，而且提高了速度，光能利用率也得到了明顯的改善．

關(guān)鍵詞：結(jié)構(gòu)光；共焦顯微術(shù)；光學(xué)層析

中圖分類號：TN247文獻(xiàn)標(biāo)識碼：A文章編號：0253—987X(2004)05—0508—05