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研究人員開發(fā)新型光學(xué)“硅”與芯片技術(shù)

2024-06-03 01:48:01江慶齡
科學(xué)導(dǎo)報(bào) 2024年31期
關(guān)鍵詞:晶圓洛桑貝格

江慶齡

中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所研究員歐欣團(tuán)隊(duì)聯(lián)合瑞士洛桑聯(lián)邦理工學(xué)院的托比亞斯·基彭貝格團(tuán)隊(duì),在鉭酸鋰異質(zhì)集成晶圓及高性能光子芯片制備領(lǐng)域取得突破性進(jìn)展。相關(guān)成果5月8日發(fā)表于《自然》。

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