學(xué)科：機(jī)械工程

化學(xué)氣相沉積是一種用化學(xué)方法使氣體在基體材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)并形成覆蓋層的方法。該技術(shù)在多個(gè)前沿高精尖技術(shù)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用：合成多種半導(dǎo)體材料，用于微電子器件的制備和集成電路的制造；制備不同力學(xué)、化學(xué)性質(zhì)的涂層，應(yīng)用于光學(xué)涂層、耐磨涂層、防腐涂層等領(lǐng)域；制備如金剛石薄膜、石墨烯薄膜、高溫超導(dǎo)薄膜等新興材料。