◎ 本刊記者 馮翔慧

激光干涉測量技術(shù)具有測量精度高、空間分辨率高、時間分辨率高等顯著優(yōu)勢，已成為超精密測控和微納尺度測量的最有效手段之一，在科學(xué)研究、應(yīng)用技術(shù)開發(fā)和精密儀器設(shè)備制造中得到廣泛應(yīng)用。但長久以來，因為高端激光干涉測量儀器核心技術(shù)的空白，我國不得不長期依賴進口，甚至遭遇封鎖。

哈爾濱工業(yè)大學(xué)超精密激光干涉測量團隊(以下簡稱激光干涉測量團隊)多年專注超精密激光測量儀器重大需求，積極打造產(chǎn)學(xué)研一體化深度聯(lián)合體，系統(tǒng)開展基礎(chǔ)研究、關(guān)鍵技術(shù)突破、儀器研制、產(chǎn)品開發(fā)和測試等工作，成功研制系列超精密激光干涉儀，開發(fā)出高速超精密激光干涉儀等系列產(chǎn)品，并形成批量儀器生產(chǎn)能力，打破國外封鎖，在國內(nèi)外量子基準裝置、高端裝備研制生產(chǎn)中發(fā)揮了重大作用，大力推動我國計量基標準、高端裝備制造的發(fā)展。

超精密激光干涉測量是決定高端裝備和前沿科學(xué)裝置精度的不可或缺的核心共性技術(shù)。長期以來，國內(nèi)自主技術(shù)存在激光干涉測量基準漂移、納米級特殊原理誤差難以消除等問題，進而導(dǎo)致相關(guān)儀器測不準、測不精、測不快，影響高端裝備制造及前沿科學(xué)裝置的發(fā)展。為解決這一難題，激光干涉測量團隊聯(lián)合哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司激光測量事業(yè)部進行聯(lián)合攻關(guān)，系統(tǒng)地主持開展了超精密激光干涉測量儀器的基礎(chǔ)研究、關(guān)鍵技術(shù)突破、樣機研制、產(chǎn)品開發(fā)等工作，并取得系列創(chuàng)新成果。

經(jīng)過系統(tǒng)研究，激光干涉測量團隊發(fā)明了激光干涉測量基準（波長/頻率）的系列高精度穩(wěn)定方法，使激光真空波長相對準確度提高到10-8～10-9 量級；探索發(fā)現(xiàn)誤差產(chǎn)生的新機制并完善了經(jīng)典誤差理論，提出該類誤差的精準抑制方法，使誤差從數(shù)納米降低至亞納米甚至深亞納米量級；并發(fā)明了一種可同時實現(xiàn)高測速與高分辨力的動態(tài)正交測相方法，測試結(jié)果表明其在米每秒級測速下獲得亞納米甚至深亞納米的動態(tài)測量分辨力。

相關(guān)成果在著名期刊IEEE TIE、Opt Letter、Opt Express、IEEE TIM等發(fā)表論文，被SCI收錄60余篇；獲授權(quán)國際發(fā)明專利10 余項、中國發(fā)明專利100 余項；被專家鑒定為“難度極大、創(chuàng)新性強，整體技術(shù)處于國際先進水平”。

基于上述基礎(chǔ)研究成果和關(guān)鍵技術(shù)突破，激光干涉測量團隊成功研制出甚多軸動態(tài)超精密激光干涉儀、亞納米級超精密激光干涉儀等系列超精密測量儀器，并通過哈爾濱工業(yè)大學(xué)-哈超精密產(chǎn)學(xué)研聯(lián)合推進成果轉(zhuǎn)化，共同研發(fā)多臺套生產(chǎn)工藝過程專用測試設(shè)備，開發(fā)形成系列高端儀器產(chǎn)品儀器批量生產(chǎn)能力。

目前，系列超精密激光干涉儀已成功應(yīng)用于國內(nèi)外高端制造裝備和計量裝備領(lǐng)域，特別是在國產(chǎn)高端裝備領(lǐng)域發(fā)揮了不可替代的重要作用。例如，所研制的國內(nèi)首套亞納米級超精密激光干涉儀，已應(yīng)用于國際單位制變革中我國建立的首套量子化質(zhì)量基準裝置中，在解決裝置亞納米精度測量難題中起到了關(guān)鍵作用，在我國高端裝備研制生產(chǎn)、國家質(zhì)量基準研制中發(fā)揮了重大作用。相關(guān)成果獲國家技術(shù)發(fā)明二等獎、中國計量測試學(xué)會科學(xué)技術(shù)進步一等獎等。

激光干涉測量團隊師生們表示，未來將繼續(xù)精益求精、創(chuàng)新求實，深入推進產(chǎn)學(xué)研合作，以激光為“眼”，探索更多精密、神奇的世界。