近日，中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所精密光學(xué)制造與檢測(cè)中心實(shí)驗(yàn)室在磨料水射流超精密加工理論及工藝研究中取得新進(jìn)展。該研究成果拓展了磨料水射流加工的應(yīng)用場(chǎng)景，同時(shí)為中頻誤差的抑制提供了一個(gè)全新有效的方法，對(duì)光學(xué)加工的發(fā)展有重要的指導(dǎo)意義。相關(guān)成果發(fā)表在Optics Express上。

該研究基于Preston經(jīng)典加工理論通過復(fù)數(shù)頻譜最優(yōu)化建立的拓展模型驗(yàn)證了稀疏“雙步距柵格路徑”的存在，其可以通過抑制誤差頻譜的前兩階峰值來實(shí)現(xiàn)周期性條紋誤差有效去除。本研究通過該模型能準(zhǔn)確得出最優(yōu)加工參數(shù)，再利用磨料水射流拋光去除函數(shù)尺寸小的特點(diǎn)在最優(yōu)加工參數(shù)下將去除量精確落到中頻誤差的高點(diǎn)處，從而實(shí)現(xiàn)中頻誤差的保形高效去除。研究發(fā)現(xiàn)在磨料水射流超精密加工中通過特定的稀疏“雙步距柵格路徑”在去除子孔徑拋光中殘留的周期結(jié)構(gòu)條紋（中頻誤差）上有顯著優(yōu)勢(shì)。相關(guān)工作得到了上海市揚(yáng)帆計(jì)劃、國(guó)家自然科學(xué)基金、中國(guó)科學(xué)院青年創(chuàng)新促進(jìn)會(huì)的支持。