文/李婉欣

[導(dǎo)語(yǔ)]

在當(dāng)前國(guó)外有關(guān)技術(shù)封鎖及國(guó)內(nèi)區(qū)域競(jìng)爭(zhēng)加劇的背景下，張賓帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)在微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）半導(dǎo)體智能傳感器領(lǐng)域攻克關(guān)鍵核心技術(shù)，突破技術(shù)壁壘，補(bǔ)足短板，優(yōu)化產(chǎn)品設(shè)計(jì)、完善檢驗(yàn)檢測(cè)，建立以質(zhì)量為基礎(chǔ)的品牌發(fā)展戰(zhàn)略，加快市場(chǎng)化推廣應(yīng)用，用科技服務(wù)民生、推動(dòng)經(jīng)濟(jì)社會(huì)高質(zhì)量發(fā)展，為實(shí)現(xiàn)“2025年中國(guó)芯片自給率達(dá)到70%”的目標(biāo)作貢獻(xiàn)。

張賓，2003年9月創(chuàng)辦廣州奧松電子有限公司（現(xiàn)更名為廣州奧松電子股份有限公司，以下簡(jiǎn)稱“奧松電子”），擔(dān)任董事長(zhǎng)和首席技術(shù)專家，是廣州市第十六屆人民代表大會(huì)代表、廣東省工業(yè)和信息化廳廣東民營(yíng)企業(yè)家智庫(kù)成員、奧松電子科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì)主席、華南理工大學(xué)設(shè)計(jì)學(xué)院工程碩士研究生校外指導(dǎo)教師。一直從事MEMS智能傳感器研發(fā)，先后主持國(guó)家、地方和企業(yè)研發(fā)項(xiàng)目120余項(xiàng)，擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)超150件，參與起草國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)，主導(dǎo)建設(shè)發(fā)展國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的MEMS半導(dǎo)體智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈（MEMS IDM）模式產(chǎn)業(yè)集群。先后被評(píng)為廣州市黃埔區(qū)、廣州開發(fā)區(qū)“創(chuàng)業(yè)領(lǐng)軍人才”“創(chuàng)業(yè)杰出人才”“創(chuàng)業(yè)英才”“優(yōu)秀人才”和廣東“最美科技工作者”。

廣州市黃埔區(qū)廣州開發(fā)區(qū)杰出人才(創(chuàng)業(yè))頒獎(jiǎng)現(xiàn)場(chǎng)(右5為張賓)

堅(jiān)守初心 搭建全新智能化生產(chǎn)線

我國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)起步晚，發(fā)展緩慢，傳感器技術(shù)與世界水平相比存在很大差距，各類傳感器芯片幾乎完全從國(guó)外進(jìn)口，價(jià)格昂貴，國(guó)內(nèi)缺乏對(duì)新原理、新器件和新材料傳感器的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化能力。國(guó)內(nèi)傳感器研發(fā)的慘淡現(xiàn)狀將張賓“逼”上創(chuàng)業(yè)之路。

2003年，張賓負(fù)責(zé)研發(fā)的濕度傳感器項(xiàng)目成功實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，濕度傳感器成為他同年成立的奧松電子的第一款產(chǎn)品。乘中國(guó)加入世界貿(mào)易組織的春風(fēng)，訂單紛至沓來(lái)，產(chǎn)品暢銷海內(nèi)外各地。

然而，2010年，張賓決定投入以往所有的收益，搭建MEMS半導(dǎo)體智能傳感器芯片生產(chǎn)線。國(guó)內(nèi)這一領(lǐng)域一片空白，單個(gè)車間內(nèi)上百臺(tái)設(shè)備的功能、兼容性都需要一一摸索。這一重資產(chǎn)、高投入、長(zhǎng)時(shí)間、又成敗難料的事情，遭到部分股東的反對(duì)，一些研發(fā)人員也想退出。

面臨資金緊張、人員流失嚴(yán)重的困境，張賓毫不退縮，他堅(jiān)定地說(shuō)，“當(dāng)與利益無(wú)關(guān)，卻還一如既往、持之以恒地追求下去，這就叫熱愛(ài)?！?/p>

這份熱愛(ài)有跡可循?！拔沂且粋€(gè)技術(shù)愛(ài)好者，從小就對(duì)各種機(jī)械、電子產(chǎn)品有著濃厚的興趣。報(bào)考專業(yè)時(shí)，選擇了向往已久的電子技術(shù)專業(yè)。”工作后張賓在傳感器技術(shù)領(lǐng)域不斷地研發(fā)探索，多年的專業(yè)知識(shí)積累以及刻苦鉆研，讓他對(duì)傳感器技術(shù)有著自己深入的思考。

2010年，張賓注意到國(guó)外傳感器制造技術(shù)全面升級(jí)，在前往國(guó)外交流學(xué)習(xí)時(shí)，他在納米加工平臺(tái)看到多種不同高端設(shè)備如刻蝕機(jī)、光刻機(jī)等在傳感器上的應(yīng)用，深受震撼！奧松電子當(dāng)時(shí)采用的還是傳統(tǒng)的陶瓷電路做傳感器基板，產(chǎn)品在體積、性能、價(jià)格等方面都處于劣勢(shì)。張賓意識(shí)到，在半導(dǎo)體行業(yè)，傳統(tǒng)的機(jī)械加工技術(shù)已經(jīng)走到了盡頭，利用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來(lái)的新型傳感器才是將來(lái)的發(fā)展趨勢(shì)。

從此，張賓踏上了搭建MEMS半導(dǎo)體智能傳感器芯片生產(chǎn)線的漫漫征程。耗費(fèi)6年時(shí)間，投入大量的資金，他始終抱著“咬定青山不放松”的信念，堅(jiān)守初心，帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)反復(fù)調(diào)試設(shè)備，對(duì)設(shè)備的功能、結(jié)構(gòu)一一研究并進(jìn)行改裝。路雖遠(yuǎn)行則將至，事雖難做則必成。2016年，在經(jīng)歷無(wú)數(shù)次失敗過(guò)后，奧松電子建成了屬于自己的MEMS半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線。

奧松電子科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì)成立大會(huì)暨揭牌儀式

勇于創(chuàng)新 突破多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)

習(xí)近平總書記在黨的二十大報(bào)告中提到，要堅(jiān)持創(chuàng)新在我國(guó)現(xiàn)代化建設(shè)全局中的核心地位，健全新型舉國(guó)體制，強(qiáng)化國(guó)家戰(zhàn)略科技力量，提升國(guó)家創(chuàng)新體系整體效能，形成具有全球競(jìng)爭(zhēng)力的開放創(chuàng)新生態(tài)。國(guó)家富強(qiáng)和民族復(fù)興離不開科技創(chuàng)新，在創(chuàng)新強(qiáng)國(guó)的征程中，正是因?yàn)榭蒲幸痪€工作者們不斷探索，精益求精，把科技的命脈牢牢掌握在手中，從而實(shí)現(xiàn)科技自立自強(qiáng)。

多年來(lái)，張賓作為奧松電子技術(shù)帶頭人，帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)在科技創(chuàng)新強(qiáng)國(guó)路上越走越遠(yuǎn)，未曾有因取得成績(jī)而停止進(jìn)取的步伐。奧松電子不斷取得新突破，其中不乏亮眼的成就：2016年，成功打造國(guó)內(nèi)領(lǐng)先MEMS半導(dǎo)體傳感器集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈；2020年，粵港澳大灣區(qū)首條6吋MEMS半導(dǎo)體智能傳感器產(chǎn)線成功投產(chǎn)；2022年，又啟動(dòng)了8吋特色芯片生產(chǎn)線的建設(shè)，該項(xiàng)目建成后，將使粵港澳大灣區(qū)成為國(guó)內(nèi)規(guī)?；腗EMS芯片及智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群。

2019年，張賓帶領(lǐng)研發(fā)團(tuán)隊(duì)自主創(chuàng)新研發(fā)的MEMS半導(dǎo)體絕對(duì)濕度傳感器打破了日本對(duì)全球市場(chǎng)的壟斷。該產(chǎn)品以最新的MEMS傳感器制造工藝突破傳統(tǒng)玻璃封裝，一方面從響應(yīng)速度、集成度等方面優(yōu)化了微波爐、烤箱等家電新產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)數(shù)字接口輸出，實(shí)現(xiàn)MEMS絕對(duì)濕度傳感器產(chǎn)業(yè)化；另一方面打破了技術(shù)壟斷，實(shí)現(xiàn)絕對(duì)濕度傳感器國(guó)產(chǎn)化，為國(guó)內(nèi)家電行業(yè)貢獻(xiàn)優(yōu)質(zhì)蒸汽濕度解決方案。

2021年，張賓主持“新一代冷鏡式精密露點(diǎn)儀的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目，部分性能參數(shù)趕超國(guó)外進(jìn)口產(chǎn)品，解決了我國(guó)智能傳感器關(guān)鍵技術(shù)“卡脖子”問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)化替代，保障國(guó)家關(guān)鍵零部件供應(yīng)鏈安全。

項(xiàng)目實(shí)施期間，張賓帶領(lǐng)研發(fā)團(tuán)隊(duì)自主創(chuàng)新，首創(chuàng)借助半導(dǎo)體工藝采取硅片鍍鉑作為冷凝結(jié)露鏡面，制冷溫差提高，冷鏡體積減小，反應(yīng)速度得到極大提高。這項(xiàng)工藝現(xiàn)已取得中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院校準(zhǔn)和檢定證書，可廣泛應(yīng)用于計(jì)量檢測(cè)、高校科研、氣象環(huán)境、電子電力、醫(yī)藥等行業(yè)。該項(xiàng)目獲得了“2021年度粵港澳大灣區(qū)高價(jià)值專利培育布局大賽50強(qiáng)”和“2021年度廣東省測(cè)量控制與儀器儀表科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)三等獎(jiǎng)”。

抗擊疫情 緊急攻關(guān)實(shí)現(xiàn)呼吸機(jī)專用傳感器國(guó)產(chǎn)化替代

張賓在做實(shí)驗(yàn)

2020年伊始，突如其來(lái)的新冠肺炎疫情使世界各國(guó)自危，美國(guó)、日本、德國(guó)等國(guó)家采取了嚴(yán)格的技術(shù)封鎖，限制多項(xiàng)傳感器相關(guān)技術(shù)出口。而我國(guó)國(guó)產(chǎn)呼吸機(jī)、麻醉機(jī)的關(guān)鍵傳感器長(zhǎng)期全部依賴進(jìn)口，疫情來(lái)勢(shì)洶洶，國(guó)內(nèi)核心關(guān)鍵傳感器卻短缺，嚴(yán)重限制了呼吸機(jī)、麻醉機(jī)的產(chǎn)能。

面對(duì)嚴(yán)峻形勢(shì)，張賓扛起科研工作者、企業(yè)家的社會(huì)責(zé)任和擔(dān)當(dāng)，集公司之力回應(yīng)國(guó)內(nèi)某知名呼吸機(jī)生產(chǎn)廠家的求助。張賓緊急召開產(chǎn)品技術(shù)研討會(huì)，成立醫(yī)用傳感器攻關(guān)團(tuán)隊(duì)，分別設(shè)立芯片制造工藝開發(fā)小組、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和模具開發(fā)小組以及系統(tǒng)控制集成小組，在復(fù)工復(fù)產(chǎn)極為艱難的情況下，張賓調(diào)配所有資源攻克技術(shù)難題，日以繼夜全力奮戰(zhàn)。張賓與員工在公司同吃住、共研發(fā)，親自參與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、芯片可靠性測(cè)試、傳感器標(biāo)定等工作。經(jīng)過(guò)無(wú)數(shù)次實(shí)驗(yàn)與測(cè)試、無(wú)數(shù)次技術(shù)方案調(diào)整、無(wú)數(shù)次技術(shù)迭代，在極短時(shí)間內(nèi)，他將科研骨干的才智凝聚于樣品，并送檢合格。

供應(yīng)鏈、工裝夾具、生產(chǎn)線排產(chǎn)工作......歷經(jīng)一個(gè)多月連續(xù)接力的量產(chǎn)攻關(guān)，奧松電子率先成為國(guó)內(nèi)唯一一家同時(shí)具備生產(chǎn)新一代呼吸機(jī)專用流量、差壓、氧氣等抗疫相關(guān)傳感器能力的企業(yè)。奧松電子將自身技術(shù)積累轉(zhuǎn)化為研發(fā)產(chǎn)品，為呼吸機(jī)、麻醉機(jī)和口罩機(jī)等抗疫一線裝備提供關(guān)鍵傳感器，為抗擊疫情貢獻(xiàn)了重要力量。

這一科技成果解決了國(guó)內(nèi)呼吸機(jī)、麻醉機(jī)中缺少關(guān)鍵零部件的難題，打破了一直以來(lái)呼吸機(jī)專用傳感器被外國(guó)科技巨頭壟斷的局面，實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)化替代，為人民的生命安全提供了強(qiáng)大的保障。

張賓始終把家國(guó)情懷融入其在智能傳感器產(chǎn)業(yè)的奮斗之中，在中國(guó)科技事業(yè)的征程中，帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)打破一項(xiàng)項(xiàng)國(guó)外科技巨頭壟斷；在突發(fā)疫情面前，帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)以科研產(chǎn)品保障人民生命安全。對(duì)一個(gè)優(yōu)秀科技工作者的詮釋，不僅是對(duì)科研的熱愛(ài)與創(chuàng)新，還要擁有勇于承擔(dān)社會(huì)責(zé)任的品格。在當(dāng)前國(guó)外有關(guān)技術(shù)封鎖及國(guó)內(nèi)區(qū)域競(jìng)爭(zhēng)加劇的背景下，張賓帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)全心全意投入，以攻克關(guān)鍵核心技術(shù)、突破技術(shù)壁壘的努力，用科技服務(wù)民生。