龔斯宇，劉秉國(guó),2,3，劉 鵬，張 婷，宇文超，董希志，董恩華

(1.昆明理工大學(xué) 冶金與能源工程學(xué)院，云南 昆明 650093； 2.非常規(guī)冶金省部共建教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，云南 昆明 650093； 3.復(fù)雜有色金屬清潔利用國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，云南 昆明 650093)

0 引 言

釕(Ru)是稀貴金屬中的一種，Ru粉是制備釕靶材、高純釕化合物等材料的關(guān)鍵原材料之一[1]，釕靶是計(jì)算機(jī)硬盤記憶材料和超大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路晶圓制造中薄膜材料的關(guān)鍵原料，其質(zhì)量主要受Ru粉的純度和性質(zhì)影響[2-4]，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《制備釕靶用釕粉》規(guī)定硬盤和集成電路行業(yè)用Ru粉純度須滿足大于等于3N5[5-6].隨著電子元器件的發(fā)展，對(duì)金屬靶材的需求量猛增，對(duì)Ru粉的需求量也急劇增大[1]，但受原材料限制，國(guó)內(nèi)高端釕系靶材仍嚴(yán)重依賴進(jìn)口，要想保持技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)力，就必須通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新改善Ru粉品質(zhì)，提升釕系靶材性能[7-8].

目前國(guó)內(nèi)外制備高純Ru粉以化學(xué)法為主，其原理是將含Ru物料中的Ru氧化為具有較高蒸氣壓的RuO4，經(jīng)蒸餾處理將Ru與雜質(zhì)陽(yáng)離子分離，再采用銨鹽沉淀、煅燒和還原處理上一步得到的Ru，分離Ru與雜質(zhì)陰離子，并制得高純Ru粉.值得一提的是，煅燒分解、氫氣還原是制備高純Ru粉不可或缺的重要工序.永井燈文等[9-10]將NP進(jìn)行煅燒、氫還原處理，得到4N級(jí)高純Ru粉，但Ru粉大多呈不規(guī)則形狀.YOON等[11]采用市售普通Ru粉(雜質(zhì)金屬含量較多)為原料制備得到RuOCl3晶體，經(jīng)煅燒、熱還原處理后得到5N級(jí)Ru粉，可用于制備濺射靶材.目前，我國(guó)Ru粉的制備相對(duì)較少，金川公司將制得的RuCl3經(jīng)煅燒、氫還原得到Ru粉，該Ru粉的純度在99.0%～99.95%之間，未達(dá)到高純Ru粉的標(biāo)準(zhǔn)[12].貴研鉑業(yè)將NP進(jìn)行三溫度段煅燒、氫氣還原、球磨，得到高純度(4N)Ru粉[13-14]，然而,多溫度段煅燒和球磨工序均會(huì)導(dǎo)致增加生產(chǎn)周期和成本.李紅梅等[15]將NP經(jīng)800 ℃煅燒6 h,得到釕氧化物并在750 ℃通氫還原 30 min，制得純度為99.95%的近球形Ru粉.綜上可知，我國(guó)常規(guī)煅燒制備得到的高純Ru粉在純度上滿足Ru系靶材要求，但因多溫度段煅燒、氫還原和球磨等工序，存在工藝復(fù)雜冗長(zhǎng)等問(wèn)題.針對(duì)上述問(wèn)題，探索一種加熱NP制備Ru粉新工藝迫在眉睫，有學(xué)者提出一種微波一步法制備高純Ru粉的方法[16]，該方法是在保護(hù)性環(huán)境中，將NP微波加熱到分解溫度后保溫一段時(shí)間，在該溫度下，NP實(shí)現(xiàn)了熱分解自還原為金屬Ru粉.為了推進(jìn)NP熱分解自還原一步法的工業(yè)化應(yīng)用進(jìn)程，深刻揭示NP的受熱分解機(jī)理，并優(yōu)化NP受熱分解制備Ru粉的工藝條件具有重要意義.

TG-MS[17]是一種聯(lián)用分析技術(shù)，在同一次測(cè)量中，通過(guò)TG-DTA技術(shù)檢測(cè)樣品的重量變化與熱效應(yīng)，同時(shí)利用MS鑒別和定量分析體系受熱逸出的揮發(fā)性氣體組分.有助于更精確地研究反應(yīng)進(jìn)程，推斷反應(yīng)機(jī)理.

本研究采用TG-MS技術(shù)研究NP在保護(hù)氣氛中的熱分解機(jī)理，并利用GSL-1600X型管式爐進(jìn)行煅燒NP試驗(yàn)，以NP的分解率為重要指標(biāo)，分析煅燒溫度、煅燒時(shí)間和物料量對(duì)分解率的影響，最后在單因素研究的基礎(chǔ)上，進(jìn)行正交優(yōu)化分解工藝條件，以期為NP熱分解一步法制備Ru粉工藝的條件優(yōu)化及后續(xù)研究提供指導(dǎo).

1 試驗(yàn)部分

1.1 試驗(yàn)原料

NP購(gòu)買自貴研資源易門有限公司，經(jīng)ICP測(cè)得其Ru≥30.34%，檢測(cè)結(jié)果見(jiàn)表1.對(duì)其進(jìn)行SEM和EDS表征，得到NP的低倍SEM和EDS圖譜(見(jiàn)圖1).根據(jù)圖1可知，NP的微觀形貌主要呈現(xiàn)不規(guī)則的片塊狀，粒徑約在0.1～10 μm之間.由EDS圖譜可知，NR主要由Ru、Cl和N三種元素組成，伴隨少量的O元素，這可能是由于NP在空氣中被氧化.

表1 NR化學(xué)成分(質(zhì)量分?jǐn)?shù))

圖1 NP的SEM和EDS圖譜Fig.1 SEM & EDS patterns of NP

1.2 試驗(yàn)儀器及設(shè)備

1.2.1 試驗(yàn)儀器

TG-MS分析采用日本理學(xué)Thermo plus EV2型熱重-質(zhì)譜聯(lián)用分析儀.樣品質(zhì)量為9.4 mg，溫度范圍為30～500 ℃，升溫速率為10 ℃/min，氣氛(Ar)流速為300 mL/min.

XRD分析采用UltimalV型轉(zhuǎn)靶X射線衍射儀(XRD)，輻射源為Cu-Ka 靶(λ=0.154 06 nm)，管電壓40 kV，管電流40 mA，掃描速度10(°)/min，掃描區(qū)間10°～90°.

SEM分析采用Phenom-World 型掃描電鏡，加速電壓為15 kV.

1.2.2 試驗(yàn)設(shè)備

加熱試驗(yàn)采用合肥科晶材料技術(shù)有限公司生產(chǎn)的GSL-1600X型管式爐，樣品質(zhì)量范圍為20～50 g，溫度范圍為30～500 ℃，升溫速率為 10 ℃/min，通入Ar，且流速為300 mL/min.

1.3 NP分解率的計(jì)算

NP的分解率計(jì)算公式如(1)：

(1)

式中：γ-物料的分解率，%；M0-物料的初始質(zhì)量，g；M-物料的最終質(zhì)量，g；Wt-物料理論失重率，%.

2 結(jié)果與討論

2.1 TG-MS實(shí)驗(yàn)

2.1.1 TG實(shí)驗(yàn)

如圖2所示為保護(hù)氣氛(Ar)中，NP以10 ℃/min的升溫速率升溫至500℃的TG、DTG和DTA曲線.由TG曲線和DTA曲線可知，NP的熱分解分兩步進(jìn)行：第一階段發(fā)生在300～363 ℃之間，對(duì)應(yīng)DTA曲線上的吸熱峰，表明該分解反應(yīng)是一個(gè)吸熱反應(yīng)；第二階段發(fā)生在363～420 ℃左右，對(duì)應(yīng)DTA曲線上的吸熱峰也說(shuō)明第二階段分解反應(yīng)是一個(gè)吸熱反應(yīng).根據(jù)DTG曲線可知，第二階段的分解反應(yīng)速率更快，且在372 ℃左右有最大分解速率.根據(jù)TG曲線可知，NP熱分解結(jié)束后物料的剩余質(zhì)量約為33% (理論值為31%)，兩者基本吻合.

圖2 NP在10 ℃/min下的熱重曲線Fig.2 TG curves of NP at 10 ℃/min

2.1.2 MS實(shí)驗(yàn)

根據(jù)以上熱重分析可知，NP熱分解過(guò)程可分兩步進(jìn)行.分解反應(yīng)的起始溫度點(diǎn)為300 ℃，溫度分段點(diǎn)為363 ℃，終止溫度點(diǎn)為420 ℃.為確定NP不同階段釋放的氣體種類，開展質(zhì)譜定性分析實(shí)驗(yàn)[17].圖3為NP以10 ℃/min的升溫速率在Ar氣氛中的MS圖譜.由該圖譜可知，NP第一步熱分解主要發(fā)生在300～363 ℃之間，并釋放NH3和HCl氣體；NP第二步熱分解主要在363～420 ℃之間進(jìn)行，該過(guò)程中釋放的氣體主要為N2和HCl氣體.

圖3 NP熱分解質(zhì)譜圖譜 (10℃/min)Fig.3 Mass spectrometry pattern of thermal decomposition of NP at 10℃/min

2.1.3 363℃和 420℃下的產(chǎn)物XRD表征

為了進(jìn)一步確定NR不同熱分解階段的固體產(chǎn)物為何種物質(zhì)，本研究用方舟坩堝盛裝50 g NR物料后置于管式爐中，并往管式爐中通入一定流速的Ar氣以排盡空氣，分別在363 ℃和420 ℃下保溫90 min后隨爐冷卻，然后取出冷卻物料進(jìn)行XRD表征分析.其XRD圖譜見(jiàn)圖4.圖4(a)為室溫下NP的XRD圖譜，該XRD圖譜為NP原始XRD圖譜.圖4(b)和圖4(c)是NP在363 ℃和 420 ℃ 下保溫 90 min后所得固體產(chǎn)物的XRD圖譜.

圖4(b)為NP升溫至363 ℃、保溫90 min所得第一段熱分解產(chǎn)物的XRD圖譜，圖4(b)與標(biāo)準(zhǔn)圖譜對(duì)比未確定該物質(zhì).由于NP第一段熱分解釋放出 NH3和HCl氣體，第二段熱分解生成N2和HCl氣體，故推斷第一段分解的產(chǎn)物為一種新的含Ru化合物[18-19]，將其化學(xué)簡(jiǎn)式命為(NH3)xRuyClz，通過(guò)分析NP的TG-MS，可知其第一階段質(zhì)量的損失量和釋放氣體的成分，再利用質(zhì)量守恒定律理論計(jì)算，得到第一階段熱分解產(chǎn)物的化學(xué)簡(jiǎn)式為(NH3)4Ru3Cl12.當(dāng)溫度升至 420 ℃時(shí)，產(chǎn)物XRD圖譜如圖5(c)所示，此時(shí)Ru的圖譜與Ru的標(biāo)準(zhǔn)XRD圖譜吻合，表明NP在該溫度下已經(jīng)完全分解.

(a) 25 ℃ (b) 363 ℃ (c) 420 ℃

2.2 NP的熱分解機(jī)理

結(jié)合上述TG-MS分析，確定了NP在300～363 ℃之間的熱分解產(chǎn)物為含Ru的新化合物，同時(shí)釋放出NH3和HCl氣體；NP在363～420 ℃之間的熱分解反應(yīng)產(chǎn)物為單質(zhì)Ru、N2和HCl氣體[20].這是因?yàn)殡S著溫度升高到300 ℃，NP受熱分解，在高溫環(huán)境中，NH4+轉(zhuǎn)化為NH3和H+[21]，其中NH3一部分隨分解釋放，另一部分則和分解固體產(chǎn)物結(jié)合形成含Ru中間產(chǎn)物，H+則和Cl-結(jié)合生成HCl氣體，經(jīng)計(jì)算得到含Ru中間產(chǎn)物的化學(xué)簡(jiǎn)式為(NH3)4Ru3Cl12，因此將第一階段的反應(yīng)方程式寫為：

3(NH4)2RuCl6→(NH3)4Ru3Cl12+6HCl↑+2NH3↑

(2)

當(dāng)反應(yīng)溫度到達(dá)363 ℃后，釋放的NH3憑借自身的還原性將Ru中間產(chǎn)物還原為單質(zhì)Ru，而NH3則與Ru(Ⅳ)發(fā)生氧化反應(yīng)生成N2，解離的H+和Cl-結(jié)合生成HCl氣體，故將第二階段的反應(yīng)方程式寫為：

(NH3)4Ru3Cl12→3Ru+2N2↑+12HCl↑

(3)

2.3 熱分解產(chǎn)物表征

收集TG實(shí)驗(yàn)剩余物質(zhì)用XRD和SEM分析表征其物相和微觀組織及成分，得到NP熱分解產(chǎn)物XRD圖譜(圖5)與SEM和EDS圖譜(圖6).如圖5所示，NP熱分解產(chǎn)物的物相組成為單質(zhì)Ru，說(shuō)明NP完全轉(zhuǎn)化為單質(zhì)Ru.圖6表明NP在保護(hù)氣(Ar)中完成了熱分解自還原過(guò)程，即NP受熱分解過(guò)程中產(chǎn)生的NH3作為還原劑將Ru(Ⅳ)的化合物還原為零價(jià)Ru，證實(shí)了一步法工藝的可行性.同時(shí)還可看出，NP在受熱分解過(guò)程中由于在高溫下煅燒并釋放出氣體，導(dǎo)致產(chǎn)物的片塊狀特征削弱，出現(xiàn)了團(tuán)絮狀結(jié)構(gòu)，同時(shí)粒徑更加均勻、細(xì)化.

圖5 熱分解產(chǎn)物的XRD圖譜 Fig.5 XRD pattern of decomposition residues

圖6 熱分解產(chǎn)物的SEM和EDS圖譜Fig.6 SEM & EDS patterns of decomposition residues

2.4 單因素實(shí)驗(yàn)

根據(jù)NP熱分解TG/DTG曲線分析，進(jìn)行初步的條件探索試驗(yàn)，選定對(duì)NP熱分解影響較大的煅燒溫度、煅燒時(shí)間和物料量作為實(shí)驗(yàn)的三個(gè)影響因素開展單因素實(shí)驗(yàn)，考察這三個(gè)因素對(duì)NP分解率的影響[22].稱取一定質(zhì)量的物料平鋪在方舟剛玉坩堝中，置于密閉的管式爐中，啟動(dòng)加熱程序之前先以一定的流速通入Ar以排凈爐腔內(nèi)的空氣，確保管內(nèi)為無(wú)氧環(huán)境后，點(diǎn)擊開關(guān)按鈕啟動(dòng)加熱程序，并持續(xù)通入Ar，直到煅燒階段結(jié)束、物料冷卻至室溫時(shí)停止通氣.

2.4.1 煅燒溫度的影響

煅燒溫度對(duì)NP的分解率有顯著影響.為了探究煅燒溫度對(duì)熱分解還原階段NP分解率的作用規(guī)律，在350～500 ℃范圍內(nèi)以50 ℃的溫度梯度設(shè)置了四個(gè)保溫溫度，物料分別在不同保溫溫度下保溫 90 min，以保證熱分解反應(yīng)充分進(jìn)行.為了單獨(dú)研究煅燒溫度對(duì)NP分解率的影響，采用了單因素方法進(jìn)行條件試驗(yàn)，如物料量50 g，保溫時(shí)間90 min.用剛玉坩堝盛裝50 g NP物料在保護(hù)性氣氛中以10 ℃/min的升溫速率升溫到不同溫度點(diǎn)(350 ℃、400 ℃、450 ℃和500 ℃)并保溫90 min，隨后關(guān)掉電源結(jié)束加熱，待熱分解產(chǎn)物隨爐冷卻后取出，稱量剩余質(zhì)量，計(jì)算分解率，考察煅燒溫度對(duì)分解率的影響，圖7表示了煅燒溫度與NP分解率的關(guān)系.

圖7 煅燒溫度對(duì)分解率的影響Fig.7 Influence of calcination temperature on decomposition rate

NP是一種無(wú)機(jī)化合物，由分子和離子組成，相互之間的作用力主要依靠共價(jià)鍵、離子鍵和氫鍵及分子間作用力，如N—H鍵、H—Cl鍵和Ru—Cl鍵.當(dāng)溫度較低時(shí)，物質(zhì)的動(dòng)能較小，物質(zhì)間的相互碰撞頻率低.所以，從圖7中可以看出，當(dāng)溫度升高到300 ℃左右時(shí)，NP的分解率仍然處于較低水平，這時(shí)NP才開始轉(zhuǎn)化成含Ru中間產(chǎn)物并釋放出NH3和HCl氣體，在該過(guò)程中伴隨著N—H鍵的斷裂和H—Cl鍵的形成.并且在450 ℃之前，NP的分解率隨溫度升高顯著提高，450 ℃之后，分解率基本保持在100%左右，此時(shí)NP完全分解還原為Ru單質(zhì)，這一變化趨勢(shì)可以解釋為：當(dāng)溫度持續(xù)升高到363 ℃時(shí)，含Ru中間產(chǎn)物開始被NH3還原為單質(zhì)Ru，并釋放出N2和HCl氣體，在這個(gè)過(guò)程中涉及到Ru—Cl鍵、N—H鍵的斷裂以及N—N鍵和H—Cl鍵的形成.隨著溫度升高到450 ℃，含Ru中間產(chǎn)物完全分解為Ru單質(zhì)，由于繼續(xù)升溫至500 ℃會(huì)造成更高的能耗，因此，選擇450 ℃為NP的最佳煅燒溫度.

2.4.2 煅燒時(shí)間的影響

影響NP分解率最重要的一個(gè)階段就是受熱分解階段，在這一階段，物料內(nèi)部發(fā)生了復(fù)雜的化學(xué)變化，單質(zhì)Ru就是在這一階段產(chǎn)生的.在熱分解還原階段，有兩個(gè)主要因素值得探究，一個(gè)是煅燒溫度，另一個(gè)就是煅燒時(shí)間.NP在熱分解過(guò)程中有兩個(gè)損失的主要途徑，一個(gè)是隨溫度升高釋放出揮發(fā)性氣體，一個(gè)是發(fā)生氧化還原反應(yīng)后生成單質(zhì)Ru.本試驗(yàn)將物料(50 g NP)置于管式爐中，在惰性氣氛中以10 ℃/min的升溫速率升溫到 450 ℃ 并保溫不同時(shí)長(zhǎng)(60 min，70 min，80 min和90 min)，結(jié)束加熱后待熱分解產(chǎn)物隨爐冷卻后取出，稱量剩余質(zhì)量，計(jì)算分解率，以探究煅燒時(shí)間對(duì)分解率的影響，如圖8所示，結(jié)果表明，最佳時(shí)間為90 min.

圖8表示了熱分解煅燒時(shí)間對(duì)NP分解率的影響，從圖8中可以看出，NP的分解率與煅燒時(shí)間呈正相關(guān)關(guān)系，當(dāng)煅燒時(shí)間低于70 min時(shí)，NP的分解率隨煅燒時(shí)間延長(zhǎng)增漲幅度更大，而在物料煅燒70 min后，物料分解率增漲幅度的走向開始趨于平緩，說(shuō)明NP在保溫到70 min前發(fā)生的熱分解反應(yīng)較為激烈，而在 70 min 后分解反應(yīng)的激烈程度較之前有所緩和，最終在90 min時(shí)已經(jīng)徹底完成熱分解反應(yīng)，NP分解完全.如果繼續(xù)增加反應(yīng)時(shí)間不僅增加了能耗，還增加了單質(zhì)Ru被氧化的風(fēng)險(xiǎn)，所以，最佳的煅燒時(shí)間應(yīng)該為90 min.

圖8 煅燒時(shí)間對(duì)分解率的影響Fig.8 Influence of calcination time on decomposition rate

2.4.3 物料量的影響

影響NP分解率的另一個(gè)重要影響因素是物料量.為了探究物料量對(duì)熱分解還原階段NP分解率的影響，在20～50 g范圍內(nèi)按照10 g的質(zhì)量梯度取20 g、30 g、40 g和 50 g NP分別置于管式爐中，讓不同量的物料在450 ℃下保溫 90 min，以保證充分發(fā)生熱分解反應(yīng).為了單獨(dú)研究物料量對(duì)NP分解率的影響，采用了單因素方法進(jìn)行條件試驗(yàn)，如保溫溫度450 ℃，保溫時(shí)間90 min.用相同的剛玉坩堝盛裝不同物料量(20 g、30 g、40 g 和 50 g)NP,在保護(hù)性氣氛中以 10 ℃/min 的升溫速率升溫到 450 ℃，并保溫90 min，隨后關(guān)掉電源結(jié)束加熱，結(jié)束加熱后待熱分解產(chǎn)物隨爐冷卻后取出，稱量剩余質(zhì)量，計(jì)算分解率，考察煅燒時(shí)間對(duì)分解率的影響，實(shí)驗(yàn)結(jié)果如圖9所示.

圖9 物料量對(duì)分解率的影響 Fig.9 Influence of material weighton decomposition rate

圖9表示物料量對(duì)NP分解率的作用規(guī)律，從圖9可以看出，NP的分解率隨物料量的增加呈現(xiàn)降低的趨勢(shì)，并且當(dāng)物料量在30 g左右時(shí)NP的分解率達(dá)到100%，表明 30 g 物料在 450 ℃ 下保溫90 min后，NP基本分解完全.這說(shuō)明了熱源提供的熱量滿足該條件下NP對(duì)熱量的需求.當(dāng)物料量大于30 g時(shí)，NP的分解率開始降低，當(dāng)物料量增大到50 g時(shí)，NP的分解率降低到99.6%，表明隨著物料量增多，熱源提供的能量不足以供NP完全分解，為了保證NP能夠完全分解還原，選擇最佳物料量為30 g.

2.5 NP熱分解正交實(shí)驗(yàn)

為探究煅燒溫度、煅燒時(shí)間和物料量對(duì)分解率的非線性影響，基于單因素實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上對(duì)上述三個(gè)因素進(jìn)行三因素三水平的正交試驗(yàn)，以期優(yōu)化NP熱分解制備釕粉一步法工藝[23].實(shí)驗(yàn)因素水平見(jiàn)表2，NP熱分解L9(33)正交試驗(yàn)方案和結(jié)果見(jiàn)表3.

表2 正交因素和水平表

表3 NP熱分解工藝優(yōu)化正交試驗(yàn)結(jié)果

從表3中的極差分析可知，A、B和C三個(gè)因素對(duì)NP分解率影響順序?yàn)锳>C>B，優(yōu)化組合為A3C3B3.說(shuō)明為了提高NP的分解效率和節(jié)約成本，可以適當(dāng)提高煅燒溫度，減少物料量和縮短煅燒時(shí)間.取A3C3B3進(jìn)行驗(yàn)證試驗(yàn)，即煅燒溫度500 ℃，煅燒時(shí)間80 min，物料量40 g.在優(yōu)化條件下，進(jìn)行三次重復(fù)試驗(yàn)，測(cè)得其分解率分別為99.4%、99.8%和99.7%，其平均分解率為99.6%，NP基本完全分解.

3 結(jié) 論

本文利用TG-MS技術(shù)探究NP一歩法制備釕粉的機(jī)理，并利用單因素法分析了煅燒時(shí)間、煅燒溫度和物料量對(duì)NP分解率的影響，最后使用正交法優(yōu)化工藝參數(shù)，得到如下結(jié)論：

1) 對(duì)NP進(jìn)行熱重質(zhì)譜分析，發(fā)現(xiàn)其熱分解過(guò)程分兩步進(jìn)行，對(duì)應(yīng)熱分解機(jī)理為：第一步熱分解的主反應(yīng)溫度區(qū)間在300～363 ℃ 之間，主要發(fā)生NP受熱轉(zhuǎn)化成含Ru中間產(chǎn)物并生成NH3和HCl氣體的反應(yīng)；第二步熱分解的主反應(yīng)溫度區(qū)間則在363～420 ℃，反應(yīng)則以含Ru中間產(chǎn)物的自還原為主，即NH3將Ru(Ⅳ)還原為單質(zhì)釕，釋放出N2和HCl氣體.

2) 采用XRD與SEM和EDS對(duì)NP的熱分解產(chǎn)物進(jìn)行物相分析和微觀形貌分析，結(jié)果表明NP在保護(hù)氣氛中實(shí)現(xiàn)了熱分解自還原生成釕粉一步法.

3) 根據(jù)單因素實(shí)驗(yàn)和正交試驗(yàn)得出NP的最佳分解工藝為：煅燒溫度500 ℃，煅燒時(shí)間 80 min，物料量 40 g，此時(shí)分解率高達(dá)99.6%，NP基本分解完全.