小芯

作為工藝研發(fā)工程師，中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第五十五研究所化合物部技術(shù)總監(jiān)章軍云始終以推動(dòng)核心元器件自主創(chuàng)新為己任，堅(jiān)守在核心芯片工藝領(lǐng)域一線，主持多項(xiàng)國(guó)家重點(diǎn)項(xiàng)目，在第二代半導(dǎo)體砷化鎵、第三代半導(dǎo)體氮化鎵領(lǐng)域，攻克了多個(gè)關(guān)鍵技術(shù)，研究開發(fā)出多種核心工藝，推動(dòng)了化合物半導(dǎo)體等核心器件走向工程化應(yīng)用。

攻堅(jiān)克難

2006年，章軍云進(jìn)入中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第五十五所攻讀研究生，畢業(yè)后留在五十五所工作。

章軍云總說自己心不大，只要裝著問題就吃不下飯、睡不著覺，一定要想辦法解決。在工藝技術(shù)進(jìn)步的道路上，他全身心投入，一旦有了想法，確立了工藝技術(shù)試驗(yàn)方案，就一頭扎進(jìn)去，有時(shí)為了能盡快得到試驗(yàn)結(jié)果，要從白天一直忙到深夜。章軍云所在的化合物半導(dǎo)體工藝產(chǎn)線24小時(shí)不間斷運(yùn)行，大家每次見到他都不知他上的是白班還是夜班。章軍云執(zhí)著而又充滿激情地工作，開拓了一項(xiàng)又一項(xiàng)工藝成果。提起他，大家說得最多的是：“找他別去辦公室，去工藝線上，他保準(zhǔn)在那里。”

2016年年初，章軍云晉升為副主任工藝師，主管產(chǎn)品工程師團(tuán)隊(duì)。他剛接手產(chǎn)品工作時(shí)，恰逢某大功放芯片遭遇技術(shù)問題，無法交付。在巨大的壓力面前，章軍云首先想到自己是一名共產(chǎn)黨員：“我不上，誰上？”他安撫住團(tuán)隊(duì)，繼而帶領(lǐng)大家快速、高效地進(jìn)行試驗(yàn)，有時(shí)一天之內(nèi)就要進(jìn)行幾組實(shí)驗(yàn)芯片的測(cè)試分析。章軍云敢于擔(dān)當(dāng)、勇于試錯(cuò)，在較短的時(shí)間里找到了問題所在，攻克了技術(shù)瓶頸，保證了產(chǎn)品交付。

章軍云（右一）

研發(fā)某多功能芯片時(shí)，有一個(gè)工藝參數(shù)怎么也實(shí)現(xiàn)不了，團(tuán)隊(duì)成員在章軍云的影響下相互鼓勵(lì)，總結(jié)試驗(yàn)結(jié)果的同時(shí)，不斷地去嘗試新的想法，最終，通過在試驗(yàn)過程中抓細(xì)節(jié)、找靈感，獲得了理想的結(jié)果。章軍云說，在新型器件研發(fā)過程中遇到困難是常有的事，這時(shí)要對(duì)自己有信心，對(duì)團(tuán)隊(duì)有信心，不抱怨、不氣餒，用科學(xué)的方法去分析，大膽假設(shè)，要不斷地通過實(shí)驗(yàn)來驗(yàn)證哪種工藝條件和參數(shù)是最好的。

章軍云的愛人在一次參加所里舉辦的家庭開放日后寫道：“他經(jīng)常為了攻克技術(shù)難關(guān)加班到深夜，女兒睡著了他才到家，早上女兒醒來，他又上班去了?？粗硇耐度牍ぷ鞯臉幼?，看到他帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)取得的成績(jī)，我們?yōu)樗湴?！?h3>改革創(chuàng)新

章軍云讀研時(shí)就有各種新奇想法，熱衷創(chuàng)新，工作后，在新工藝研發(fā)崗位上更是如魚得水。新工藝的開發(fā)是一項(xiàng)創(chuàng)新性的工作，需要不斷地摸索。章軍云善于在工作中發(fā)現(xiàn)問題，在摸索中提出問題，以實(shí)干精神研究、解決問題。在0.25um（微米），0.15um工藝平臺(tái)的研發(fā)工作中，他將電子束直寫工藝轉(zhuǎn)移到Stepper（步進(jìn)重復(fù)投影曝光）光刻工藝中，單步工藝的工作效率提高了近5倍。他曾在短短的三個(gè)月內(nèi)針對(duì)某個(gè)參與競(jìng)標(biāo)的產(chǎn)品創(chuàng)新開發(fā)了一套新工藝。產(chǎn)品的性能指標(biāo)遠(yuǎn)遠(yuǎn)高出競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手，為占領(lǐng)市場(chǎng)搶占了先機(jī)，得到電路設(shè)計(jì)師的一致認(rèn)可。由章軍云主導(dǎo)開發(fā)的多款多功能芯片工藝平臺(tái)填補(bǔ)了該技術(shù)領(lǐng)域的空白，實(shí)現(xiàn)了從無到有、從有到優(yōu)的持續(xù)性革新與進(jìn)步。

對(duì)標(biāo)國(guó)際一流

永不滿足、不斷鉆研是科研人員必備的品質(zhì)。在取得多項(xiàng)工藝技術(shù)進(jìn)步后，章軍云已不滿足于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先，而是轉(zhuǎn)而對(duì)標(biāo)國(guó)際最先進(jìn)的研究成果。每次討論工作時(shí)，章軍云總告訴團(tuán)隊(duì)成員：“這項(xiàng)技術(shù)部分參數(shù)與國(guó)際最新成果還有差距，是我們下一步重點(diǎn)要去攻克的難題?！痹谒磥恚瑢?duì)標(biāo)國(guó)際不是把某一項(xiàng)或者幾項(xiàng)達(dá)到國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，而是全方位達(dá)標(biāo)。在某0.15um新工藝研發(fā)中，章軍云敢于打破傳統(tǒng)的慣性思維，挑戰(zhàn)權(quán)威定論，攻關(guān)實(shí)現(xiàn)了高的縱深比細(xì)線條刻蝕工藝，對(duì)產(chǎn)品的擊穿電壓等性能指標(biāo)提升起到了關(guān)鍵作用。在0.15um工藝平臺(tái)性能優(yōu)化中，他攻克了一個(gè)又一個(gè)的技術(shù)難關(guān)，同時(shí)推進(jìn)十幾種芯片工藝的實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)了某基于0.15um工藝平臺(tái)多功能芯片的性能全面達(dá)到國(guó)際同等水平。

十余年間，章軍云用一項(xiàng)項(xiàng)榮譽(yù)詮釋著什么是青春風(fēng)采，先后榮獲所里的“最佳新人”“十佳員工”等稱號(hào)。2018年，章軍云榮獲中國(guó)電科青年拔尖人才。2019年，他作為骨干成員申報(bào)的射頻芯片項(xiàng)目榮獲國(guó)家科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)。2021年，章軍云被評(píng)為江蘇省勞動(dòng)模范。

面對(duì)榮譽(yù)，章軍云一如既往地云淡風(fēng)輕，在他看來，從事科研工作首先要有一顆堅(jiān)定的心，科研工作不可能一蹴而就，要經(jīng)歷一次又一次的失敗，因此，只有踏踏實(shí)實(shí)地工作，才能取得成功。

編輯 王冬艷 437408345@qq.com